如何让MEMS传感器智能化
所属分类:技术论文
上传者:serena
文档大小:146 K
标签: MEMS
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文档介绍:MEMS(微机电系统)传感器深受运动、加速度、倾斜度和振动测量市场的欢迎。MEMS传感器是系统级封装解决方案,具有高分辨率、低功耗和尺寸紧凑等诸多优点。 MEMS完全不同于主要利用硅的电性质的开云棋牌官网在线客服芯片。MEMS的核心部件没有栅-漏-源三极,而是一个完全由硅制成的微型机械结构。一个典型的MEMS结构包括质量矩滑块、弹簧和阻尼器,工作原理与质量弹簧模型基本相同。前几年,MEMS传感器出现“消费电子化”趋势。MEMS传感器开始渗透到消费电子市场,用于解决各种应用问题。未来,MEMS传感器如何发展?
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