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射频等离子工艺设备中的自动阻抗匹配技术
所属分类：技术论文
上传者：aetmagazine
文档大小：462 K
标签：等离子自动阻抗匹配射频
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文档介绍：介绍了射频阻抗匹配的基本原理和常见的匹配网络类型，以串并联电容组成的Г型匹配网络为例，利用史密斯圆图，阐述了阻抗匹配的工作原理。介绍射频等离子技术在微电子工艺设备中的应用。给出了自动匹配网络的检测电路、电机驱动电路和控制电路，提出了优化自动阻抗匹配能力的方法。
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