��ࡱ�>�� ���������\�����������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������[� �R�J�bjbj����<�ΐΐ+�������� � ��%%%����9998q��9_Fl��-CCC��}� P>E@E@E@E@E@E@E$�G�mJ6dE�%u!��u!u!dE��CC��E2�9�9�9u!��8C%C>E�9u!>E�9�9:>, �>C�������:���9W4nJ> *E#F<_FT>R�J�6~�J�>�>8�J%�>Li } �9� � �i i i dEdEC8`i i i _Fu!u!u!u!���������������������������������������������������������������������Ji i i i i i i i i �  �: �Wёy��v��V�[�6q�yf[�Wё�NEA GaAlAs/GaAsؚHewzzIQ5ul�bchV�Nt'`����N�S�c6RY �91433108 \O��{�N�Ng٘(1974.10-) �7u ��lWS*Y�^�N �Il�e �ZS�X ���^ ��N�NIQ5uPg�e'`��ċ0ON�hKmxvz0�Nz�(1974.07-) �sY ��lWS�g�W�N �Il�e �Ux�X �oRYe�c ��N�NIQ5uPg�e'`��ċ0ON�hKmxvz08^,g�^(1950.07-) �7u �_lςlb�]�N �Il�e �ZS�X �Ye�c �ZS�Xu�[^ ��N�NIQ5u�S\NKmՋ�b/gxvz0 �QB\Pg�e�[�~ ��w�~�gGaN(0001)IQ5u�S\'`���vq_�Txvz Ng0٘1 ��N0z�2 �8^,g�^3 (1.FUN^�f[b�5uP[5ul�] zf[b� ��lWSFUN �476000�2.FUNL�N�b/gf[b�:g5u�| ��lWSFUN � 476000�3.WS�Nt�]'Yf[5uP[�] zNIQ5u�b/gf[b� �_lςWS�N �210094) Xd���)R(uё^\ g:girSf[l�v�l�y�b/g(W݄�[�wl��^ N_(�Y�^u��NGaNIQ5u�S\B\ �:NM�NOGaN�S\B\�T݄�[�wl��^���vvf f:yI{���W>f�s�Q�g'Y�v\o�R[1-5]0�[�N+}Y�cKm���W ��S�cKm�v+}YIQN,����_�_1_ ��Vdk��Bl+}Y�cKmhV��wQ g��ؚ�vIQ5ul�bc���R�T��:_�v�br^pb���R0+}Ywzz�cKmhVteSO'`���vO�R(W�_'Y z�^ N�S�Q�NvQ8h�_�g�N �IQ5u4��g �GaNPg�eOo��v�Q(W^\'` �O GaNIQ5u4��gb:Nt�`�v+}YIQ5u4��g0N O�~�vCsI�TCs2Te+}YIQ5u4��g�v�k �GaNIQ5u4��gwQ gϑP[He�sؚ0�e�v�T�^�T�[IQ1��T�^I{O�p ��[�v�Q�s�g'Y0W�cؚ�Nwzz+}Y�cKmhV�N�vϑP[He�s �%_e��NCsI0Cs2TeIQ5u4��g+}Y�T�^�l�k�v N�� �OvQb:N�n���_1_+}Y�cKm�Bl�v�e�W+}YIQ5u4��g0�YUO6RY�Q��[}T0ؚupOe�^�T:_3z�['`�v�e�W+}YIQ5u4��gN�v��/f�cKm���W�vxvz�p�p[6-9]0 �vMR �GaN�WPg�e�vu��W,g N��/fǑ(uё^\ g:girSf[l�v�l�y(Metalorganic Chemical Vapor Deposition, MOCVD)�b/gHQNO)nu��QB\0�Qؚ)nu�GaNY�^�����v$Neku��]z�[10,11]0NO)n�QB\ NFOM�NO�Nl��^�TGaNY�^�������vvf e-N�_ �M�NOGaN�v:w��[�^ �2�bkvQ_ˆ �@b�N_eQ�QB\�SO����(�ϑ�_0R>fW��cؚ[12]0 GaN�TAlN/f8^(u�v$N�y�QB\ �(WAlN�QB\ Nu��vGaN �vQ���y�s�X'Y�N10 P�N N �Ǹof}�AmP[Sm�^ NM��N2*Npeϑ�~ ������~vf(�ϑ g�N>fW��cؚ[13] �Ǒ(uNO)nGaN�QB\u�GaN���� T7h�SO(�ϑ�_0R�_'Y9e�U[14]0}�6qGaNbAlN\O:N�QB\(Wvf e�QPg�eN�S\Pg�eKN���vu�Lub��^�R ��cؚLub�(�ϑ0Lub�(�ϑ�v�cؚO�_5uP[ibce��^LD�v�^�X'Y ��N �OGaNIQ5u4��g�vϑP[He�s�_0R�v�^�cؚ ��Onc�\_GaNIQ5u4��g�vϑP[He�slQ_(5) ��[�V3-N�vϑP[He�sKmՋ�f�~ۏL��N�bT ��bT�~�g_N���[�N�R�g�vcknx'` ��bT�~�g�Yh�2@b:y0 h�2 Ǒ(u N T�QB\Pg�e�v�\_GaNIQ5u4��gϑP[He�s�f�~�bT�~�g Tab. 2 The transmission-mode GaN photocathode quantum efficiency curves fitting results with different buffer layer materials Buffer layer materialLD/nmAlN108Al1-xGaxN120(Te = 150  bfhrt~������ � � � � � � � � � � � � � �      " �����������ⳡ��uguYuguYuYuguguguh��h�w�H*OJQJaJh��h�w�OJQJaJo(h��h�w�OJQJaJhw�5�CJ OJQJaJ o(h�1hw�5�CJ OJQJaJ "h�Hxh�Hx5�CJ OJQJaJ o(#h�^h�HxOJQJaJmH o(sH h�^h�HxKHOJQJaJo(h�^h�HxOJQJaJh�^h�HxOJQJaJo(h�^h�Hx5�OJQJaJo(!t� � � � �  J � &��������������������$��dhWD�`��a$gd�1 $dha$gd�Wdhgd�w� $dha$gd�w�dhgd�Hx $dh1$a$gd�Hx" & * , 8 > V Z ^ ` n t � � � � � � � � � j l p v d f j p � � �  . F H J � � �����������������Ⱥ��������������sjh�w�h�w�aJh�w�h�_�5�CJaJh�1hw�OJQJaJh�1h�L�OJQJaJo(h�1hw�H*OJQJaJo(h�1hw�KHOJQJaJo(h�1hw�OJQJaJo("h�1h�15�CJ OJQJaJ o(h��h�w�OJQJaJo(h��h�w�OJQJaJh��h�w�aJo(&� � ~����FGIL�������������$&8DFfhlrxz����������L�����������������������������������������������h�1h�WOJQJaJh�1h$-OJQJaJo(h�w�h�aJh�w�h[#baJh�w�h�_�H*aJh�w�h�_�KHaJh�w�h�_�aJh�w�h�_�5�KHaJh�Hxh�_�aJh�w�h�"�aJmHsHh�w�h�w�aJh�w�h�w�H*aJ2LNjprtvz��������&JNhj~���bd���L\��fnp�������丫�������������������t�e�e�t�t�h�1h>+KHOJQJaJh�1h>+H*OJQJaJh�1h>+H*OJQJaJh�1h>+OJQJaJo(h�1h>+OJQJaJh�1h�QsOJQJaJh�1h�QsOJQJaJo(h�1h�WH*OJQJaJo(h�1h�WH*OJQJaJh�1h�WOJQJaJh�1h�WOJQJaJo('��r����������xg\ $dha$gd�k�$��dhWD�`��a$gd�1 ��dhWD�`��gd$- dh@&gdF4�dhgd>+ �,��dh7$8$H$WD�`��gd$-R$��dhEƀ�WD�`��a$gd�Hxpr�  JNPRTXp���&,48>X\bfhjp���ɻ���ɭ�נ�����������yiy[y�h�1h�#�H*OJQJaJh�1h�#�H*OJQJaJo(h�1h�#�OJQJaJh�1h�r2OJQJaJh�1h,LOJQJaJh�1h&�OJQJaJh�1h)�H*OJQJaJh�1h h�H*OJQJaJh�1haP�H*OJQJaJh�1haP�OJQJaJh�1h>+OJQJaJh�1h>+OJQJaJo(p���������������>R^jx��������������˾����˒��wjwjwj�����j]wh�1h��OJQJaJh�1h&�OJQJaJh�1h�]�OJQJaJh�1h��OJQJaJo(h�1h�b�OJQJaJo(h�1h�#�H*OJQJaJh�1h�#�H*OJQJaJo(h�1h�#�OJQJaJh�1h�b�OJQJaJh�1h��OJQJaJo(h�1hN+OJQJaJh�1h,/�OJQJaJ���������@X���������.0�������������ᚊ�|���k^F.jex�Z h�1h�6KHOJQJUVaJo(h�1h��OJQJaJ!jh�1h��OJQJUaJh�1h�1�H*OJQJaJh�1h�1�H*OJQJaJo(h�1h�1�OJQJaJh�1hmB�KHOJQJaJh�1hmB�H*OJQJaJh�1hUkH*OJQJaJo(h�1h&�OJQJaJh�1hmB�OJQJaJ!jh�1h!xOJQJUaJ�6��" & V � �!�! "����������|���dh�VDWD�YD^�`��gd$-�7���dh�@&VDWDl�YD^�7`���gd�1 ��dh`��gd�k� ��dh`��gd�k�$dh7$8$H$a$gd�k� $dha$gd�k�$��dhWD�`��a$gd�1$��dh`��a$gd�k� 024<@FJLN`b�����������FH���óå�Д�s`�S�óå�Ї��sh�1h '@'F'R'T'V'h'j'l'�'�'�'�'�'�'�'�'.(2(4(6(D(F(n(r(t(v(�(�(�(�(�(�(�(�(�(�(�()������ɸ�����ɸ�ɸ�����������������������������h�1hU/l5�CJOJQJaJh�1h�!EKHOJQJaJ#h�1h�!EOJQJaJmH o(sH  h�1h�!EOJQJaJmH sH h�1h�!EH*OJQJaJh�1h�!E6�OJQJaJh�1h�!EOJQJaJo(h�1h�!EOJQJaJ3) ) ))$).)0)2)8)>)H)R)d)v)x)z)~)�)�)�)�)�)�)�)��̺����td�T��D�Td�D�D�h�1h�0&5�CJOJQJaJh�1h��5�CJOJQJaJh�1hNmB5�CJOJQJaJ"h�1h��5�CJOJQJaJo("h�1h?�5�CJH*OJQJaJ"h�1h?�5�6�CJOJQJaJh�1h?�5�CJOJQJaJ"h�1h1e5�CJOJQJaJo(h�1hU/l5�CJOJQJaJ"h�1hU/l5�CJH*OJQJaJ"h�1hU/l5�6�CJOJQJaJ�)�)�)�)�)�)�)�)�)* *"*&*(*.*D*H*L*N*P*T*j*������q����a�N�N�Ah�1h� {OJQJaJ%h�1h'�5�CJH*OJQJaJo(h�1h�y 5�CJOJQJaJ"h�1h�0&5�CJOJQJ]�aJ%h�1h?�5�CJH*OJQJ]�aJ%h�1h?�5�6�CJOJQJ]�aJh�1h�0&5�CJOJQJaJh�1h?�5�CJOJQJaJ%h�1h��5�CJH*OJQJaJo("h�1h)�5�CJH*OJQJaJ"h�1h?�5�CJH*OJQJaJj*p*|*�*�*�*�*�*�*�*�*�*�*�*�*+ ++++"+$+(+8+P+h+l+n+p+~+���������̾�̝����{�{�j�]Ph�1h�mFOJQJaJh�1h� {OJQJaJ h�1hE]OJQJaJmH sH  h�1h�0&OJQJaJmH sH  h�1htgROJQJaJmH sH &h�1h�8�H*OJQJaJmH o(sH h�1h�8�OJQJaJh�1h�8�OJQJaJo(#h�1h�8�OJQJaJmH o(sH  h�1h��OJQJaJmH sH  h�1h� {OJQJaJmH sH ~+�+�+�+�+�+�+�+�+�+�+�+�+�+�+�+�+����Ƿ��q^P=*$h�1h�mFCJOJQJaJnHtH$h�1h� {CJOJQJaJnHtHh�1h�a�OJQJaJo($j�Wh�1h��OJQJUaJo(h�1h�:OJQJaJo(#h�1hE]H*OJQJaJmH sH &h�1h�" H*OJQJaJmH o(sH #h�1h)�H*OJQJaJmH sH h�1hE>�H*OJQJaJo(h�1hE>�6�OJQJaJo(h�1hE]H*OJQJaJh�1hE]6�OJQJaJh�1hE]OJQJaJ�+�+�+�+ ,,,",&,(,,,8,<,D,J,N,P,`,�,�,�,�,�,���������s�s�_�L9L9L$h�1h�:CJOJQJaJnHtH$h�1h�mFCJOJQJaJnHtH'h�1hE]6�CJOJQJaJnHtHh�1hE]CJH*OJQJaJh�1hE]CJH*OJQJaJh�1hE]CJOJQJaJh�1hE]6�CJOJQJaJ$h�1hE]CJOJQJaJnHtH'h�1h�CJH*OJQJaJnHtH'h�1h�6�CJOJQJaJnHtH$h�1h� {CJOJQJaJnHtH�+`,-b-*.h.�. ///$/,/�����������$dh$Ifa$gd�� $dha$gd�k� ��dh`��gd�k� $��a$gd�k� �,�,�,�,�,�,�,----$-(-*-.-:->-F-L-��˸����o_Po_@P0P0h�1hE]CJH*OJQJaJh�1hE]CJH*OJQJaJh�1hE]CJOJQJaJh�1hE]6�CJOJQJaJ$h�1hE]CJOJQJaJnHtH$h�1h� {CJOJQJaJnHtHh�1h�:CJOJQJaJ'h�1h�bgCJOJQJaJnHo(tH$h�1h�:CJOJQJaJnHtH'h�1h�:CJH*OJQJaJnHtHh�1h�:CJH*OJQJaJh�1h�:6�CJOJQJaJL-P-R-b-f-h-�-�-�-�-�-�-....&.*.,...0.L.N.���̱̿�̱�̖�z��l^lP@h�1h� {5�6�OJQJaJh�1h2�5�OJQJaJh�1h�C5�OJQJaJh�1h� {5�OJQJaJh�1h�CH*OJQJaJh�1h�C6�OJQJaJh�1h�COJQJaJh�1h� {H*OJQJaJh�1h� {6�OJQJaJh�1hM�OJQJaJh�1h� {OJQJaJ'h�1hE]6�CJOJQJaJnHtH$h�1hE]CJOJQJaJnHtHN.P.T.f.h.n.p.v.x.z.|.�.�.�.�.�.//���Ʒ�����t�taSE7h��hs�OJQJaJo(h��h� {H*OJQJaJh��h� {6�OJQJaJ$h�1h�CCJOJQJaJnHtHh�1h�r�CJOJQJaJh�1h�CCJH*OJQJaJh�1h�C6�CJOJQJaJ'h�1hs�CJOJQJaJnHo(tHh�1h�CCJOJQJaJh�1h� {5�OJQJaJh�1h�C5�OJQJaJh�1h�r�5�OJQJaJh�1h� {5�H*OJQJaJ// / /./r/t/x/z/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/00 0 0000$0@0B0F0J0P0T0V0X0�0�0�0�0������������������w�����������������������h�1h��OJQJaJh�1h8Y�OJQJaJh�1hr�H*OJQJaJh�1hr�H*OJQJaJo(h�1hr�OJQJaJh�1h{*mOJQJaJh��h�$VOJQJaJo(h��h� {OJQJaJo(h��hs�OJQJaJo(h��h� {OJQJaJ.,/./t/�/,$dh$Ifa$gd���kd��$$IfT�l�   �r��^C( �     t��0� �� ����6�������������������������4�4� la�p�2����������yt���T�/�/�/�/���$dh$Ifa$gd���/�/@2, ��dhWD�`��gd$-�kdz�$$IfT�l�   �r��^C( � t��0� �� ����6�������������������������4�4� la�p�2����������yt���T�0�0�0�0�0�0�0�0�0�0�0�0�0^1p1|1~1�1�1�1�1�1�1�1�1�1�1�1�1�1�1�12@2B2����˾�����ء��x����ˡ�k�k�k����]h�1h�x�5�OJQJaJh�1hD2�OJQJaJh�1h�x�H*OJQJaJh�1h�x�6�OJQJaJh�1h�x�OJQJaJh�1h#m OJQJaJh�1hr�H*OJQJaJo(h�1h{*mOJQJaJh�1h��OJQJaJh�1h8Y�OJQJaJh�1hr�H*OJQJaJh�1hr�OJQJaJ"B2D2H2P2V2Z2�2�2�2�2�2�2�3�3�3�3�3�3�3�3������Ⱥȭ����pbTG:h��hr�OJQJaJh��h :�OJQJaJh��h :�H*OJQJaJh��h :�6�OJQJaJh��h :�H*OJQJaJo(h��h�m�OJQJ]�aJo(h�1h�m�OJQJaJo(h�1h�{�KHOJQJaJh�1h�{�OJQJaJh�1h�$�OJQJaJo(h�1hM �OJQJaJh�1hM �5�OJQJaJh�1h�x�5�OJQJaJh�1h)i�5�OJQJaJ@2�2�3�3�3�3�3�3����Z���kdV�$$IfT�l�   ��0��� %9  X t �0� �� �����������������4�4� la�p�����yt���T$dh$Ifa$gd�� $d,a$gdlG��3�3�3�3tee$dh$Ifa$gd���kd�$$IfT�l�   ��0��� %9 X t �0� �� �����������������4�4� la�p�����yt���T�3�3�3�3�3�3�3�3�34�� ��� �$�2�4�<�>�@�B�N�R�T�����Ȼ���������t�f�����YLh�1h)�OJQJaJh�1h��OJQJaJh�1h�pNH*OJQJaJh�1h�pNH*OJQJaJh�1h�pN6�OJQJaJh�1h�pNOJQJaJUh�1h{*mH*OJQJaJh�1h{*m6�OJQJaJh�1h{*mOJQJaJh��h :�OJQJaJh��hr�H*OJQJaJh��hr�OJQJaJh��hr�H*OJQJaJo(�3�3h�j�v�x�6�:�D�tiiaSSSH $dha$gd�k� ��dhWD�`��gd$-dhgd�k� $dha$gd�k��kd¼$$IfT�l�   ��0��� %9 X t �0� �� �����������������4�4� la�p�����yt���Tnm, t = 20 nm, Dn = 25 cm2/s, ��T�R+R�S��S��e.s[22]�T[23]) 3 �~ �� ���[�s g�QB\NGaNIQ5u�S\B\vf f9e�UGaNY�^Pg�eu�Lub��vvf y �1995. [18] Uchiyama S, Takagi Y, Niigaki M, et al. GaN-based photocathodes with extremely high quantum efficiency[J]. Applied Physics Letters, 2005, 86: 103511. [19] Zong Zhiyuan. Research on the performance evaluation and activation process of NEA photocathode[D]. Nanjing: Nanjing University of Science and Technology, 2000. (in Chinese) �[�_�V. NEAIQ5u4��g�v'`��ċ0O�T4��g�o;m�]z�xvz[D]. WS�N�WS�Nt�]'Yf[ �2000. [20] Zhang Yijun. Design and characteristic evaluation of varied doping GaAs photocathode[D]. Nanjing: Nanjing University of Science and Technology, 2012. (in Chinese) _�v�Q. �S�cBgGaAsIQ5u4��gx6R�SvQyr'`ċ0O[D]. WS�N�WS�Nt�]'Yf[, 2012. [21] Wang Xiaohui, Shi Feng, Guo Hui, et al. The optimal thickness of transmission-mode GaN photocathode[J]. Chinese Physics B, 2012, 21(8): 087901. [22] Levinshtein M E, Rumyantsev S L, Shur M S. Properties of advanced semiconductor materials[M]. Yang Shuren,Yin Jingzhi Translation. Beijing: Chemical Industry Press, 2003. (in Chinese) [�O] Levinshtein M E, Rumyantsev S L,[�] Shur M S. HQۏJS�[SOPg�e'`��NpencKb�Q[M]. hgh�N ��kof�_ы. S�N�Sf[�]N�QHr>y �2003. [23] Muth J F, Brown J D, Johnson M A L, et al. Absorption coefficient and refractive index of GaN, AlN, and AlGaN alloys[C]. Materials Research Society Symposium Proceedings, 1999, 537: G5.2. ��~0W@W��lWSwFUN^�eS-N�298�S FUN^�f[b� 5uP[5ul�] zf[b� ���476000 Kb:g�Sx�17093601367 ���{�v895bv@163.com      PAGE 1 T�V�X�\�^�`�b�d�f�h�j�n�p�r�t�v�x�����������ŠҊ֊���ɼ�֯���y�yl�_R_R_R_Eh�1hr�OJQJaJh�1h��OJQJaJh�1h�]�OJQJaJh�1h�b�OJQJaJh�1h?�OJQJaJh�1hN+OJQJaJh�1h$-OJQJaJo(h�1h{*mOJQJaJo(h�1h{*mOJQJaJh�1h�m�OJQJaJh�1h)�OJQJaJh�1h�pNOJQJaJh�1h�" OJQJaJo(h�1h�m�OJQJaJo(֊܊�����*�2�4�6�:�F�N�b�n�p�r�x���������������������������Ȼ��ȡ���yk[�N�N������N�h�1hROJQJaJh�1hR6�H*OJQJaJh�1hR6�OJQJaJh�1hNmBOJQJaJo(h�1h�V�OJQJaJh�1h��OJQJaJh�1h?�OJQJaJh�1h6r�OJQJaJh�1hR^OOJQJaJh�1h�]�OJQJaJh�1hr�H*OJQJaJh�1hr�OJQJaJh�1hr�H*OJQJaJo(�������� �6�8�:�B�D�L�^�b���������&�(�b�l���������������"�@�J�X�\�d�����������ʎ܎6�@����������ɹ�������������|�|�|�|�|�|�|�����������#h�1h�P/OJQJaJmHo(sHh�1h�P/5�6�OJQJaJh�1h�P/OJQJaJh�1h�P/OJQJaJo(h�1h�J:5�CJOJQJaJh�1hQ�5�CJOJQJaJh�1hROJQJaJh�1h?�OJQJaJh�1h�pNOJQJaJ0D����ʏT���:�Ɣj�Ė������(�x���$�t�����������������������;���dh�>VDdWD��YD^�;`���gd�1�;���dhWDj�^�;`���gd�1���.�dhVDdWD��^��`�.�gd�1���\�dhWD8�^��`�\�gd�1@�|�ʏΏЏԏ֏ڏ܏ޏ���� �T�j�r�|�����������N�T�X�����������‘��������������ⶨ���������}�oa�Sh�1h�jIOJQJaJo(h�1hQ�OJQJaJo(h�1h<OJQJaJo(h�1hQ�5�6�OJQJaJh�1h�|�OJQJaJo(h�1h�|�OJQJaJh�1hC@>OJQJaJo(h�1hQ�OJQJaJh�1h�P/OJQJaJ#h�1h�P/OJQJaJmHo(sHh�1h�P/OJQJaJo(h�1h�P/5�6�OJQJaJ ‘Α֑��Ғؒܒ �6�8�:�2�<�x�|���Ĕ���$�&�(�j�l�n�������������ƕ���������ǹ�Ǜǫǫǫǎǫ}k}Y}Y}Y}#h�1h�jIOJQJaJmHo(sH#h�1h�m�OJQJaJmHo(sH h�1h%OJQJaJmHsHh�1hF\�OJQJaJh�1hF\�5�6�OJQJaJh�1hp �OJQJaJo(h�1hQ�OJQJaJo(h�1hF\�OJQJaJo(h�1hQ�5�6�OJQJaJh�1h�jIOJQJaJo(h�1hQ�OJQJaJ!ƕ(�.�2�����–ĖƖȖږ������.�0�@�F�J�~�����������ʗҗ������ǹ����呃����s�eW����h�1hp�OJQJaJo(h�1hS"~OJQJaJo(h�1hp�5�6�OJQJaJh�1h�|�OJQJaJo(h�1hp�OJQJaJh�1h�m�OJQJaJo(h�1h�m�OJQJaJh�1h%OJQJaJo(h�1h; �OJQJaJo(h�1h%5�6�OJQJaJh�1h�jIOJQJaJo(h�1h%OJQJaJ�� � �"�(�,�n���������������ʘΘܘ�����"�$�:�<�V�X�n�������ƹ���ziWiWiWi���������#h�1h;^9OJQJaJmHo(sH h�1hp�OJQJaJmHsH#h�1h�m�OJQJaJmHo(sH h�1h�m�OJQJaJmHsHh�1hp�OJQJaJo(h�1hZ�OJQJaJo(h�1hZ�OJQJaJh�1hp�5�6�OJQJaJh�1h�jIOJQJaJo(h�1hp�OJQJaJh�1ho)�OJQJaJo(n�t�x���ޙ��������ĚʚΚܚ��� �� �$�2�6�J�N�����������ƛʛ�������Ƹ�����r������d�d�h�1ho)�OJQJaJo(h�1h�w OJQJaJo(h�1h�w 5�6�OJQJaJh�1h�w OJQJaJh�1h�m�OJQJaJo(h�1h�m�OJQJaJh�1hp�OJQJaJo(h�1hZ�OJQJaJo(h�1hp�5�6�OJQJaJh�1hp�OJQJaJh�1h;^9OJQJaJo("�$�&�(�,�.�8�<�H�L�V�Z�����������������ΜМڜܜ���� �R�t�v�x�|�~����������������Ⱥ����������������sȺf�f�f�h�1hd�OJQJaJh�1h!oOJQJaJo(h�1h�#GOJQJaJo(h�1h!o5�6�OJQJaJh�1ho)�OJQJaJo(h�1h!oOJQJaJh�1h�m�OJQJaJo(h�1h�m�OJQJaJh�1h�w OJQJaJo(h�1hZ�OJQJaJo(h�1h�^OJQJaJo((�����������������"�(�,�^�������������������ȟП������� �"�$�������������u�u�u�u�ueu�Wh�1h�DOJQJaJo(h�1h�D5�6�OJQJaJh�1h�DOJQJaJh�1h�m�OJQJaJo(h�1h�m�OJQJaJh�1hd�OJQJaJo(h�1h�#GOJQJaJo(h�1hd�5�6�OJQJaJh�1h�f�OJQJaJo(h�1hd�H*OJQJaJh�1h fOJQJaJo(h�1hd�OJQJaJ$�(�*�.�0�6�@�B�J�`�b�j�r�t�z�����������ġΡޡ������ ���&�*�4�6�L�N�V�Z�r�t�z�|�����������������������������������ʺ�����������ʛ�|�|�|�h�1h�)�KHOJQJaJo(h�1h�?�KHOJQJaJh�1hF\�OJQJaJo(!h�1h�)�5�6�OJQJaJo(h�1h�)�5�6�OJQJaJh�1h�)�OJQJaJo(h�1h�)�OJQJaJh�1h�?�OJQJaJo(h�1h�?�OJQJaJ/������ �� �"�0�4���B�D�F�J�L�P��������������rbP@h�1h�-5�CJOJQJaJ"h�1h�m�5�CJOJQJaJo(h�1h�m�5�CJOJQJaJh�1h�KHOJQJaJo(h�1h�)�KHOJQJaJo(h�1h�f�KHOJQJaJh�1h�f�5�6�OJQJaJh�1h�f�KHOJQJaJo(h�1h�KHOJQJaJh�1h�m�KHOJQJaJo(h�1h�m�KHOJQJaJh�1h�?�KHOJQJaJo(��F�|�إ�t�Ҩ"�~���"������������u�idh�>VD�YD^�igd?=�\�dh�>VDWD8�YD`�\�gd�1 �idhVD�^�igd�K �idhVD�^�igd�����\�dhWD8�^��`�\�gd�1 �idhVD�^�igd�����\�dhWD8�^��`�\�gd�1���.�dh�>WD��YD^��`�.�gd�1 P������R�`�z�|�����ԥ֥إܥޥ���� �� �"�$��������vdT�T�T�TB#h�1hm�5�@���CJOJQJaJh�1hm�5�CJOJQJaJ"h�1h��5�CJOJQJaJo(h�1h�m�5�CJOJQJaJ"h�1h�-5�CJOJQJaJo("h�1h�f�5�CJOJQJaJo(h�1h�-5�CJOJQJaJ"h�1h�K5�CJOJQJaJo("h�1h��6�CJOJQJaJo(h�1h��5�CJOJQJaJ"h�1h��5�CJOJQJaJo($�.�0�����������Ʀʦ֦ڦ������� � ����ʸ���r�r�r�`�`�N<"h�1hQ�5�CJOJQJaJo("h�1h��5�CJOJQJaJo("h�1hm�5�CJOJQJ\�aJ"h�1h�f�6�CJOJQJaJo(h�1hm�6�CJOJQJaJ"h�1hm�5�CJOJQJ]�aJ#h�1hm�0J5�CJOJQJaJ"h�1h�f�5�CJOJQJaJo(h�1hm�5�CJOJQJaJ#h�1hm�5�@���CJOJQJaJ&h�1h�f�5�@���CJOJQJaJo(��֧ܧާ�J�X�Z�r�t�����ΨШҨԨبܨި��������ʵʣ�ʄ���r`rܣO� h�1h�KOJQJaJmHsH#h�1h�" OJQJaJmHo(sH#h�1hOu�OJQJaJmHo(sH h�1h��OJQJaJmHsHh�1h�KOJQJaJo(#h�1h�KOJQJaJmHo(sH)h�1h��5�6�OJQJaJmHo(sH#h�1h��OJQJaJmHo(sH h�1h��OJQJaJmHsH#h�1h��OJQJaJmHo(sH������ �"�&�,�2�:�R�T�V�v�z�|�~���������ʪ��ɻ����������ɗucR@R#h�1h�f�OJQJaJmHo(sH h�1h�mFOJQJaJmHsH#h�1h�" OJQJaJmHo(sH h�1h�m�OJQJaJmHsH h�1hOu�OJQJaJmHsH#h�1hOu�OJQJaJmHo(sH#h�1h��OJQJaJmHo(sHh�1h�KOJQJaJo(#h�1h�KOJQJaJmHo(sH h�1h��OJQJaJmHsH&h�1h��5�6�OJQJaJmHsHʪ֪تN�X�������������ȫʫ̫Ϋҫԫ�������������ʬܬެ���������ϳ����}�}�}�}�}�}�}�}�l\l\l\�h�1h�K5�6�OJQJaJ!h�1h�K5�6�OJQJaJo(h�1h�KOJQJaJh�1hd$OJQJaJo(h�1hd$OJQJaJh�1h�mFOJQJaJo(h�1h�KOJQJaJo(h�1h�f�OJQJaJo(h�1h�mFOJQJaJ h�1h�mFOJQJaJmHsH$h�1h�mF@���OJQJaJmHsH!� �"�(�@�B�D�F�J�L�`�b�d�f�h�p�z�|�~�����������ƭ�������� ��&�2�֮ܮ������ ����������������������������㼮����������r�r�r�!h�1h�oc5�6�OJQJaJo(h�1h)i�5�6�OJQJaJh�1h�OJQJaJo(h�1h)i�OJQJaJh�1h�" OJQJaJo(h�1h�m�OJQJaJh�1h?=OJQJaJh�1h�KOJQJaJh�1h�KOJQJaJo(h�1h?=OJQJaJo(,�(�*�@�b�d�f�h�j�t�x�z����������������rbM4M1hs�h�HxOJQJaJfHmHq� ����sH)hs�h�HxOJQJaJfHq� ����hs�h�HxKHOJQJaJo(hs�h�HxKHOJQJaJhs�h�HxKHOJQJo(h�HxOJQJaJo(h �B�D�F�����´�����yuyuyuyuplb\bQbMuMh�f�h�6�0JmHnHu h�f�0Jjh�f�0JUh�@� h�.�o(h�6�jh�6�Uh.I�h�HxOJQJaJo(h.I�KHOJQJo(h3u h.I�KHOJQJhs�h�HxKHOJQJhs�h�HxKHOJQJo(#hs�h�HxKHOJQJ^JaJo()hs�h�HxOJQJaJfHq� ����,hs�h�HxOJQJaJfHo(q� ����D�F�H�J����dhgd�HxF�H�J���h.I�h�HxOJQJaJo(hGOh:&P 1�82P:p�Qs��. ��A!��"�n#��$��%��7�� ���=Dd`&.���L� � C �A��"��`��b�P=�Ol+뺹�����@��l�,=Dn�$=�Ol+뺹�����@��l��PNG  IHDR��hysRGB��� pHYs���j��<�IDATx^�{�V���_�+4�g�Z/i �xy_�1bm�h�GE%o�(&�c#j�& �`�/��`5QA��V4@S���ҔHC~շh��Ӣ�R���I��û�q:{?{Ͼ=g?���r�sfϬ���Z3k�̳��ݻ�C������@� 셵����׬Y�b!%����W���+VL�0��vW�� nڴ��e�4SN=��E�Q�=�zpp�ߧN�:���ʈ@ ̛7o�ƍ],��7nܺu�z@P�(�$�cǮŋj�,X0cƌVJ+�D�L�2eÆ ��ASa�GFFz��$�����mۆ���Z��J(�O �Z�7�����@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���$������Z������@� �Z���ƪ|o��f˫���}Z.���ڵ��L��Y�7���;�3���j�n�\s������9��� -Zt饗"��J2{��$��뮻��V��G����£rݶm�nᇨw��Hֺ.%������G$3z�_����8���?���Je�|�;�x��6l�@w�}w�l���@W \{�Ay ��O?��y��x�]��� [�~=����oߎ��F�:��R�F��C��b�b� 7�}���O:�� +��>��&L�����#�,��� ؠTL��-[�n�3g�(���"�ϟo?"�s�1���ZdzRʦ�觞z��s�m����N�8� ���*���(�1c�/�o�|2Z��G�� ���l��C����R��- �Y���� @]�Q��Uϰ�^%��z�s�=Ur���BFNs#�x>���B��D1�������1���0�ۘn��It��V��U�F��3r���njBE s!��\�?@>u���%^G����{�B��֦�X��y�V��͛m��vb�<�lp�QE�F�4˖-3?�� 1��{2�HF3���γ�>�?��Qtd��NF�t�9���[E˲wyp�v�i8x�����B� 2:���s���� ��~t�஦�*x���W��[i\z1��uѳ�:k�ڵ� c��ćt9�prs#1�����C��9����C6zu�A4S��C#���ꌜ�R��vk��s疖!2���f~衇(��ͦk��܇ü�[n��kv��=88�`��\�h ŮA7�҇�FdZ�e��{�{�캧63���K/u��{h��_~9;7:C�/hʔ)�>���� ���;.�hK�~-����>��AV/����yD>t��ҥK+ztc 3t)eݺu֝��ϛw��� �H�?�|j��j��m��<4� Pg��+b�ʕO?�t�Ht$� tG�^)eܸq###��Z���� ��T�K�,�P��[���<�u�Q��%㒂 �9��ŋwJO���~��n�7"�F.�z� ���@���\�-v d+ �����x� �kL��⹦�^����'���5kV���F�F4444<<�`�kk���@$[�KIS�`E�ɱ��M�6!w��� bVZ��̕� � 7�`g���M5��vM�#�<2�gxn��F*��* �h@:MESM����X(��3g��;{��C9��[o�7x7M5�� ���$ʪs��{�43Fߦ�'�>� Y� q�t<�b���t�6mZn��`��?�0S:_��v����+j���:#O���P�TSD.d��4% �C.��b^����SR�a�+S�Nu������\rI��b�5^n����N��ðZ[��nPaQ:��*e;x0�0�;�Fs2oB �P�=�R��u�]ש��B:�N.� �(,XQ��9��:�QH� 4���JF�P����f�D�'uU������P����]�vz�t �w�K�[B�[��[�2����h�)�981X0��,Y��ϗ���I�d@��͓O>� m&Ӆ��"���S��!c�nI�i�;(t�,�Z����g�:�a�g�}�V���*���UKG'XX����S)�a�T��G�O�ר����Ex�坄�v葤)e(���;E��c*Q�j�aJ�s�9��g�.Zn���8 ~.��]�����7�� �}���P�9�6���_�zdeFCнY �';9��FO47�e^4�g��M�/9ObE~�A�&� Ս* f̐h�5k����25s� �������RX�N�4�U��ָ�y9w��!�A��8���s�|�l~GN� 5����'�U�B���N5ɦDxѺ�XD���Ǫ�"Y�M!Y�Z� l0�� �i.��� b�N'�� ��J�FV��F1߲?����fV��`�b]�\�S��Z$����-�CT�뿾ƶ:mDz�:�����~NO�y�� p��ggs|��t�YA&,�i��ģ4����b��-��;a��94���ϩj3�?.��$2:\�[�C��|_~���2j�ldÃ���K�I�-��ܮm`�ڟ���RX��s���,�R%��E����R:�c?dߨ���J��=�P��:6�ZSO#�h����������z��K�t길�mP��x���� ��/C ��ڛ}g�/�u�믿�1����{���a3�|h����7��W�p�Ν�ӆW��-�6�^�졉Ae���� C�o�U� v9SMn�/X���dS27�Prb��}a� �u*����c�Y�Y �i) �:HE됆�.v杴N�� EhӺ���gȽN�[��?C��;��p�c�l])�T��l�w ��^GvOq��a�x��2fh���NNu��QQ�&��PG(X\ǦF�� s^|��0K���BM,~lvb�u˕� S`�˙jJ!���מ �������22w?�����+�(ש��@��ڡe��������ZǦV$sz>��!��ۢS�Ϸ�}�QFo����H��C*@��k;"�o(�Z����Hs���X'A�e����x�;�7� P�w׮]�D� yl��#��!&�>y��W�5 (���oz9g��̕��K\]w����"� '��F��=JǶ�N�`�����:�D�w�+4M��u�������I�؜��_�gkq�h��w�)CT���ڢD�E��n@��O>�`�^����8<�� V�hMԢ��숳ҭC�֩�N�Vt�aC��o�������L����x���kj�4'�v�����2�m���"&�^G�1�@�1 ��ض�rSM�W �+j'�w�~��������@¶�(�s���N��> ���n���<�����|k��˨�E�?�z�ɯ|h۽~ ^�Ip���1�:E�j�N��� 3�LE����w����Y1;v[v�% �8��K�xQ�$���^�y��q��;͸�b�Rn�0^�*)i,:�?kFYPG�ui�y4��?�_���ӫȩw# 0��Hi3lT����5+��4�I�E�B24�u������2Rb�L_�� ��{�hb1�������~�/� ���):$-�?�� �_e�;gM��70�~�K)tK�G���z>w#�J��u'ϰ_*���������̳���L�Kc�����;g�a�]�6�y�FF���\���̭�Tx ���ar�ӁMx�)������L�L����7�4����$�f��~�G��܋�7]7fue^�.D�a��(��O�n�Z�F7;U*m�uG2ΎU5+&1�Agݔ�SYt��a� �� �iN�|k�¼�'–c�X�M\vqƚs8��Bę��4 N����up.�� ��f���j�&C&1�?�0�g�.~�4 ��6,�M$�\͐0�?��3v�…��.D����'��1sK_qh�J��8�2�;�f��;{�k"k�~�l� J1�oT ��[k&�4�_�Zh|�-�,4gl|m�+������_,�g�e�x�-� &x�h鍦7;�<(����T� ߝ�Q`��V/�A��O���ϱ��Kl�$Ǿ鷺�<��TAW��|kM�/�b��� b�2�uʇ�g�$�*vN��Ƿ"�e�,��.c�\E���o��J�dΫό�V���(3�EJ��!��`�m�UQ A[$�|A�ZD% �]�|�J ���Lh v�����iz����F�F���}1�E����gF����2;�%,��$�3���"��M�MxKKe�Al���v�}ndY'���YHT�1�ҵ ^ķ�(ٶn0?��v�T���c7/&�U�s��k{3I1��U��`�/ݷ2؇�X)����J���I��(��l����hҤ�D������t }�������F9�޲-�dd U�o���z���v[Ѣ�HM.)�o!�mj����~�L������Q֚�,F��n���I��mu��hc���\έ���,2��S?����O��7Ħ��1�2ǷC�~�G���Tȳ�� (q!ÆY�Ɍ]B�����OmVSyvp�jJKqn$�������Ev'%����`�Y.:�v�P&6������\�_���NU�[t���'�K���d+q#a2+�0�}N]�� C_O�s���d�%t s,: w��X�R�W���ꏻ�ύ�y�j��Sڝ���� k�ɑEǖX�?`W���<�v]>����.?�SV�W^y���M�g�T,@�IR��=$c�J��&ɩ�ͻi$s���W�6k�C?0����6H��e�Hʘ� �eT� L?�}��K����8K�?+42eVG0n�%f\}�SI��pg�4�����nrm����uй�Im�B�(q�hG#0ϳ/' l�5mn{L��(g���o��d34�=n����Įc��ErDۻv��&�݅6iN��+wh��#O_庮��d���9��ՌA�0T������n�����T\�v�l���*�UG�%vZS�h�c��V�I���I%Ob����ȩ�乛���)e�o̴,P���9��'r�����d���M;� �*����uOx|J)" " "P#Y�a*+h���u#X�������H@ֺF��JD@D@! k�Ve*" " 5������F�Z7�U������@�d�k���D@D@D��֍`U�" " "P#Y�a*+h���u#X�������H@ֺF��JD@D@! k�Ve*" " 5������F�Z7�U������@�d�k���D@D@D��֍`U�" " "P#Y�a*+h���u#X�������H@ֺF��JD@D@! k�Ve*" " 5������F�Z7�U������@�d�k���D@D@D��֍`U�" " "P#Y�a*+h���u#X�������H@ֺF��JD@D@! k�Ve*" " 5������F�Z7�U������@�d�k���D@D@D��֍`U�" " "P#Y�a*+h���u#X�������H@ֺF��JD@D@! k�Ve*" " 5������F�Z7�U������@�d�k���D@D@D��֍`U�" " "P#Y�a*+h���u#X�������H@ֺF��JD@D@! k�Ve*" " 5������F�Z7�U������@�d�k���D@D@D��֍`U�" " "P#Y�a*+h���u#X�������H@ֺF��JD@D@! k�Ve*" " 5������F�Z7�U������@�d�k���D@D@D��֍`U�" " "P#Y�a*+h���u#X�������H@ֺF��JD@D@! k�Ve*" " 5������F�{���ӧϚ5k�ԩ���LE�̛7o�ƍ}P�U7nܺu� ���" �;v-^�pxx���X�ɓ'����?^�D@��ӟ��e�Y�����/~���-#�\�`��3�FD��)S�lذA�:��ښ�@9�zKD`۶mCCCf��o�� " " m' k���|" " " k�> " " m' k���|" " " k�> " " m' k���|" " " k�> " " m' k���|" " " k�> " " m' k���|" " " k�> " " m' k���|" " " k�> " " m' k���|" " " k�> " " m' k]�����]�vU�B/���2�7�|��ŗ�=C`�ݻw.X�`ƌ=#u�>��c###����TԆ x���^{�.���k�٫V�r��>���? ��&Ľ�{�|�I�<�3�����?��gϞ}���.���}{}����Oc)�u�J�뮻��ySY�f��Q)詧�Beq� .�R�B�?1 ¡����aD��:���: ���43��{�Y~�t�A�<��-��� O�ki&M:� ~.dG��u�(�;3ד�z�=s�뮻���T�3���SJBh��_~����$��#�<��cÖZhѢE��߇}�M7���+|�r�ʊEc��Ν��;�,Y��Oւ4��W_}�v�e�5�g�q�;�E)|�,�Ƥ��{壟 =묳�H�Q��)X�+�>�,��R�qȀ9�c��ҹ�,Yj��� /L}w��Y�r�i��Vh��_��o��r��6nZd�\��o��A`,:�}��c��=���o�� Z��X��C����ā�7��%c�0� �O<���Y�X��np�*���%�c�=�L0�����Q�/��e˖� ��/~a*k��ŦYm�o���ի��X������*5��Z��#jl!��\��'M�������vz=ý���ڵk|�A,���i#�J�硷�z+��S`�5���/Z��~&`�5�NꢳQ2L�1ZQLijA � .�`�֭����Ӵ>�2�-���_��G��C)!3o�Lw�R�RSF����}�5���)M����)`[�Ī{i�gu]^��?>��a�ڔ⣏>�:`���A}-$+W�Q�@F���2mg�5!�ҥK���/�Ȝէ�u�.55_ݥ�^Z=7�El�Y%W��ׯ�P����ӧO�T��Ld�C���p�0��f͚ ��Kx����!x%5:üp�쳏%f�����9>�"/���˓9��zQ_�Q�I ��M5HL�Az{1c��z���� �j��wB d��.�y�)��xF����H�8 �j���z���c9��4�� ʱ����̈́(��������+%���>���+o����*�N(4�SbVH-9�Z��@6+���)D���7{ϖL��ӡ)�������`��r��8�����߼y3=��U�!�����w�q�~� ����[��H ��x�9�ซ�Y)E��������x���#�ڵk�&����p#SĘEΓO>�XW �Bf�]6�Zf�!/���f��ih�ċ�4��쁺����[o!�]į~��5tj��( `�ɶ�ٔ<��,� ��Z��$k�o��b٬��I3��ٌ%v�mn�)�,�y2X��)��U�';������el?���tnȩ�ۤg������P! �4Vی'*�"G�.�Rw�})ѤU��wE` �Ns��$l�uM����&ڔq�a�X�ϛ7�}�m��趖3"� e$ƽ�Ts�� >'<5[� �C�?衇>���<3g��C h&k2��X)Y(.�`�Qb���Ͽ�*���]Y��i0������0�x9.,#�Dμ�Na������B��0�m/��o��m��4�u�C[�S��\� ��Y�����@�; a�!�wĊ�.wN�J�֚��Ul����h�S$Ep[xgE�t�Q�, ⏭b�Y��ӀQw��ܟ.��4�J9����y\۝rʐ�I��Kʑ)]�_����lX%Dˢ7ɤƈ3r�Xʌà�]��<�E{e����\ D�G �H����(�#��-��+�+3���1�6�Ǯ�m<�S%\�N��qf"�_Ƃ�Kw �� �N���dfޝ�)]tK^����!l��"�a�:����S{�bp"�U{�c`��~z9����������:�T�6��a$��;���#�]g;�I����C�,1� �Ro�E0qa��b�P�1�X���&~�'8�4���S����)����3n�_�'ON��Z|;7��r{Z�*�]���b['8[�r����}!~*��,q��%��Dl�m��[���[HJ]gDx]q��N��v���.�+2�^���g�� G #�XW�5s���-!���+��҇��>Hu(uڬ��_���*B�]�E8�����c�v�b��S�1���lf�5F(h����Fa�׶��8����Q)w���������Ă��B�����Ћ���l,<`��|�KUq��qV�`��qe�p�����������>!@�7'A��eo��������y���gF�)g̭-��.��R�h�,+���5�ԥ���$H�@q�"�9��/Z`P0���Ыt�c�EY�= ʎ �N�R�R�/I B"Kw ��������Ylvj"�^��"�E3��x�:��Y�1NJ�;gO�9S���7�y�����k��B�D^T�n3t������������J�4Z(u��lJ;�Y������@�2{��� ����� �?���r����~�)��S�ҽ�Ƈ �;vu�Q|� ���w�}dE����wL�?����^��?�q��Rp[-[v e���X����w|��yݺu/���o~��L�k���������G?"�-[�г����~�J�ܹ�׿�5��>���RU��?���?�Er��KO4zB‡О��ۯ��{7��}�{v�@��8���Π�� [;�n���a��_����ߢ���U���a��>�6����!��o|��'�p�����o~�I�/�b d"C9RLє�pf�1x��c����o9C��/}������3�����|�;��N��|�3/F��w^�.�v��'d�C��!9��-G�~�r[�����������fVA�q� ���C�L� �k��Pb�����5g�h�.��s�������|��ߦ�v��=88�Y��C�ݗx���/���1�[Y��:a�磔�Ph������}�lܸq###}RY��,(9a����ӦM3eˇ�'�����L��q��4KF7�-`��3Xw�K��H����fr�7ה染� ӎCCC��ò���=��_d�S�[ֺ�0����f�lF�cW�֣_f��a*��h�ʼ:�Zkߺ:O� " �F wg���W]u��=$�ٟ.��E<�a���� ���Kˣ���.�Mo���@ ���}���?#mf�����N�ߕV�;���gO����c{��5M��P���o]��r���'<���'\CBj! Ox-������t��<�]�bD@D@D�4Y���������t���u�@�(M@ֺ4:�(" " ]" k�%�*FD@D@J��.�N/�����@��Zw ����d�K�Ӌ" " "�%��]�bD@D@D�4Y���������t���u�@�(M@ֺ4:�(" " ]" k�%�*FD@D@J��.�N/�����@���~�ɓ'��o�o���T���1G`˖-[�ns5�T!���������^�>&�׿�uddd���0�c��O����}mҤI}�DU�J�/_�q�FY�"�z�ҥ���e�c;w�\�z����?������ f̘��LTu�D`ʔ)6l��NZkV���e�c۶m2k�}�>������@�����" " }L@ֺ�_U���=�PSD@D�� �Z�q��" " =B@ֺGJb�����1Y�>n|U]D@D�G�Z�HCIL�>& k�Ǎ�������Y�i(�)" "��d����Uu�! k�# %1E@D@����u7��." "�#d�{��$����@�����W�E@D@z���u��k���.��G�e~.�K/P�5�\s�=�dg�lٲ3�8��7߬�̱� G ��$2Yn>J �� d�_��W��U��h K��$C��2�j���bF!W3�_�$�����.@��t��G?����v�ڳ�:�� /��n޼�@.u$�O0��9�իW��'�Y>���6mzꩧ�(���x��~��k��6�&|��'�L�iY�+J E л�c�w�Ν;ˋ-BɠUn��֢YUOO���;��7���m���htK�B�@̱P�s�Υ.��`��l�<{�����/�S����ulW�T/Y��nx��G��+V�����zvl��Ð �u�]��%K/^c�br��4�jf-7�xcd-Л@F�`GS��.���?���ݒA��s�-_�+�}���YUO� ���|�ϟ�V�L�a��0Ǻ�[P˦��=������Gy$��ܔ.��u,��+W{� �_�a�06������1Y2������o���;��`�/��"Tj���Xb�`����0a�K?cƌQ���&}%FrҠU�-���p2���/�[0R33�8qb� [�:�1{z��R��TQY(�h���O<�D&�EA+�Љ��.����9�'�ܳy�+z�<���NOT���C�������/�g�$kv�}�!��$V&�QY(Ѩ�N�͙3����GyD��r��V',��S�n�I'�$n-'�B`�"��ݩ"��C9$2FA�:�?~����&| �}�e���`� aC�?j����'$�L xH��,ٶ4X�[><�ߤ�4I����ŚZ��i�H�_���m���+"��S+��q���X��ӧ�\Y�fMTwQ"�#p��g���g���s�������K]G����<"5� |S��-�������C%��L��c�� ��r�MY�jZ1W�őkE*� j�NȐƘ�jf{��@�:0���ul�_q�|��6Ě��wdщ �>�c��7o�gA���O>!����6���h-�2���`���,�+�cjE��co��۫�N�. ���ʹ�m�S.%~����_�k���_��yA�Əo�R�1Vh ���h͏?�8�����ҥK�kh�Ax����E�D �T[�?h�����uǎ�J:�>Ȱeg�J����:��k�.�9*�+{��:�QPk׮9��ӧL�����ݟ,d�-��(~�T����lf@VHK��3�Pz��1p���5k�r�M���3�����I�);��Cy�CF��E�:�?���r����B�+f/���|'�5�������+Qi�4~�*����te���O?m#��!j=��Ctn~%�\�'I,�v�̙�̋D�Z+��88?d����!�K��}��6�p�!��n��~v�m��bje�����ȕ�Ċ�q��4#���J]C35��3��-��B1�mh��X�ӰmA}���5�}N:���1U��7=��B՘Va�� � (�"��� ������O�x�uɐ��hd� ��m���� a�Y����G��VA�Ba��q�Y�n i���ӌ��]Yֺ�8��c;mh�0Wb�x�Q�Jn� �9"��e�nb��)6?�3������L~mH��.Hn�,d�d� �l�C���ɓ��9�#"{Rn����A�G�?�\�av0'�G�\�(�S�] ������R��1؁�:u*uҤ�r���s��u�����>�9e�ØΏ���\6�7 �sZ��M����K�5jm�ܩ�N_3�g��Ke��u�C���Z�K�9&�Ҭ �UF]�`r�`�fem���ϸ���ƍ� �!u`�,����_�{��p��|���RpK�"�ڔ�]���~�Wz��$o-4+0ƚ�`�Y8ՎK�=Y� g���h͚�'[�� �1���U��Be:蠆 �B�v)V���Ib~VS5I�н��M�Z�iVC ?��g�'m���������u��}1���WTF��w(� G��{���n{�l�-�;/ɽ9��AH��&��c_��-A}�'}�,�� ΅ F��AeꝪU��@M��⣏>�nY�؎��Lb��&�cߏ���W�m�ɓ����+Pң��J|������4+���2��\��i�1�EU���V�-GW��6�k�Y�t�M����Шƈ��7�̧דe��9�G�:��S��f[��{? &�8�XR�ӖI�<7գ[��t���_���(��v�]ܻ��� S.���d�i�Q������R����}��D�p�Y�����h���z9��N?&'+�����M�F�1{��x�����r���ulC3���C2��߻%�M�K�jZ�sQ �b��%��_�caό� j�Iq];������v�"� $eL�`�HJ&F ��1�n��;A���u�V�swfC-b��D��W>� a"1ӈ����mQ�Ő��e&k]���H�f ��ݩ'�$�&�.�̟H32ғ̂���Ç�X���;3����6Dbt!3��/2�v&�={6m�i�ꫯ�� 'S����MJ�i�vV\R���:yC�� 4;�YVz�ufz)�ԭ�#5!l>���o@���EW!�}h��, h-�*�Q�*Yىr���G���sJ�ɯl����G�*��u���X�'�s_bʯ ;Bm��m��dׁ�h=58�/aɍcy�T�&�r�s��+�b�ʕef��i�٫?h�6��!j�`�o=�6�H́�SO=��t�l�����̂S}�ˢ�v�É�p|����+}����2/�z�U`�@]`�l�ڭd�4a$:�nݒ�Y�U�}��N��{}���1��??`Z�;�? Mge��k� 2���0��\��rw��Ek[z�ϪU��*s��3�<�6����™g��L|�� �޾�|���i�M�O��yp�.�, jڸ��W��y� 6�j��vr�=�j``���V��ƍ�-��)-���K00�(p�ɴ �'��J�?�R0�3��Î?�x7���V),=�:0 Pb܌�'|�/{�WW%�t�6�܃B_Ր�_�OH,"1�\�d_��n����n6GѲ�1�����;�hP���R���NCCC����UֺhUM�u��l�;=U����QU(;�9σ�`a��ţ�֩0e���XŔ1ì� /��SQ��z�U��Ҋ�Y�q��\E8����'���V_W7���+��XI0��w��u�Q�E ��j�C�S3(%�<"۲���B�!�S� !���m�@�� �/*��@?��\�������}����N��{��>���;t�@��Cp���8�Z�m�a���֨Wl�&� i k�S�܅E�Q!�M�������� $����ɢ��aBd!f8O\J�*e>$ �<\=X��%P�%"֏�kb�b��B�WG�T�x4 �h ��i�D���nk���Y�^.�M�;q�Ti�;v �S�Y/����2Km E����J��$�(��l6 -" "з� �ۦW�E@D@z���u�4��[��}�������@�����" " }K@ֺo�^���=�TTD@D�o �Z�mӫ�" " =C@ֺg�J������-Y�mzU\D@D�g�Z�LSIP��% kݷM������� Y�i* *" "зd����Uq��!��3.\�7i���T�G��ܼy�����6�}��_߲e�hJ��E�� ̜9�'?� ��c�{�._D@D@�8y��x�z" " c���#j�6 �~IEND�B`��Dd   !"#$%&'()*+,-./0123456789:;<=>?@ABCDEFGHIJKLMNOPQRSTUVWXYZ[\]^_`abcdefghijklmnopqr����tuvwxyz{|}~��������������������������������������������������������������������������������������� ������������������������������������������������������Root Entry��������+ �F0��:����@Data ������������sq�WordDocument*��������<�ObjectPool-���� %�:���0��:���_1518893157%�����F%�:���%�:���Ole ������������CompObj����pObjInfo���������������������������� ���� ��������������������������������"#$��������'��������*+,-./��������2��������56789:;<��������?��������BC��������F��������IJKLMNOPQRSTUVWXYZ[\]^_`ab����def����h�������������������������������������������������������������������������������������������������� �����FMicrosoft Visio ��ͼVisio 11.0 ShapesVisio.Drawing.11�9�q ���������Oh��+'��0� X`lx����� ��UserVisioDocument �����RZVisioInformation"������������SummaryInformation( ����DocumentSummaryInformation8������������ �Visio (TM) Drawing RZ�D�N�XsR �|�� ����]�|��|��xl�� �v�c��v�c�@ �E������8�������������������� �������������������!�f�ffMMM3�33F�w���Iy���������������������������������ͩ���������������|�������������������o������������������Hx������������T��J����D��T5����I[P����1��h����X��T��@��������U.������U�� �� �� ��U �� ����������.�U���b��##��a�������0z�G�z#�?���K��[&/~\�&b%�����~ I!�������@oL $c)P����?��H#�~�~�,Q�,� �& "&J� �, 4&�� �?C���"/�.?L?�\.����? ���C�A � }�,�,�,�'p/�%O6�$�X6�� ��(��}�j?����k)����?�"U � � ��U����I������3#���o=S?#A:R;A;dUdUT@;dUdUdU�A�O�N�O�D�S`�;dUdUUdUdUdUdU�dU�U�bK�S�R~;Ʉ���4OL���%=Q�ip;�RT�R�R�g�g�R����ph=Q�j��4���� �.F�@]E' %��p�3��~�|�b�F�p�#�|� �| �| �������ui�?��� ��>�+��a��h34�0z�G�z��Ĵov�,8 ��B�HM���m�c�/P K(��w_�`��H��ʴ_Xhd���?~P�p�A?$?6?H?Z;X< ~Ws�5i!� OO�*�4�o�/�/ �/YkWj~[VAm%�bO��O�O�l�E�$�g[�.��yZE�O_ _2_D_V_h_�_�_�_�_�_�_�{�5�M�S�I�e���M����dW��}�@�R�d�v��Q`��ك2�q(���?'�9�`-ou�xQ9�nd������RE�a^O��S����O4C?�D�D��i?�?��O�c6ϟ��s�_:؄2�H�����Ή;b}e��7@�Ǐُ�����_�F�!�3�I��Q�l�u��o(�o���2��h6,��Gsb 3���Zb��6A�n�������{���@����o�o�7@r;Gֳ4C�*<N�`�*��2�n�/Z`@�Q�F>�>�U�U��ц�_���e���p���a�1���� ��%�L�5�`�B�~�O���\���i���v�(��Z���=�,���7@������UBU�ϯ������ �2�}�����褾mӂ�8��Fwǿݿt�w��bub{z����q,�C�Iy�A�S�e�HD�0��MAb����tb}�����@���G �6�'�U��2�D�V�h�OH�������g&U�u-�M!,�Gq��q�]�q���D���l��J?E�,p�ϓ��ϳ`uJ��`}��%��P���Nk���6�@+� 2D]c����"s�*ܐ?yO]d���������4�'���� //��{�V�vFQL/^/\�n��/3EWi�/��?�����?�i���|,�������O/OAM��}�p�jb�p��O�O�O��O�"_4_F_6/,cv_�_�_�_�_�_�_�_oo*o �P�b�tφ��Ϫϼ�[�J�������� �2�D�V�h�zߌ߀�߰�����������"����#�����*�<�h��{.bLb�o���������������#�5� H�Z�l�~��������������� 2�DVh!�$�ͩ����h�u1:2���*<N`r�������//'/9/K/]/o/��/�/�/�/�/�/�e%����&�����/?"?N�N0?b=�@>Eb�U?g?y?�?�?�?�?�?�?�? OO.O@OROdOvO�O�O�O�O�O�O�O_�_*_<_N_�'���(��p_�_�_�M�bd� �sb��_�_�_�_o�"o4oFoXojo|o�o�o�o�o�o�o�o 1CUgy�����q“)����s�� �O�0�R� P�-�A�S�e�w���������я������&�8�J�\�n���������ȟڟ�����"�4��*|��+���W�i�{�N�ޱ�kb�&�jb�;���ǯٯ���@�!�3�E�W�i�|�������Ŀֿ��� ��0�B�T�f�xϊϜ���%,���-�ÿ�������q�bٳ[$�ub��(�:�L�^�p߂ߔ��߸���������%�7�I�[�m��������������%���.���C�U��ƚ��t�7�������������'9w)Abt�������(�:s"8R/����et!�T=b;�b�(�U0��?�1��ݥ����R-b@b��[3bDb���/ /2/D/V*md)4x/�/�/�/�6a"b��H�a�S�/�/�/?"?4?F?X?j?|?��?�?�?�=2���x�?�8s@Ib��?�3����C$O6OHO��1_Bs�G[�O�O�O�O�O�O�O�O_#_5_G_�^_p_�_�_�_�_�_�_�_oo$o6oHo^�cco��o�{4�_`"��ͬoH�o�o��9j�2_B�'9K]o�����RXn!��� �2�D�V�h�z�������ԏ��� ���5���6���5�G�Y�YB�����`�0،�����Ÿԟ��� ��.�@���RXH�s���������ͯ߯���'�9�K�]��Fw�s��8��{��s"q���өoͿ߿��{�-�?�Q�c�\/n/�ϫϽ϶/U �� ��/�A�S�e�w߉ߛ߭߿����߂^b����!�3�7CHxA�S�e��|����������wω�� +�=�����:s���$�-���������-'9 a��O 3�4P贁Nkj�6l��&!���(�2�q�+0�?*?<6S?��\.����? 7���A��v*T4<6�2�<�<�7"4FXE$��'�5�����62 )F�2jl��?�?�Lŕt({G��!3�B�JGKF �BF1I)_u>~kp$�O�Oi\�t(GXPY����v�!���VY��]./@/R/d/v/�/�/�/�/�/�$K��/??%?�oI?[?;?�?�?�?�?`_r_�?O!O3OEOWOiO{O���O�O�O�O�O __��A_S_g�y��_�_`�����hPUF�������D��f��������P ������h>$��/T�� 6D U����������UF�����~�@�����x�<�?��F ��B�P(�?�43��P���?������ ��ȅ��H���?BT� �?2~�Љ����� ��0���`Fh,�w�b_,�W,g$���i��^� T������X���_'0UK"����!��0��� ��e��/ ����� �^!;�#u��� ��������P���(:���������{�W���_�q������������\dkb_��r�b0R�~��Vu� N0�H���������D��������� ��# �����������B��>T�����i�C��;��'h>* ,b���� T ;��J������UF������~�?�L&���d2�?F�\_.���������?Q6 �UY A��A3�3�3��u�` ^���?�!+5�C�M4�W]u�g���>���5 � ��L@R����������!�$5 /�`�Vis_�Sba.�chm!#457W �2���a�`+�HrCg@b gw (K ) ] �0~ 3z M= c�ro? ofutz C� rp�"�a� i� n0��OYuo!Cg)'R0` �����-�"#"'�?9 M�J&�/�7 a��q����� E���V����@�<$�!"#�]ca �b��1�,�;��?�5��6�9 �2�3b�0]�3��1%�>��> 0�?�?�5PA�5�%�5��N�G@8OJC�1TOfIM\{O@ J�?�Oj._�g�@�\1Y4�_�'�������2TA$d"��(�Sh&@!B�l��� @U\1 �]��E|?r7��\�+���T�M9�]�=ao6 `(��b��(4M�oLE�?s�%~�5�OsMu�L~}�m�yt5�^!�o>"crA k��"b��� iAV7M9 ,=Ք��X7X'/2�q����&1!'EHa��$="����H�����9�-����� ���~L��)���u��E��/�>����F���\�N���#����H��J��B ��d�0J>a��@6o���@����t�N8o>P�"#"#$�t��4����������r�@�dHK�M�?����� ����J��A-�3%7����@D�N3FRH��<��(E��N� R����(��\�������������Nwv��S����l�J]��@?�� 'uy=.��PD��|'�Oi�������2���J��� ���\.�����?V��?j�Z�?����8w ��"`*^p����?��� �N��(�����C���������*��_ԁO|��R��CU�������`�������� ,����\.�����?V��j��Z�?���� L�����F����DN��Ty��B@� ���u��h�W �T����������������rUF���r��@FdHK��M�?F�����x<�3�F �B�P(�?F���P 2����<���2@����?��o�r���u�`�����"� "F"uu)��e�8�&���� ��u��#!��J���� !H����!�$�.��$��.��$�.�!�(��N�*�!�(!D;�%��$��D;�!�(A:ɪ�y�P�!1��2,��!'��(�1�1e)��*���!/��0��1�!�?O"O���!!�!�!}�!�3!��!�E R5��l8���!�1U��a �E�%�-�%�� B���1�����U�$@)_�D^@&��d2�28Q15^�_R5_���@�%�����E�T�#�?@��f����?v_KT=`�S�?Qi�! Wq�T�!�T@�1���!�I�M���� �1HW=`�x�� �a�k}VF`TX+e�nRf��p��e�\\w w�/7�W{��gr���Tk��h�4���cT$��b�1�15��P^E��L�R�3?�$tO���%�!EO�4�5fOxO�O�O�O�O�o�O�O_�_,_i_P_b_J�_ٟA��_���_�_oo(o:c�D��GoYoko}o�o�o�o�o���o� ;�1CU�y�������+� �O�-��Q�c�U�������0���?Տ6����%�!��4�!$���H�Z�l�~�������Ɵ������ ��D���h�z���`����¯ԯ�@�8e�׬}L�� ��-�?�Q�c�u���X�����Ͽ����Ϸ�;ρ_�qσϕϧ�����ϧ�%�I�[�m�u��Սߟ�m)�%1�ߓ41�߹/ ��.�@�R�d�v��F�����������Y?*�<��d?`�r�������6g�?5;q��������%7I?m������y�C_!3EWi�_��_�i_���O //�//7C�%O/a//y�!N0�6�.UC/��2Av}�keUE*A�1-1�a:D�Í-1�5 ]eM����c � ����UwQ�?@�BT�!D��Ů ��?P�4��a�[�!u2@`6A޲0�?�K�u�)0U�.&1 A�a% A �a|� �b��w�}�������)��b��X� OWT�D��"��`*K�Q��^�g�:���"r��5BSS�Z�a��q{����r�����R�RH��+��ǜĘ<��B@'�9�d�BK�Q�o��M�6� e�6@d����������R��8\�2Ǎq���?��Ϧ�3?���R�?6@���A �g�u ~��07C)��2�p�i�ma��g�6@�`��ࡱ��m>(0�� >�F�p2A�aFih̿޿���&�8�J�\�nπϒϤ϶�������@���"�4�F�X����-1Fa�!Fa1Fa�ߘ��߼���������(�:�L�^�p�������������$�6�H��Y�Rol�t5@E;np�ry�����f� �%E2�UC���3F9Pn�I���т��4E�@u�ap�il�n5@NN��ve��� p��-1�/D���TO � ���1 p��/��]UCl�m;plbj� �:p����H�%i��,2FaFa�!Fa�� �0 ����0�A�q�AG!������ //0/B/T/f/x/�/�/�/�/�/�/�/??,?p>?P?�)�����0���R�2�lx0��DSM�T6Win�AllBasic�CodePage�sTime�s New Ro�manSy�mbol�0Cou�rier�1Marlett�5��8����*�!_E�D/AP��G_AP���0A�E�%�B_@�CA�E�*�_H�B@(@�H�0A*_D_E�� P'ys�3�EN��өqoV��4�B����fw�8qw�.T��w� �Bw� ���&(�7u��U���%��o�%����q $V~Pw� zo�`(��� �%�����=��w��P� @�wR f%Ysq-%���2���m.u�x{���qv�q UUU��?�?�?�?�?�?�?OO(O:OLO^OpN�w��v'���o��`�"Syste�m[��!�\����4�rr-i��sq�%����MNANI��"�4�F�X�j�|�������į֯��� ��0�B�T�f�x���������ҿ�����,�>�P�b�tφϘϪϼ���������(�:�L�^�p߂ߔߦ߸���������$�6�H�Z�l�~������������� �2�D�V�h�z��������������� .@Rdv�������*<N`r�������//&/8/J/\/n/�/�/�/�/�/�/�/�/?"?4?F?X?j?|?�?�?�?�?�?�?�? OO0OBOTOfOxO�O�O�O�O�O�O�O__,_>_P_b_t_�_�_�_�_�_�_�_oo(o:oLo^opo�o�o�o�o�o�o�o$6HZl~�������� �2�D�V�h�z�������ԏ��� ��.�@�R�d�v���������П�����*�<�N�`�r���������̯ޯ���&�8�J�Y�UlY�Y�Y�0l�UY�~�Y�s�s�Y�Ul�Y�Y�Y���Y���U%Y����Y�@dz��۶��l�uo�` 6Y����u����Y��l�ܹ�Uw�Q�?���?��!˪�3�E�BT�!D�?P�bϵ�'Ů�ܿ�������'�@���I� �m�Y�NY�5��H��TD��/�����o��ݘ���/ũhY���(l�T~��Y����Ş�Y��Y���=Ժ\.�����?@���Yy��F��?@O�F��Do�F��b���?PY�����.����� ���⢱��� ����������������*W�]���s���Y��ո�=�F�a�����d墰W�į�m�����l�r��bؖ���J������Y��,��&�s�6�D�~垲@i�{�d�\���rޖ������x �������b� ����\dz27�q�?��Y�?�J��?b��F���AY��� ��JDl�PkDַ��D�Db�T���ࡱ�:D>���� ��~�o������D��/ /2/D/V/h/z/�/�/�/�/�/�/�/ ??.?@@?R?d?v?�?�?��0 �����s����?�?�?OO&O8OJO\OnO�O�O�O�O�O�O�O�O_"_4_F_X_j_|_\�_�YRo�Pt��wEn�PryDD�_�V���UƲ�/����SF�Y`�.��yx���:Ж�E_qua�Pi�Pun��N2dve�_[n ����U[o�o�acشOj�Io�o�o�a ��Y�os�u�C�Pmp�`GbjM[z� ��o��q�1iﭶT��� �p ��_�pϱ�x"t��p��?�0�B�T�f�x���������ҏ�����,�>�`P�b�t�������k���G�p����R�rt���r�DSMT6�pW�inAllBas�icCodePa�gesTi�mes New �Roman�Symbol�C�ourier��Marlet�tԕ������z!_E�D/�AP�G_A�P�?�A��E�%�B�_P�CY��E��*_H�Z�@�j�HA�A*_D�_E�~�A �p��n�z���� n�+�A��l���p���1��-��x������1�ᰡ ��G��a��¯ԧ�������=�O������p�R�\pMat�hType 6.�0 Equati3on�⍶EF�r���.Α4�9�q@[�۾�U�uu/����+�P��P����-��fӇ�q4�$�4�.��4� ��4ѿ � �q&�jyu����������p��p�q]� ����3� �q~4��gk��7���}���w���� @�wyf���-�p�q2�q�r1�1d���< ����������������p_���1-�xx�Vd�,���9j�Q � �2��dP�Pes0�����߂���p�o������o>�P��i�[��������߿u���*�<�N�������������G����ñ1Al�GaNQa?Y!�!�]�{S��UUGɟ۟����#�5�G�Y�k�}��������ׯ�@����Ǜ�����r���q��"System�����a!���q|����C�&�NANI����� //./@/R/d/v/�/�/�/�/�/�/�/??*? Pbt���������(�:�L�^�p���������ʏ܏���$�6�H�Z�l�~�������Ɵ؟���� �2�D�V�h�z�������¯ԯ��� ��.�@�R�d�v���������п�����*�<�N�`�rτϖϨϺ���������&�8�J�\�n߀ߒߤ߶����������"�4�F�X�j�|������������� ��0�B�T�f�x���������������,>Pbt�������(:L�^p���l�j��0�U��������*�������U�����@ #"!&�ڮu�` ��F="u�G)���f/�?2/D(�?Q/�c+�u/� O�F�Do�?�/�/�'i%��/%0�/E/?i%� "/�/K?�/�N��1��H�TD�q#���?���=��%q%hT��(�T��P�5�����4��\.����?�@�x愈���?@*�J�R�t�(�D��%�?P�]���.��1� ��B��1 �F�B�B�FR�BQ�FR�B�2�9E��%�9=Q��(q�?x4�N�AH�E87�3�/�^=�GA�H�r�C��8�RW�R�S�Y��n(�hT�Fx_KlHh�E�@�_�_�;��:=V�>�W�B�B/P��kg�BREP�0K]�z�(\ #2�qBpc�?ASv�?��Bk�?�0��0�A��^GGE �E�p�P�q�r'_I�u�`�w��0T��௡��}>���� ��vG@����0�u�?P�b�t���������Ώ�����(�:�L�^�p���������ʟܟ�ݐ�3���3�0�� �2�D�V�h�z�������¯ԯ��� ��.�@�R�d�v����������пݹRuo�t�PEn��Gry����Tݵ"�q#��F��2�yx�`�|0�EquUa��i�n�PNt�'veϝ� �`��ݵ������c$AO������ �`Pݹ�Pߵ`FC�wmp��bjQ��ߝ��`+�;�����B�i`O�3�3�0�% �� �D�q��!ZGA�sd��4� �`�r��������������&�8�J�\�n�����������v�����s��G�����R���t���DSM�T65�WinAl�lBasicCo�dePages�Times �New Roma�nSymb�ol,Couri�er4Ma�rlett#�����p!_�E�D/AP��G_AP���A�E��%�B_��C��E�*_Hk�@�H�A*_D_E��oA �������� ��A�lR���1�-�yx���2'Q�� �G�a� �1Q\KK�\J���7�@���aMathTyp�e 6.0 Eq?uation�B��EF&��.4�9�q�.7�WAT��q%U�+;��;�-�A�o��3�bL��v14�v1.b�v1 Bv1 �;` 7�&�p�ժGA����� �@�����! ���u2 ��v1�w}�q�76�ݐ�/ ���w�0 @�w/�fNWA-����2���22����#<��#�)r�/ ?;��`�Сq�/3WA1-xx��V�,�$�9�r� P?b?t<���P��es!0�2OOC��3�DOQI�A�2t�πO�O%�=��O�O3��O__!/�OH_Z_l_~_�_#_@5_�_�_�S'1�3��/3�AlGaN�Q�YG��c!�!S�UUG /ASew�������5+=�Q�'��t��#��������`"Syste�mN1-�!����|�6"�9hD�~NANI���(�:�L�^�p���������ʏ܏���$�6�H�Z�l�~�������Ɵ؟���� �2�D�V�h�z�������¯ԯ��� ��.�@�R�d�v���������п�����*�<�N�`�rτϖ��Ϻ���������&�8�J�\�n߀ߒߤ߶����������"�4�F�X�j�|������������ ��0�B�T�f�x���������������,>Pbt�������(:L^p�������//$/6/H/Z/l/~/�/�/�/�/�/�/�/? ?2?D?V?h?z?�?�?�?�?�?�?�? OO.O@OROdOvO�O�O�O�O�O�O�O__*_<_N_`_r_�_�_�_�_�_�_�_oo&o8oJo\ono�o�o�o�o�o�o�o�o"4FXj|�������sl�p�p�p0�rU�p��y�q�q��u�t�p�p��t��x.�UK�q�#��q@K��d�_�!��ru�p`m �u��u.�䉉�q��t`�*�J��R��?t�����?����.���ɀO�?F�Do�?ԏ�9���2�`�g�#���G����6�d�͏����pNj�p+�H#�TD/� ���,���q<�� �R��h�t2�(�rT�A�|2�a�"��q��x�����\.�����?@lOA����?�„�!���?P�t�#��.�+�� #��&��� �/����D�%�+�D�/�*ے��@������q�Y�������C �Åz�ړ3�b�p������rEr���D�*¥0�7��q���逼������̊��"�@����������/�Em���C�/����損���\K�2�q�Ь?�ߕ��s[?�΢�?��.�#�A����� "���%�rP����Z������7����T��ࡱ���>-��� �扠�q&��.���.���������������"�4�F�X�j�|��������� ������ �6�u�2��qu�r�Pbt�������(:L^p�������//�)Ro2 t7�E;n6 ry��U/�_&5�%J�γ���_#F_)@�ty�x�^����Eq�ua6 i2 n:7�N�$ve_/�.� �2�%�/?1c\�O�p�/H?Z?�_1 �)_?�?�q���C2 mp20b#j�?�?�: �m�}?OAIi��1�u�*u�r� @ ,����@S������4n" ��M�O�O�O�O�O�O_ _2_D_V_h_z_�_�_�_�_�_��_�_ oo���Ӿ��G1@��k�RBt>`�p�DSMT6w@Wi�nAllBasi�cCodePag�esTim�es New R�omanS�ymboln`Co�urierva�Marlett|Xeeh�������!_E�D/A�P�G_AP���`A��E�%�B_��`C�a�E�_*_H��b@�`�H�`A*_D_{E�qA 0@sp�p-��1� �p��A&ql-�W@%r1�&q-&qx0s p'pn\i�4q 'pG&qa0yFXw ����P�8������U@y"��,��MathTy�pe 6.0 Equation.���EFhB�.Ra4�9�q�_�y%����5��UU@+} �Z} �ñr�ꓘ �1A��vḑ.�R¸� P��� �w` yA&��T�5���`�` �я5@YA� �Ր�� 5A���}���7�x�a�qm���w�V� @�_w�fk��-1@�UA2UA4Bnn�{�#�<�-��k�9�K�]�q�1@���q���1-xx��V�,"��;9��� ����궜24P@ esC0@�F�X�_�4@u?������t�1?¯ԯg9�߯�u�0�B�T�c�����������ҿ�e�w���!�i�˓�6�q�5AlGaN�Q�YPg����S�UUGMo_oqo�o�o�o�o�o�o�o%7w[m!���aa�-�$B��5A�6�"Syst�emka�o1!9�a�1A|�x�Ǚ<���NANI�F�X�j�|������������ ��0�B�T�f�x���������������,>Pbt�������(:L^p�������//$/6/H/Z/l/~/�/�/�/�/�/�/�/? ?2?D?V?h?z?�?�?�?�?�?�?�? OO.O@OROdOvO�O�O�O�O�O�O�O__*_<_N_`_r_�_�_�_�_�_�_�_oo&o8oJo\ono�o�o�o�o�o�o�o�o"4FXj|������� ��0�B�T�f�x���������ҏ�����,�>�P�b�t���������Ο�����(�:�L�^�p���������ʯܯ���$�6�H�Z�l�~�������ƿؿ���� �2�D�V�h�zόϞϰ��������� ��.�@�R�d�v��ߚ߬߾��������T��l��� 02�U�D��9�T9��2������p�U��e��@P����c�2�u5��` ����u�p����2��*�?J�R��?�����?����p��� �O�F�Do�?�(�{���t���e�������x�����3�IU*����$��'��U(��)��/��0��1��2���t��4���� ������r�@�dHK�M�?����� ��$�C/B!��}C-d�@P7"A��@lBRRBIRH��<���� 0E�BR�BR\CR�''���JB@?4BR�B.PD�BR�B.PU1�������,������������U������O"�D&UE����Y�A�Rn ��)��h"T %� �����+.U,Y~� �ɍ�Q1--��E��1�1H*A(\z1�����������E.Q�/+/=/V1_q�������/ ??0?B5�f��GA�rial� Un��c�ode��M�S�����{������� �(  R$�f��S�ymbo�l��$6����7�f��Wingd���s��*�����7 �f��EArial���"�z������@D�/ R$�f���[CSO�� ��������S$�f��P�MingEL��U������w.����6U�f��M�S PG�othi�c����������h����@�� �$�f��Dotum���"����|�i0����@�� S$�f��ES�yl��ae�n��������� �� �$�f��GE�stra�ngelWo ��ds���a�����{����� (�  R$�f��GV�rind�a�����{������ (  R$�f��GS�hrut�i�����{a������� �(  R$�f��GM_ang��l������{������� (  R$�f��GTunga���"�{������ (�  R$�f��GS�end��y�a�����{����� (  R$�f��GRa��vi��"��{������� (�  R$�f��GDhenu��|"�{a������� �(  R$�f��GLath�����#�{������ ( / R$�f��G��awut��mi������{������� (  R$�f��GC�ordi�a Ne�w�����{������� �(  R$�f��GM�S Farsi����{�{������� ( _ R$�f��Gulim���"����|�i0����@�� S$�f��ET�imes� N��w��R�o��an������z������@D�$�TJTNDLB��IT�D.B�dIT�D%B��HT�D5B�tHT"E-B��GTOE3B��GT�EGB� GT�E:B��FTF7B�FT:FKB��ET�F8B�,ET�F:B��DT�F9B� B�|@TI:B�@T;IGB�"����Gestur��� Fo��m a��Fd>e ?@Un��������U������ ��U �� �� �� ��U��������U��������U��������U���������t��4������������r��@dHK�MK�?���� ����JT!U�[��C- �JU|7��A����U����������%t��4����������� ��$�J��U��C>-L�@�7"A��J@4PR�UNR@lPR�U7RH��<��(H��<��(JE�PRPW REQR]W RU����P��T��/<�J�X C{������������ ��� ��w"���4FX������ ,�h��(��o^M��@(�i_���wg�8Y�����^z (C���_�O�������B����N�X�� ��P $��N|����Q�R��p���\�#�����<��<�J��C���Q�o��@�����N��N��R$���TAR8TT�!����XT*)��ġ�T�WR'����x�h1���MR�|x���!����OR�I����P2� gOo��?�� "V*'"D~��PRjWH%�a/.��L5�X6�UserMicrosoft Visio@�S�yx�����՜.��+,��D��՜.��+,��X `ht�� ���� � �� ΢���й�' ҳ-1���������� ҳ ������״�(`ht_PID_LINKBASE_VPID_ALTERNATENAMES�A�� ������FMathType 6.0 Equation MathType EFEquation.DSMT4�9�q��e��R��DSMT6WinAllBasicCodePagesTimes New RomanSymbolCourier NewMarlettWinAllCodePage_1507486495��F%�:���%�:���Ole ������������CompObj ����iObjInfo��������Equation Native �������������_1424719146���� ��F%�:���%�:���Ole ������������CompObj����is����!_E�D/AP�G_AP�AP�A�E�%�B_A�C_A�E�*_H�A�@�AH�A*_D_E�_E�_A  �0�d"��x �1 ���<<�x �2 ���<<��"���"���"��<<�x �n �d"��1�� ������FMicrosoft ��ʽ 3.0 ���İ� DS Equation Equation.3�9�q    �. !"#$%&'()*+,-./0123456789:;<=>?@ABCDEFGHIJKLMNOPQRSTUVWXYZ[]����^_`abcdefghijklmnopqrstuvwxyz{|}~��  ���b� � c �$��A?� �?3"��`��?��"��U�^�d���عe�� 4>@=�� �U�^�d���عelf���|!��� �x��] tT����.�k����d7��-ը(�|I#D�HmP��b�j�"��A�I���F�S�mN�hKN���G��њ�mE���m�J՚���̾ٷ��_v7��/g��ܙw罹wf�{�>���� ����r�Z7�炋�H�r@�0 �� `9�H�Mʏ�[fd�1y0!�oJ�S���$��ߦۚX��+15����������/W�0��/S�r�P�y����<ڧa^��Ã#4�s� ���5{��^uʱ5^v�RLċ�Lc Ǜ���^&�'1�����'|x��_�y%�߂�{F��p�AW�JT����:�^^����Zx�j��h{0=��0G�f���~f���|l���� �~x��(�� �1��5�\���Z�}͵<���s��A���Ǹ$7�]�el��]LU�\��U��8���s& e� �n�^�C� �>9��g�����db��3^���X�'}���[k�=ߴ���{�+����o�W\�(������3U�꙾�PX�� F��ѷ�Ue��-I�������{�����=�Py�<^����4_|�x{��ۉL��^��h�}"�F����$����|�2U��=�h��o�W\�(�s��3U�8� ������7�se-��i�_+Yy�aϙ�my��`6:?S]&���.���2R�=���C[����G�5��A�o���d����k�^o�Yu���r�_����V�4��"�S�l���0?�^(���^$ ����=�0�簶<�_�m�39���g���Y��j�u�d�n7��|*gClkՙ��:�'���[�H��?(mi{����L��O��"o]>l���y�O�M�7=Q:s�|Xϔ��_ٺ^ R�'�*��}^1��'�W]�}8V �_T̤����o��Tu�=��凴��rZ�fku.[3��ι�V�Xc�`.G[��8���3�4߁��|SN����W�mv�\��C4{?����4�*~��=��"m׫�v�G�j;эr���D�Z2�y2y\��gAL����(FV���d2��<�4�|����a�k�nŬ`�Y�0�3�Y��Y�f]�Ω�1����H���Ŭ�7�F{�*��p*�6w�~ƺO[ĩsA��yl3��e7�L�̈́w ��y��b���M�� �$�+1=��\l�[ʆ�o)����X���o ��^I�_a�<9�V�0�>�X��*Ȧ���wp�vF�>H��|pU6=�4�����u���m��q�_���Vd�� u��2?˰�ș��˛dz�Y&�9�26�5�=�Z� H�k-�m� o�s| 1�j؄e�_��˺������\ ��M�}����K>�+��E:%�r[�M;��Ϝ�~^�<?��^��8��]e�Q>���>�C�{�������F�L�m��Ჯϋ����u�ə�b!{G\X�w^�r���Ƞ X��B9�~Lz���e~�.s� ��x��ty�-�%ʼ�T�vA愱�)�;�x�*s��� ������Y� ?f�I=�~̫�MVq�����|R֫����Zʩ��a�Q��l�{�lN{I��oG[�_ᶺU�����i�Aղa�����\UF=K�`!�sz�O�*��V��$�Am-9���1�N�x�P��QN��3����~���r�����8� ��m�-�/b�'�B�홬a�h~L[ ~������G��>�냙s9�Ϣs�/5~L9 ~��$��d�X�����{f���ê=^?�h��<��� �)ߘr�,#�v+?��6uD�M�Y�4鶩C�M�c2z���T٦���3k�&�6����6����=qy�lSG��Y�4��ۦ� �<�0Q*mS{�qR�6��ޣ�+��܆���yc]Աd�+ll�H�wO�r6�Wx|W��m6^��WD„G<��K� ÄH��/v��)��A�&��[TL��K?��,b^��y�W�b�(���_G��+��G<#xL1a`���O�p��~/DŽkM0�Z��}�2���M8^�3�� �WD��(��E���� �"`B&�0�;oe"����p�O;�͈x�� ^8F�h� �]SM1�F�S Äa�n-��-���+�W̯|����S}ʏ�9��� ��qG��Rl��hH���OGZ�WtW�m-��g<�� �����w׉�+����W��Y�·>4^q^u���3I�<�<�8�Ug VyX��&^�8f�Cw{gyX�����1^��Mu&�W\���-)�Mi�WdmSk�5�W\����4٦���"k�F�U�x�"�X�b�4��Wdm�T_�m�O�0�g��b����d�&+^1Q��l2�+V��xŶ8��F�����0^�� +'��a�*�Qrٞ �����o�9V"� 6N [s����"���T�+z1-���:X�{����bƄ��_s��+��G<#Oy&��uH��|��C&2��C��W\����]H\o!�x1as�+b�[&\� Ä��G�:-E��C�b�O��>����+�3���^�0�w��Q�%ʼR�9DŽ��@�:-1a���DŽ}�c���S�b�I=�����Vqd�޻jn��?j����;:ܵG]��oa��x��K����úҢ�*^A��|_�I���*����_A�d_�-�}E��B�C�3���mIZ����˾`��o�w �<���W�fΣe��XRI�O��j��W\?��Wdm���+�V�1�_ߛB�4]�Wdm���W���`��J�m���+��i��+.��mz�=)�M��}E�6M��܆y4 e�����LG��m �xE]ǥ��mK����⿅�ݤ~2���C���=���B�!+:N2���d�G�=Dd c �Ho�>� � # � A�"��`��2��}�p�g�cښ�J�����L`!��}�p�g�cښ�J��t����h�M�xڝS�kQ�y/�I���DŢi@Em��Y��$�K$�O�M�|hIJ�B/�^�@��^J(��k�,�ս �y��Z6�����oߛ��͛A�� ��6��&a�B6�Ltg��)f��֓ÄN{$���0�%� �$Y���)4n�۷u�U3�O�ce �Ⳅ~�/��߁'h*r�X���z3r�Z.T���Id�G�M��q��Y���N��N��0��CFG��D�X�& ���ⴓ�'�q�ce*�?L|���$�����Z�����f3� �K�Pdʵ�k�����Y�C�l����$}E�J���k؃���|���N��v�����F�@*�ɟ_-V�Ri�P/^OV��l�^���� <ȭ? ��ջ��^�d�b��7v�1 � � # � A�"��`��2��}�p�g�cښ�J����*P`!��}�p�g�cښ�J��t����h�M�xڝS�kQ�y/�I���DŢi@Em��Y��$�K$�O�M�|hIJ�B/�^�@��^J(��k�,�ս �y��Z6�����oߛ��͛A�� ��6��&a�B6�Ltg��)f��֓ÄN{$���0�%� �$Y���)4n�۷u�U3�O�ce �Ⳅ~�/��߁'h*r�X���z3r�Z.T���Id�G�M��q��Y���N��N��0��CFG��D�X�& ���ⴓ�'�q�ce*�?L|���$�����Z�����f3� �K�Pdʵ�k�����Y�C�l����$}E�J���k؃���|���N��v�����F�@*�ɟ_-V�Ri�P/^OV��l�^���� <ȭ? ��ջ��^�d�b��7v�1 �e�$R���^xXF��P&% ( �2$� �V��V2E���(SAh��l%S� ( �2$� �V��V2E����(��e�P�  AeF��+ 0�N�y|:t���^@�(�.�i|��(<&�F#�2G�8�"��xt�F#Ѕ2��q�|��e�(NeG΄�@�Pf��#r@�8�Y9B�@����!��Pfq�L�Ke��;"��@�ő3! �.��n�(NeG΄�@�Pf��#r@�8�Y9B��D��/��$r�D� e�̖J�X!�2��r��(Le�t�@��P�ޗ�r%;� �2�HAB:�Ly @� (��4$ ���ԑ��� �2�HAB:�Ly @� (��4$ ���ԑ��� �2�HAB:�Ly @� (��4$ ���ԑ��� �2�HAB:t�L�ʮ�����B�����2e}�Bej�q@ @� $�!-�P����k�*�@�Pf��ea�@z(3=SF��%�2�M- ��@��2" �-��mjY ���Lϔ!�n ��nS�� ��Pfz��tKev�Z�'�2�3eD@�[(��Բ0@ =���)#B�@�ݦ��A� ���L���6�, HO�e��?�K�!�'�.��w�P��@(� gf�� �2�H#����B�*���L�0 &�2N>K�B ��Pb��&�2N>K�B ��Pb��&�2N>K�B ��Pb��&�2N>K�B ��Pb��&�2N>K�B ��Pb��&�2N>K�B ��Pb��&�2N>K�B ��Pb��&�2N>K�B ��Pb��&�2N>K�B ��Pb��&�2N>K�B t�L��<4�$�P&�c.I=} �p(3�= �a ��aS��!�p](s[6�c�z@APf.Cc@�c��CAPf.Cc@�c��CAPf.Cc@�c��CAPf.Cc@�c��CAPf.Cc@�c��CAPf.Cc@�c��CAPf.Cc@�c��CAPf.Cc@�c��CAPf.Cc@�c��CAPf.Cc@�c��CAPf.Cc@�c��CAPf.Cc@�c��CAPf.Cc�D��2�cg��C� xXF��a���������X? @e��) 0:�.��%�k��W3�@v(3;b&��!�2��%+��@��3 ���O.Y  ���̎� �~��~r�J ��Pfv�L�Ce��KVd'�2�#f@�(��\�@ ;��1@�@��䒕@� ��숙���'���NefG��@?Pf?�d%�@v(3;b&��!�2��%+��@��3 ���O.Y  ���̎� �~��~r�J ��Pfv�L�Ce��KVd'�2�#f@�(��\�@ ;��1@�@��䒕@� ��숙���'���NefG��@?Pf?�d%�@v(3;b&��!Љ2�e���� +��~ �D� K�� ���S6Y  ���� ��!��t��-!\��2Y T@�*�BP��N(Sg^� PIe�L AA: �L�y!*@@%��2-�$�2u慨 �P�ʴ ���ԙ��T@�*�BP��N(Sg^� PIe�L AA: �L�y!*@@%��2-�$�2u慨 �P�ʴ ���ԙ��T@�*�BP��N(Sg^� PIe�L AA: �L�y!*@@%��2-�$�2u慨 �P�ʴ ���ԙ��T@�*�BP��N(Sg^� PIe�L AA: �L�y!*@@%��2-�$�2u慨 �P�ʴ ���ԙ��T@�*�BP��N(Sg^� PIe�L AA: �L�y!*@@%��2-�$�2u慨 �P�ʴ ���ԙ��T@�*�BP��N(Sg^����h����BPf!�L���Lǒ�B ��Pb��NeVO���́����Qf���!n��C[�,᪖�2U��`|�LJ��Ce��ʨ �̌p�AeR"�@�ͥ���;Q�qu���FeR�t�L��G���@��P3уʤ(�#�2�KYG�̎�9�RP�(�ָ�.�����$���)1��(��L3B��o�)�l9{�ǎ2[�`��ېQQ&M ��!�2դBC m��-��iF�ѐvb �2`��T�e�r��L�r����_N]�ev�V�T[f �2�_��W�i��W�ʬ�U�+��!L� �%�LU��Q0(��d�/E�2� ��ݛQ�ah �IY�)���A�<�So1�T�Pf�� _��2��s�.<g�a�g�5, Z�Ee�����8-�l ��.x���b ���@��eԺ_{8�9Hq~Pf�!����9D������@�3������~�@�����J|��l�l řa� CJWG�~��~r�2�P��]z�(�4�*�}�����:������O b���o��]%��'�2�ϡ� >�\9�2=H�dt(s� p(�`�ܘ9Hqf8Ð��ѯ(��\r-�k�CTs�E�̺� ���r�s6p-�����5���ѱ�&��#����-�5�aV*�����������0��"��u@���(�h��qD�2��a*@�����6�t-*ӊ8�|�l�M��-#Y�A���f�Q��!2]T�'+xbn�,W����|�D���*9�2M�V��A&E�!��x�O3�ű�Z|E���H�2�^���aL����r�+Δ]����9���Ly.=Y$14�0U���V"�2+�/;mA4�L���&�ٚ"�2�J�4�2�ܢ��KW&�W��4H�)$�2&��Pf� $�OP��Q�1����]"��>��$@����� D��g��1?ߌ�r QK��_�C�������g宛�ZT�%��˯���̎r�D��{Ք�ly�J���������L��*�-��h�Aez@j�Iكe��E�l��Jov�]�@ك�q���3�Z��� �͖����.��+({�̸�)���X��.��({��L��&�]�h��b��~�e r�&��U�N�9�C�.��&�2s.8�ǁ�0�>w����y9e&�4]C�L]���&�2_�}Uf�Ju����A���٠ � "�2�p�n�� D���ă������b6:��Q�3�/�Iv���:r&���}I���mg)(��\9#u��!l �T�GN��I�ez�"J(�b��z��f:�Pf��9K~��2�SYն�l-c��t����(��Ã�k���!�2���%z�Y�Z�i*��qI�ٙ��N�܇J�I�8(3����ΣT-��?1_SPJ��.+�Qz�̎2��B���<�ə g���jGE�n)(SMJ܇�+���3�L��*��~�2�$;^x�#�)�1����8A:�\�<�w��lɁ�(SMY�}4�u�iUf��J�A��� <���9���{Z�@��IJ�oM�/ ��m��� �p�� [5�;0�T�[-�t��?A[��D w���}�V��h�B�"��+~� �2��M��c"C��9]�ދ2o���dXH�!݌R��x�e��{�d=��H�ϡQ����Q��v�C� l�2��F (SMV��t��r��"��Pf$b��N��7���f'���+�qh:������Ft��`(3Y���~�(���~^�e�4��� ,'����|�����l�������拟�e��T˅����������ն ʬ���XҜ����,��>�L�W���ejL0ʬ��Y�~�s˝��ګ�eVC?M�2���`�X�Qz �ʜ JG��|(�f�+3��<�S�a'� �l����s�5��s�̚iA�+�G��+�I.��,�׹��>7pvW���A�̚@��2oY�,���]&ʔ�(SB-U��2%|����R�l�BO����r��Lg��t" n�2��%�2�w��(S�e& ���M�2��"���Y�ʜ���8\��ЏoK;^�9���zn����Uf�_gU� ���V�y����t�.�2ͻA›A�o�D�g9*��OM2>W�**~I��2$k������k~���n�c�2�)3M�0J�M���+n���}��ʧ�I�t%s�$t�+�����ѬR��Z>��eVZ>�&!�ZE��e�"��4DIF�a�W �1��O.;Ψ��Q�A��U㏝�d�9 ��kȠbe�O��/g��fB�^�m:���,�9M�9�������ɔy>�~{�h�EyeWS�Q�E�Z�B�U&w�k�:߼�*r6pdž2�+�|��>#��J��.����-Pf(�~�;�(�2y�=�2mOaNʔ?�..�Fv��v}���r �����twD���#91�w�/7y�ZA��=�1L�2�6zH��d��)�2e��\�S������� ���4d�D�T��^�J�Y;��U��D��e���B�We�����xe��}�'1�E�0�m�(����͝F�8�=�Re���.��&�i��4.�j;��� �7ez蜦x�ȃ������~�g}�]��M��L���3��gSM�UC4RD����s�@C����CK�O�냙�%WeּS��!�&�g/U���kf������|o9/6U�6�;P�2��'�5��}�ԣ�re&+BK�?���&���4?+g��D��+�������P�q�f��E��j:ny��k��y�y��O����r�������Vf�M�X�a�e��t8�麷Ne�'P�|��~�g�x�?3G��N�QJ`=�]���<�2���3�����jef���iX��:a%$�2e0%�L��]fUe�d ���L��� 8��6Ӛ!�2��Ufw=r�-׸�g��Oe�K�9]˼�����#�2E��44�2�f� D�̯�1��6s~����r��_��6���-�;f�Ee��K��|��y�|~,S����ɥ�\�ʊ�^-�P&�LKB%��Z�Zr���E@7����*3�ٲ �ұO�"~� �X�(��:���|���_��2�ʹ$W\��m���8���2�f>�zX��&���? �T���r��2=A��v��~f�&J�NN�̯���Oë�4�2s��s.����d����2���+�*�a�.K�y�cf;İ~�ę�v��J�2�z��-ϨSKL� �Lӈ]�lŒ�PfF� �߿��a�fe�8<��GNM-G�;ʔ�eʸ}�2sPeL( �2s$e�ʘP@e�HBer^�#u���rw?��P����T}_�EM�ne�Co9��h`��W<�A'S��H��e�U�.s�#�������{�Eʴ���hK(�MfG�ұ���2�W��U�e���9���13�'`q&����e���c��rPf���$`�@��ʜo�T�RZ*yDer^>�Ҳ/��L��B�ӛ��P�Y>��1�~�0�x,�����ełk��w�+�֊�ͦ�t����c�D��{��L���e:��ٙH�Y�}�2(s~�0'�"�9�cz[�͙(3�2��?*��²%_�G�ToozR��k�Rt)��5]����lk����9ի��: ��L�.�2���������_�T��t\us��>L�L]���V�G�y��?�y�2�]�]&ʬs�Q�u��6�mCd�l4�� �˜/e�ˬP7(���D���wR�(��D*_�2�+Skƹ��53����2��k�g�ˬ���f��Tq7%�2�.^�.ej-�rl�7< v@�٪efC��9 ���� �˿�C�q�/�ZRvG�)i2V1(3�2������}���E�Օs���4��c_�3 @ ��̠��k�'e.����s�zT��ޕ�~�`D�NcΪ�^�9��yr�2� �f��%'��]g��^ҔV�ÝI� ������NeN�ŵL4ƌ?tA! [�˜�]��1��̬�����4]ˤ����-Q���٘?����Z �(s��Mp�3�����'Q����D|=1_?0Y��L�)= �o(�M���I�3�����W2�ezW= !B���1B�n��h��~B������v�Y�*���0�&�2�wv����g���_�Tv-3�ղ���c� \*n���2��;M;L����Hȍ`�i$*B��ҭ�yֿ�YW�UR@�m���� �Z-��Yp0h�P&��[�y��w��d�M8����%�WjyG���1['�2Qf��+���g��0�n� �eNox[^.���ǿ�/;��Q�yk*��:�2l3��t�LC�: -�� Qh#�6s���P����y� @�}�)��@��^1]�����f�� Q���+z�=+*��/��0�n�D��!#�k{��'b��.3e5[�!H9�1���apf��_���x��%m�21N�Pf�2�a��-:�Y�Z������m�ޏx�K�,���Pv-s~-��e?��Xhxc&ʌ=$��O�fJ��,�*S����}+;�Ll�?��‡��� '�5�h�]f��,+�Jeʔ9��Ր������(��������G٧M�}O9�������Y�X�ʔ(s��s�RN��g�(�����#8�9�=s������f�������Y�X��)�Q�)S�C��.e^K9[Ee����~�)S�c��2yȨ�C�0# �>�n�2�k��{=�;B��t��\�.#�2���=L�a޶��cG�r����(3;b&��t�x�0�6S����y�g>?����?(��� �L��6t���!�Y�6�|`ҕI~�6g��|��T��d��_��2�O29�2�����Ɇ���{��a��_˫������3���+�Yȳ Fm����L�2��������|�]Q'a�%׸��\������dw����F��t2��������L��Y��~�;ZU�e�*o�2��虈���!ke&*�b� Y���2��� ��E��W"zZ Y�z��~lTg��֎��Zƺ�w�mf�2�G����G���@U�dtܯ�Y�edVf����K�X�](�x��f����2�����-v��2ӕg���%F����L���� ���4ɰ0P�P�kby.ӯ� ���4~k���uf�.��Gox�P��e/�B� ���Ge�q:v�� ��H�=�u�YJe���;lh50���+ǐ]��p������xsѽXQ���/K/O`�m&�LUi��ܖ�'���p����Ĝ]�� (V9�&��Hgu� W�Aʜ�e�7�PfEeW���l�IM��bS9^�2��7dZ`U���B���R*+5Od]ѽ{(�5��s��WK�������,f�buȳ�8{%9Hi�2o__q�'ʌ�@�ރԥ' ��#�P� ����+���Pf���.��d�(���|k���r"+7S��D�� �Len�D�(�#�B����_��591�?0�2Q&B��t�2�����_ N5����D��#��� N%�A����� �tb>���L����Rp�{�('�2=v�|`����J�%?���?��V&�|aTRc%����g�rf%.�=Hi���z�}�Ϙ����s�'z�Oez�2���RQ������ �Le���7�9��t,Eez)siģ�VE�}E'+u�1O��8Hm]���2�U� eY03��}��2}k�f;�Y�>sP��2�Nշ���2 �f� HN̵�,�̊_Q���5��C�(S��b��LA�蒑@Ń!�> �H��Q��� Qf��Y���'����旿ͯ��C���)�Y4�x@������j�N����,��f(3� ��@�(�]Q����b(e�Ke��b(e�Ke��b(�Mey+R�(�f&i��lQ�F֊�,��IZ �2Q��NQ��-!�2Q���Q��-!�2[T�s�Ϙ�(�{Z��L��,3��D�����Ę��Т(��2��2݌h1��2ݥ�2݌h1��2ݥ�2݌h1��2ݥ^�J����-��w0]�9Y��2//�MF�:)�>�Y4��@��2}k�F;�Y�:s�D�eTC����c}�DG�� U�e����� �㘋{{�]at���1��&�{����4����* �^�(Seٽ�{96� ���HQ���F�I���7��<;/�ej/���2�F�I������(SZnU�UeR)!� Ge.)?��\{��Ԟ!����'����2�E\�,�L*%D���Lv��E_G^uf��g�B{}�\��2#�C�]֭�J���.l3Q���ثʤB@t���L�),�*��2��F$�2�c�R�u�Ug�}�,#pTh���.3�4d݅���C!�)#�2�e��TvP�j����˔`��^�Ye��5$����(STؕ�UiZ": IeNi���گ�J�y�h��D{-Vv���!�.��kJy�O��.�Z���UiZu�%�%`�h���.SR|���ּF��@��L�2�4�����j��ּc��ZB��m�H���`��I�))��>(3���@��;�Vc~C���e�g� q��^%�̿[��| eV��j�E��ʴ�2��Y_��*,�E��Ukށx�M�wg v���fef�ʐ#�2�����]�2�Qf���.�B��v�? ��jePmbo(��������.�� Qfj�����|���߾�+=�����LJ*eʸѫ$�ޫTpb����*o��̒GsA�N�sgJ��5m35�2G���OeZޗ99S�yNeZ��/_���by�̘��Q�*��+�2��,��p;�L^ �`(���� ^�_�9�:�N�P� E,�e��Z�9�X�7��`Qq�xG��P��_ˡ"�]����L�5Ke�R�l25>̞�Z��s �٬E� eޕ9�k9�euг�(Ӣ��>c�2c�!�Ee>����x,Wi��\d�;(�y-S�2�Gfs��er)3Wv7-��R54i6�&�c��(3}a0"�P��̼�G}̘P������P���*��^ˡ����7#� �2T'g*�f��e���7c�'�2�'�w��?WG�鋟! �:Sé� xG����Ҟ�Pf��\Gd���0�'"�2� Q��/h�b�0 ��Ϙ�@�(S��RQf�ÙA�ؕ�8l�O�}ɉy���佖Y?�(SXt+Me�&.�/�2e��2��d�lz.Uv���&��=�arX X�@ǵ�2�VV���a�'�q��L��G�q��"�"�q��L� PѨ�2T�� ��V%��̹�j�A���P��;�g�vS�(ӿxk'�����h9<�~��2�����*O�ω�����R�(ӻ�k����ޠh�����5��N��ZcV�d�� �=�G�4��F�R����e��8}�����5G��<�{"�2?��� �̼ʬ�7�z�6��@����2�T|����Xc]�v��H�*� evq���.���i��Y�PVe�?-�A�2�(Ce~�<����̥�23f��l��E �91�?BY�kz�e�,yƂ@ �����`�o��ᛤoNe*��� �$ib�1�zf.�e�_��]�B@��S@� ���L����̬��Q��S>��7�y���2�_����I �����B�� ��O�� L�9�A M��;��/91ה3���25dZC ZSO\ t��D�>���Vb�aE�P��Jȷ�Ԡ+ 1�/TD��3sv�>5�AWb�aE��2��V|rR)��տ�m���V*��/8F���#��CFw?��s�R�0�; �'`����X��D���>B��dz�M��mfeNoe��MF:d�#���a�/Je~-��x���L��E�C���&��y�.s�L����!�\�t�JGm�D_�����^������s��C����Q��c�� ��)}?�=-��s%�RF��0��%Х3�N�7ޖ;�e3�2[�s-����TDP���R�(SK&�×�D��������!�x�ٶKYrb��r��yN�#Jڵ�:K���!�2�'*�2-���e*H!@�A��7F��3#>�љ�s�C���L��[h��i�;@ ���y��D�a��e��(sK���v���DQfV� ���[ն\͒s��9Pf���m�Ȳ�ap�P暜e����Dq-S_N�hl�� v�:^�i�D�9������p�)Q��}����{-�#�N�5Ġ1�Ĥ�ʜ�3���'���(S��CpC@��2@��˟]fy��M�lۭg�����u���GS��X�Bi���ds�f���n��td��^ �wf.�e�W3��ϳƸc��qǺ�%��6S��y����e6{`x�P�v���~4>���깖�/�g"�2Qf��r �2]���F�u�jEKŅK���2˫_��X}rDP�@w�L�i��t�fբ[&G��s@(S�T�T�J�2� �E[=�;3��2��� �Ԛ���T�{��89�6(��8�(SqrmT�9��6*�k�m�(P�ޢH���%)]��"SGe����|�g]�.I�F�aI@z |(�&�Zxbn��4���j�,��@�(sʔ��?(3g �̜t;#���/��Lrb��b��t�Lɉ��{�C6�Z����y�埾��UkIo�(��) Ǖ ~���\��|~-����M��[��r�o�����_N?G��h�ʜ�˗/��.i�{ˠ7���qV����/矣�B���3�Ϟ'��͟ݔ۷��t��o������������헋IQ��.- ���<��|:C߾jr:G���ɿW1�����C���������O[<�K�K��3s�.s��3]�ܾ6�� Ԧ�嶷����v��g���D�z�"��G}m3e��v���r�v^���O��[�������_.[�_��[��\ٮNY8(P�t�g���5)n�oN��{�h��}������g��$˩� (Q�B@��9?T��)�o�7�]�2w��r�g��_��w��"��!����s��N�'���r��3?\�^̜,z=�~K�t��h8_��<��ᗅ��-���Qzl�J(sy�}9��b��}���d���χ_�L�AA��@Wg�]��Z����x�|����2]���g�)�F'��f���8s9�����?���/�)*b�)�F'P攇_�_�;�Ә�(S�����P$�6�L3O��և�<���e{��? �oc�-;1��B�;�Oa���j9�[Ou%[�@��mfie���~���/mw�Q�Gk�ʔ'�|���?ǧ"o�D�r��@e=����e��|Mv��2��단�1��M@�� ���� ���FW�� &=_�1o�OI��/�]&��!M�͢��TyKṆ����r����[٭��ļ�Ç� H��mfqe�ox��m�z�l��x�r+���T�7OaH�,YLeZ���{_�����~w�P��(s"�1��*U���\�˼�`z9��/����*7���%�D�*z��!�2o�~||�Y ^i�y�+�k�K3J�H�1�E�ru��?�y˱��Xd� ��/�C@N�gzl�|vn� �<��W��3�2n���� `@��r�>�����,���MF ��0�,id�n �̧2��%- ��}�q�IaH @3�@\%���T�N�Qf���SO�0r�\%����ŧQ���u�t��1wc��jfm����]�׳�$ʜ�ܿ�����������۩'�� ) H�i����wY� �2�̆��!��@2e��>Q�Y?D�� �Rf�G��ɕi�ȼ��sb�*B�yp9�̖�mej�c�y��U{Ҥ��_?����l� ��e�*��eޢU�(e�O-3�K�i�Gu�.w��^�E���D���ԛv�zsCd�@�zS߭2u���-"�@ejȂ=��77D6,����_�g�g�Q氇% �Ke.��ޏ��;<9�����GZd����'沴�K����|�����b��C��^2lD#��)�F/8 ���m·��?~���?(�Y�4�@%�+�8%�l4�g��r�Y�h`Z8 ���͘�����I���'�5�q��&}憀����\/c^�_٬v%���䠅�:c+syS��+֝f��؋e�;\c+s>-��h����L�O�#0�2g7>/Y�����2�^�v+4]OB�F�1I@� �������vG��k���j�B��)�F�C�����j�`]�և/��O�j�{�(ŵL�Is�ȕC~�ZFV�|��d9m=���t���2KG8� Fsd#�˜��Ͻ���������Qf�2a`@`%�L��_���5(3WM���E�q!L �2�9Qf0y�(ӟ-!��@�2_n�pb�1O(3#\��@� eZo���q�'�zXk�Ƌ��H D��ox�_��CF�e݌�c�F�1�談�G%{4��� e�e_/e^��QzUdz_�M���"`�uH��Ѥ.� e�?0��5o2k�07����6Wj��M�! x��G��肔��&-��?d^��(�n1;�x�У��\�Z�)��΢�57���8�rNzS�729mzI���}�Ԅ����Ү/-��u�҂�>��7Sz#��h�m��O)�����@e��ƻ�߿Ȣ�i��e֬$憀���}�8'�� T��7��/(���? !���P�|t��&>���\n�_�U��i,=J���84y��sH>��Ӧ"�pe���tl1cw���8�����-�e�6�.Q�����u`�qc�Y���|t���c�\M���NԸ(3 �!����}�d�}���ќ&ͱU,]�n��W-{5��x��^�� �Z�2q���٫Q�գL�Y���x8^6�jT �D�Պ���#�C�6�ȡL.e֫>f�����B�2Qf��c� x�ЫQ-x(e֪=���� �Ղ�2Qf��c� x�ЫQ-x(s&� �.��45��G=�� �`��̈|g��`9e&�����ɉ���H� (�˃��ȋ@��1�7��"���gC�� �B3aqxفF�>RR��tL\��R�e�&�n �%[n�8����K:�(3��#I�B�/�2M��)W��}B!��Yp�p��=bM�Ua��M��_.e�=��fn�2Ù��!(XA�dkM����HZ�~���Os���g^��^�4x(��5Ӈ\91�_�3 V�% ��MQf2������_6e>�ҷ����3TzD��x4X~nz�ݖ���4ӎ'(XA�d1��d(S$- a�T��t�|��4�!=���bQ�Ê��a-Y�+ӾɜfH�A��" /���O#��C�JiY�%U����) �q���V�T����0��C�����_Z��*U��I �Y�'|k�!�i�A"|9��V��_2e>7��v�8:έ�M����z�=�M��c�'�3�Bn9K`��%�%}�D��@�FZ�~�y�T� �rBlU����t��ӫ;� �e�ϕ����=H V��#�&�(�"p���m�A^��D����������s�����/�2��!����I_����_�ll=�뺅�Z�$ �tA�T��T$��#� ���s��>�2F1)��l�_�Έ�]�s?y�}���v�n,m��+���<� �E@P�.^�x4B���4����XYl���y�)���QS�(30�Y�K*V�'M�(3 ����kB�1�2��;�۬;Ks�h�G��� e�}pH�-}�QB^�' X���c�Q�5!�K��-�T=�y�2���O"#��T���O,�6(�ͨN qM;&R��b���� f�]�� =C�]��n�S=�*�XI�4�:Q�q�[�<����5q�Ž����`��'���2��JaKI�J��Yz�|�Q��A�ŒP��Os�W�@����L�+n"�O(3 � ��KB�1�2�� ����t8P�������G���g(ϤCJJV�'I�(3 � ��KB�1�2/!\.e���!�e�+��h�U���.W�}o�,2�I�J����lӅ2�UZ/�Ͽ���Y�����^#)�@F~�6�2���=�LZK��Csn��p�hi� A/�$(3 � ��KB�1�",��Ӎ拌”y|����t����5$��(�qÈJV�).��O�k���\C��=��-�y���z7����s3m���u{�S\<����P����mKzQ��e&��eqE�;�[�UR����O�x)�|���_��-�x*ӺR��e���D�E�pA� fB\�I��{�6��$z?ѱ<�iHus���zN�M���7�_����4 � &a/�� �|l4R��;��"��G>�������qK�'�h��>)�2SP�1��"�s�"Ř(3E�c�jV�)�ʌ�TaqA�;VX�ה(� SˍD5+�O e�3�3�� ��#~T��P���u��2�fA^�Y?(ʌg�|Q͊:Ń@�� �� �y�, �e�3T>��fe�bQ��X�����A�3�Rb�E������S4 ��0��r��̳��QQf4B���V�)�HʬCX�"y���P;�����u�^$ʌF�gy9�{�YI+�b�D�E���2��@^�yV�ʨp��)|Y��e��H���˫A�3�Z�n�$�/��L� 0Wwy5�{�ZK�b�d�e�"��2#��.�y�\kic\�U̓ ��W�2Qf$�\��� �k-m� ��y�u�]�@ʬ�W�y���`����i�ї��['ʌ㗭���=�-����V3M2��^q�D�q������g��410�j�IF_�+n�(3�_���b��̶�&�[�4���zŭe����[^ ���qH��#�| �C@���}d!}a�(3�^����5�zva�$3ʌ�����j��b֏2c���Q ]���"L���M�L���67�nz���zEA�(�O'3Qs����(�7b��Ft���z7f�pPf�d)CV'�^Q�F�Q��u�(���)�s�f輀(�Q�����'��ML���2��^Q�Pf�l�#JA���7 �X���rf�2��; ��X�_�-.ʌ���kD%��&U��%�3E����q�X� -�/�eF���5�D]��D�X6r�n�e8�V�z �0�>�v��ʌ���kD%���R����f1��� ����r���:���.▱Z�_�-.ʌ���kD%���S��,}�����*�ōga>,=Me�W�2r�F��6nhQ�Nu7kx�a�Ymx2�ኺ&S�[,� ��j��3�-� �����ܽ^�e���\�-*�t��=�(�6�)�S�N� �V���Z�vXp���t�;��:���*N�M�>���|/x��0�B��nr�(S�.gψBuM�Ls�x�靳X��=�d(�ů���؄�;VKZ��|9�q�Y��-�/�&��2��r��(Qׄ��շ�OH��eU����t��ӫ;�s�gZ̙���E�r��`c � ���L9��=# �躟�~���x��#]��ͭ���|���ż���]�/Z>~|��=q�sV�0cK�K�I��L)���"� �u���2��|��x�{�27�o[��~���a'��L��y�0��R��~R�(SJ.o��:uMzb~��]K���,�2�R���7oJ�3Q�.T��(�,�56��fR��3�6��P�� q��3�� ��ʌNY�b�@�7�2�[:Ʃz����ܜ>/x�2Qf���4���#bE���u�)Q�Tʼ^Z��yۯ`&�e�N�<�Z�/_� 6����P��]ƞ1U �[@��;�ɮe��yia���o͘P��G�p�Pf�TF�S��)�yS���v�s�Qj��Z� JT�A3���:7���e��������1U �J�Ϗ���Kz�y���ѣ��Ֆ�O� n���'�Y-�(S���R��?���-�M������� 6X,P��,�O �.{�L) G`8e^OF_μ�g�\�D��.,(�V�e�����9&�\n�$���(}�W����\�`��|������ ���@i��tz~;7�l̎�j�SS~�K�����;��� ��·����ۮ]�ϲ����9.αݒ#r�L����2�e~Mo�0�f�̖��!���|�e�W3���( @�B@�.��t>x4�2?��1o��e�}�� Oe��a#@\���(txF����K��!�㖏�UF�D�G(���R�_��@��k��We�������Ͼ͜6�����PNP��N>>�F���� �����-�3���/�:����B9A�^ �ϧ��)����ҞR�?�3��'�UT�� 4��1��sN�g�k��{q�}��̏{����6���GPD�24�J��2E�����tn1��9Γ���RJ���"�c(�2r��� �a�9'%(�LTۏ!Ay�� @$������S�X�w�?c�kBC )L� @$�Ul6�IʌMuX ��!���ZfX�Zk� 1xU%ʌ/��4����3��- �e�߃B��cM�G�Q�!��.3�V��γ�ϡ�2=a&j擓DS��!��2Qf�#=v|L��4 e�L�����Q&�l�(��h���� >���h�ʚ?�á���պ�&_ Q,����LX,��P� K��fÌ�VUڒq^�;e�p&�FU�ɿUe��<�s=.�]�Y�������f���t�f��|�6��pV�|{v�c�\?*�|�8˄�bX�y��;d�����.1T��K2jU� �|Uz��ʮ�9g�I=��E�ǓE�9j�cn�a>���.��cs���/k G�D�'�K��{;�LX"���3�#�F��g�Ô��UyOF������5�+ƒ�[ =+s�жq�6��y�0�������^���Բ�=�*�:嶿���K�_�#A�AE�V�C��|$�pU��`DeN���l����_e�s��a��-{^�4$��fq� b�2��;Γ�1��o�p�������?>�p�)�ļ��P��jU�D��"?�2g=����Xnz�V��\�{8S2�c��A�-z�y6���? �~�h��ZE�� ���`F���8��Q�*׬}�S�F�1�V���S�i�c��f��`�nD�9H� 扷3����L���{��N��s��A��Y�d�y�O7�� W��a?�V�*� �W��FS�y?n�ּ����c~�9��,�#g��<�(�=�K�0���';�q�ɾ�r1\o���?�ZUy��X�qy�S���Q�*=ɿUe����Q ����*��\���Y��o�/Ź�+��F����|���Al;���G� �`~��R$�AT��}��&�RU>�(Z���ߪ�Oe�P�G�m�ο4���O��y�a>"Ͽ�2��`��h��^��L;��Uq$� <ݺ%�`k u��ơnuނ0> Ż�� k2 <ɿ�х2g&���l���5�n"=yv��p�`�vb�=��4@\�� �v��zv��%�)ow6y�x�p�*-&-�'x��ivply�0 ��jo�oѣ2g$�����|����%yt�<�n��#z�w������1�y�c��� �c�äyc���:��g�d �bok����p�*-a���a��f�a�d�\�{��i��j�5<� ezb8'<�����vor�r�5���ӡ� �ư��� ��a~lp����`qfv��q�*-a�j�2����]����g3�9��훟�0o^s��l1,�*_��xl4[ �u͋g��g�y��|\��:o � ^��"l ,�� �-%��b��߾> /?�/1����� � $ en�9^�'��k �4���l_���(y �� 3�� ���k:U����Ŷ��L�7�g�� œ�zT�*��E��-��Ui �|Un�t��Dwʼ����M��3���%��:�]푔�1\�x����c*��Al�Y���Ȅe¼1�8���>���q���5��[>e�r���?@��ՙ.�ւ�N��_��zG���K�=�1�)���q=��ǰ� ?�����r-"[Kad�ψ,���+��AX@<�|U����P�*_�X�*X�~�-ѝ2S\�d @v(�ʀ �Mez��! �I @�&�2�Q��ʤ x@�ިh@eR�� �LoT4� �2�@�P�7*B@�� o(� !�Lj��7�鍊��P&5@����FEC@(�� �Mez��! �I @�&�2�Q��ʤ x@�ިh@eR�� �LoT4� �2�@�P�7*B@�� o(� !�Lj��7�鍊��P&5@����FEC@(�� �Mez��! �I @�&�2�Q��ʤ����۷���:�����|'��o��d�]���o���5����Ms�M�� @���w4�o������>~�aV��'?E ��\����+�[�S�˟ I>��-!I� �2#� �uV�y�� ��dQ�}ajeN��PeNk6�&�*`?�ljzE@���`>7N1���O��&V��PeNKN���T�Q�-��+G�U�=��b�l�?^��i/e~�Wf���W�Լ��G��fNA�׋��y���]�y�9�$�h}eN$�4;��Ix�BA) �(�ɗ:��-�.��7��T�D�+�w�'��|ZP�?��$�M�Rt@�.B����|1�8� ����ٟ)��U�eN$Z��f�+��l�nn#�Ӵ���rl�.��)ܹ��o;'��u�����k��~9�*��`����������Y�ӯ����Y��������v��� ����}�e������9x�� J8<�Ό;���߯���=m�&3�r�Ua\�[���[�tU�Š�]/�4�ik�hl�o��1���E���o]�tO��y�kQ��|Y�p����OS^��&�@��P�8�!��D�+�g¯�2�]���뉻y����?3�im0k�b>}mN��ߔ���M�<�����Ga���\�2���?�-���tw�E���Pf� λ iObjInfo����$����@��~8ni �J�=�P��"�D �n �d�n�(�x�)�d�x�� �x�=�T �e �� ������FMathType 6.0 Equation MathType EFEquation.DSMT4�9�qEquation Native ������������A�_1508185058��������'��F%�:���%�:���Ole ������������DCompObj&(����EiObjInfo����)����GEquation Native ������������H�1Table�����JSummaryInformation(,����� �Æ���R�DSMT6WinAllBasicCodePagesTimes New RomanSymbolCourier NewMarlettWinAllCodePages����!?E�D/AP�G_AP�AP�A�E�%�B_A�C_A�E�*_H�A�@�AH�A*_D_E�_E�_A  �Y �T �== �J�I �0 �== �P��"��(�1�"-�R�)��"��e�x�p�(�"-��b�t�)��"���a�L �D ��a �2 �L �D�2 �"-�1��� ��a�D �n �++�S �v �( �D �n �L �D �)��"��c�o�s�h�( �T �e �L �D �)�++�S �v ��"��s�i�n�h�( �T �e �L �D �)�{�"- �e�x�p�(�"-��a�T �e �)��"��S �v ��"��c�o�s�h�( �T �e �L �D �)�++�( �D �n �L �D �)��"��s�i�n�h�( �T �e �L �D �)�[�]�( �D �n �L �D �)��"��c�o�s�h�( �T �e �L �D �)�++�S �v ��"��s�i�n�h�( �T �e �L �D �)�"-��a�L �D ��"��e�x�p�(�"-��a�T �e �)�}����՜.��+,��0� X`t|�� ����� MicrosoftN�* User�� ���� �F#Microsoft Office Word 97-2003 ��e�4X|�w4 5�����eZ�H��f_��x��-��C��o�����3��Q3�f��N�؂�EӇ����L � ��I?�c{���n���^���+�=s�w����2��Ǘ�� ��O� F)De��4��8��}���-�����?���������̷��M���x �Dp��y�����#�˟��Z������}����tZ+�, ev��J��Mgo��u����o�O �� �ˮ̷W�Y��@:�z��ϫ2��/s]~�R&�*UmԴ(3 ���ݥ�gڬa��a>p��j9ε�g8�8��s�ֆ2��x��\�+�|$R�����W��N��'������2�ɕ�H��f�f��ʻ���O�-7���>����̷/���y��ݶ&� �L��K���mP(��ԖY��˖rU��Z��u��w�K��<(�L�EDe���i'�^ļl)WY^�Y?�c<�x} <ݢ\ �}ȷ��~�ln̩�(3�}� ���> 1�Xty{��g��y�;1n�����Zo�ܮe^_r�ͣ������mj�(��D� s���-�e����*3�S?�Z/�y���CF;�e^�{��4��CF��;柔i���D�JeR q&I���eK9 ���k'��:t17��]�~��x*�|��|��~���L�G��|>����_��л$�Y�v�sͺ���E��n�����r��2�[A{�Y��g���:�|�����t�qy����2�e���C�׭t�CF|`�ѣe6�8=aO���}}���o�1��s� כ����7h,˚[��?��qX���2��Of.��Lς�u51_�����z*8,�Ƌ����˛/��N�ek��`\v���T���=7f���[�ﯛ�(s�G��{T���I�V%��j��Ľl����;_gi��o��e:��{���۝���v����3���:��� s$>ʼ<�L.e�)��@Pf 0�� ;ȋ �o�\źmH�~��h~�ؼ�gk��{�b����Y����9Pe.���%���Y���_�Pf�IS�#���.����mg�ˏ/O�̿x~tp����1y6���b�9���9v/e.l�#w��P��I8� �L*d,1�]�m � �X��_-�l>�,�A�!�|�Y �i��/� i�6���LKk��%đ������*N��$o���^�ȵv�MNe&Gʀ�\>�n>�g�m�� ����ԑ��H`�]����=���P ���&����uh��/�� p}g���a����JA� *���1�í�x�=�x:5�� N�Dlt�K���Le !�<��B�ww�@�������ÇQ} �L_R�� ��2�@��e���% 0<�9| �'�2�Y�������Lm��a�U'IEND�B`�Dd< ����X� � S � A���?#"� �`?��2�d����=Js7^�H�B�f�@��`!�8����=Js7^�H�B�f>`��b���x�S�KQ�7oM�&�#����*&Es(�R�bE��P= ��4Q���[N�����k��)^<�SO�y�x) Mgf���C�e���ofv���F���ꢝ �[�����m�>U�/�RX���4���`��p�դ�xb$ 's+{ �n���{E�I!GҜM'1�l��U�����װ�DO�{�p=��R��H%���Y,�ݷ��J 2����lT&�nUp`��k+�)o�Y�܃��9���&�x�`Ћrs���j)H�S=ֽ��|�#}�sS���$���m�%��|���̟ ㋒g���YDZ~����V}����x5�'Z�!�F�����x�z�nrB'}��FSwK}��{GC�R�H�{����;���:���,揘<�y�,ϻ���Ϥ�y����D'��z-����?������w����OX�{��v�Mq=9��@�d�2��c~�&/�F[^#�@��5:���Q!>���{�"�y��N<�Or� �i�͜�z���?E����Dd hRR�>� � # � A�"��`��2����"wĆ!A��Á�U�����`!�����"wĆ!A��Á�U��@@>*�|��xڝTMLA~o�[˶�n�F ��)$���[��m�CM�O �o/m���,��U� oZ���$15X�D���E�{z���D��fu7c(d����^Z�[����OKO�-=��Z(�ü�M�g���R+4���q�͕�NJ��&�ٖ볳q�}@D'�ٙ\��!G��}]����i3��%=��?@�=���g����f$Y(P����C��'���$�����z���55u%$Ab��3�� �LfD+�/GsW��6��+����� �R4w-���b�,��3z�� ���|���G����\�;I�r>I~?�M��#n�Ց!U���7S�F�� S}s�@d0K� �F�bȨ�nHRp?@Yy{�>�~�J sTB�;W�E�������˾�Lj�N�[Ь� ���ce�k6f˺�h�/��,J��>CD�=����D��nqgX����!��L� �o�\(�YP�����`�|_���������X;Dd �����>� � # � A�"��`��2���l4;İ�xT̷����{�`!�}��l4;İ�xT̷�� ���)`\K�xڭVMLA~3�]h��J�@��h(�J �w��s]a�l���r���pO>�#^|?�A�������S�cD(6�� 0��0����pT�z0'(7㍧�I�f�� Pb�0��%�K��1M$�I�z�ԓ�<�0�!L�'��z�����+e��&��pW/mGf&C�긪�D� �9T~�/q��F3v��a���K�1��9̦3j��+�i�G�)n�����|V�EL�����Dd�����X� �  S � A���?#"� �`?��2�&��" ><���I�A$�~���`!����" ><���I�A$�~�` �T/�+��x�S�JA���$fs`H����"V6����h@K��(�SH��.�E��o v�`%XX�`'��� ����愨�.�2���|3�;�ƽ�:�W�v� �R:��ZMI��U�b����撕 }w�ڀlkq—$�Ӷ-�E �m,�Zί��m��Di�({�"C�#j�&�6��,%Iz���qh����h��{���׾��D��7�NΞvv칭� ��x�g�����qb������rԼ�q���dz�U���W�3*nګ�d���wxb�j��;Z���y�yO�R��h���V�i�� �^Xݻ�} �L� �52� �$0�p�CJ�~�{���&�q�ۺ��C����F�cX����1n�%#� ?�����K�fp��A�e�3�������+b%�<���"���=�$-O�T�6�權q�(t��+��\����K �!(+>�z&>k4���7�-Dd X ���>� �  # � A �"��`� �2�s_ܽ��x���j�@��w��`!�os_ܽ��x���j�@���3� H:P�F=�x��XolE;�w���r��B)z���MH�(lԣ9�CB(K]����wJE �1��D����?!~�`B �F�hP"&�!!A .�h[gvnvo�w�v�浻;�����ߛ�vgV�����+�TK@���F�R����!��E{�35E�5��b���W@�3�}�{k�������i��H�Ѓd"�C�M�Dr ��Ttm��UDZ�E.{��e-��m���,f������ˮ�㲋U\�tU�o��x�k��/�����1?���e�fp��R.k7ZC�z�I��I�/�����Wi�@P��߹�� P��6������9JV��y˷�K���hD�h���/��e��]�(�綍�^�O��db4�c c��'�p٩".�*���\��,{�/HGS3}A-c��l>��7��@}�D;�XI������S���;6��N_]�Y�$0�!q�89�\���ׄ7d��el�L�L �������@;���$�#exf�KDO��p-n�L\9�ںc��X������"�"GTl�`��MT��̔>�NEa�� ����X,.�J��ʅ��녉��r�©8�L�\�3��w���T$�M�)4l�r�9ـ~(��~�?2��XW��y�oD�M��k�1��clƗ�)&v�H����8�)�:V�T]���#�F�ǽ��m���&�'=Nq����Bo����b#Z�p?����k�UI%�9�;��"�dAU�������t�[s�Y�ׄa<9�\O��pS<^���$yM����be�����[�%�8M31(�ڐ���#!P�����J�-�vU"���?{%D,Eo�' �6q�v[�� �o��,Σ��fG��n 2N�pZ����ԣ������R�s����t;�5͊�T�o�~�T����ɗ���'f���?M������b�mg!�}������ۚ��(�����O� ��+r&Ψf���|{J0�R2G���t�J��G�|O�~}���M��"K��pC����c�����~Fk���2���2�е�{GoT諾P��i�z<� ��p���ˤ��9���������ֺ��ٳH{����ɲ���V�*�����5�AC��\_\Cu [���$���yBO@�G�T ��ɽH���]������I�#dcm�D�P��Z���mCܐ��M�=Xe��D�0�@'>+A���*.���� �j"�������.z���4�'�V����c�HC�.�� ‹�k� ��?|p��;Dd�'����L� �  C �A ��"��`� �b�~�i� �ړ�6?��}q��w~��n�o~�i� �ړ�6?��}q���PNG  IHDR���ً�sRGB��� pHYs���o�d~IDATx^�{�gEy���u�b�E�����J�B�"�� ZPv ��!��C�l�*`�[0K��l�?h������EJ�\b� R���{�c�7��9�s�̙�>l�{>sf�y�3���<�����[�B@! �E��ҭ�j&��B@����@! �@����i� .���x�e�]�N�T! ���������[�r%�f�I������k�]��}(��B@���@o��#�<����߾�;��޿������T� !��g�y�9}~�\B���*Sğ��O��/���>~]��B� �W�����~]2���K/���K$��A�Ȟy� ��y��ϡǪ�sF`��w��/Y�$؃�b �+�*�@��;�}�LW�G��$����K�Z7��{�p�LD���O���� ��yT�����y����E�^�ȾwH�3L����"���G� �������7l���ދ����~�|/��yT����h���3� \t�ʼn�{�t^d?g���<*NF��n~�G.���D��C�>�����E��;���pdO\t��1_�5~猪d�™���m?Cd��,!G�t��;���� ��s�)����M�E�s�ɪ������n�C�UǾH��m]��:"��z��q"��=qs�RRʼn@"d/���>�&��@��dO��sVV�#�ًﵲO����3G�'��G�Wl��ʜ�Ϝ�E��;���0�'6~As�zXyR#�9��>p�QqB 0F���v�AsE���'������w'FA C���+��B)����m?C+���G� ��ٻ��&4WdXyR {�ٛ҈�w'#`d��w��?頹"��ʓ�����W�}�Σ�@`�C�vxX����f��!{�V�u�]i���pd��M�4W���b:d/���>p�QqB 0��1ͳ�>ݠ���Xy�"����>p�QqB 0��q��������`�ťF�s�{��t��$upd���/[W��:�) �@��:����,�r!��͝C�ER��^~�����}$�Jb���ɞ5����*6�@JR�m d/?{k]�}�Σ�@`|��޺�D����.��@�s>���Ed��8!��÷.?Ѡ�"��ʓًﵲ�sT���O�x��O4h��>���C��{��w'#��=EO:h��>��$E�3�{�}�Σ�@`2d?頹"��ʓ�ϙ�E��;���Ȑ�����+O d/?{���6*N��@��'4W���P d/?{�������c�9��C��i'RE C��������4����)MH���z+���;�0�����݁���K� �+hn�m�{�R �9��� 1���� ���t#~��Ӕ��@���PAs��:�!{��(+{h:g}_�[��3�]����<�[��%K����,�鐽�>�ʞ�F�%�l�'�aT!0"y��n�\���HI����>0�_y�V��?^��L+�� #�'{4��8����.p{�F�s���do&x��zF��J���Lȓ�t���+m d/?�Q��m?�Y������a7�dO�'4WdXoS {���~Fȕ�s��l��Vb'f��B����K�.�"������ޔ&$�[�N�����9��Z��?�r�8!� �~�AsE���3���9��.!��������<���Vh'F`!�O4h��>��&B����+{�t��H��*8n���f��B��h�\����鐽�>���9�1�����~r�?����]XH� ����]4�ŷI����>�9�) ~��O�@}�=�+hn} g�25��3�#{3ē��lG U|,��^As�j� �����>�����+߱�Of�$�$("��͝�i������3¬��]I(\~�ߎC3��{��< ��C��@�O1h�b�V��^~��4aȾ�;$��3���a:br��n� ��U\������.�N�@�s>���%ٳ"�R2\�Ā���_�ۚޥ�[�^w���*.�Ȟ�M.h��>�B&B���0+{�÷�9�:�w��7��F���:{'�f�8!�%d?���"����ً�[����r�N��<j���*.UJ�~rAsE���4)��9�G������1�蘭>sC���'4WdX{S#�9�}�d�9�g�_�����K���\�\�}`�L���g�Ͼ���0��f��� ��F}"J�~rAs?�>�@��7�ve�x�N<�Ӳ>p?Wqi PB�TpZAs?�N�@��7����m:��H�U\� �d('{�M����H d?�sz_'"'�!�Wy �Y!PN� �;+ehZ�7��VI د�|�o���T�������h�W^y套^�m����+;� �HU8��C�lٲl�2��Y�|��G}4�7n�r���;���SC��� ��f��²:Qg��V� ?{�7+,X�`~�6J6!�;�+�i�Ul��գ<�D����� �0�Umɒ%��B��^����@��&4W�w�/"�m|��2�}{����a���6�C=���S�'�|�U �}�ݯ��Z��ڊ+V�Zu��n��6�m��>B`��ʷ�A��#���[v�yg�/1?�eݺu�Sט��l�'C'?����{ot\����k_��-t2�ҥK�I���2�ʕ����jeX�R�Ɨ�=J����jmN}�糫�Q 9���2�@%�O(h��>��@��7����y������>�� �xXQq!PI� �+�HI��M��m];g;|����l��t�Q>�{2�<���!�$� ���!%y&B��{���Z��Q>�� �xpQq�#PI��8�����߻z�g�ً﵍��u6�-��=���u1*�G��T���p�GŨ�URd?s��i b�L���:d?���#�9��S {���~�V����l?��s��ϕ@��@�G�I�Ul�������ޔFd_��Mv�ux_1����do��NJG�$r� �:)���k�g/���y�}��k"�d� P��'4WdX�!{�V��{ z���f���qS���I����?f��}`uJ����Z��� ��@�}�n�:a��W~�� �M���x27��D�[�$�����W��j��d�\����)����m?C+���Ǯ a?�K�n��Y�C�l��3z�c0hο�LϯѴ�J���>���]:]��)����MiD�M;�k��s��x�a׿E���I������,�m3��.�gXSঀ(}��'{͍�)Ë��ۺV~�"���� �E�ol�۱:��E%�|ب'1K|;���y���X� t��@��@}�W���Mq����^+������u xH��dwG�� u�[����f%ͻHؽĎ����'{�D���ι�t�^|��}��lx� �- }���-�l����:nlD�&'��p-*�O��@#�w~�q�T���KRd?s�ٷ� �V�@��� ��[t�Z�?lϖ>QJ��=�h���O8�g�[��O%fz��3��l�#�؃�����@q~ވ�#�+��c)����MiD��:������aq���L/��,��o��Qs�gUm�v�'�f"�b���0�� E�x����uBѮu���@#��Ø����vٷ^0��S�g/�o�s\xZ_��^����w�ϯ�mmB`���E3�� %g��<�1���3�eB��`�χ�̃z�G�����aS��9hnM��<��.���a0U��I��Lq PA��M~κou6�L|��}#�q��N~�ZJ���ȸ5c��l��SQHJt��"�ש#B���=�@ �M��@ȉx���&M�>根ub�������:ߚ��'Yٳ�� &b��9g��"�v��W�g��uh�Ml�n���G� �3cȳ������S�������� =�M�>根n�� ���g�gJ��-8b�d�0�� [�a��#��d?s�ٷ�HnXTi�lB��X����Lߎ������v�[�ʸ6%�Iͥ;����=����a����y�F��j��D�(���f ^�]ߋ�[�"���Q[�L}h�6c��H&ֶ+���L��M�nE.��) �6�V�#A�)�#v�As��e����OZo �9�����[�j����go�-���� S��:� }�=Uce u;u�I+�Z%�#@��_TQT G�{�|>������� �$(�����'I-�m��wܱr��n�����?�����ޚ��X�b���-0�'�>�������k���w�u�6�l3:&k׮��+��c���<���J�:7�|�O~����Q��꫟~��w��_��j ��sϙ 12���*@2�������Ϟ|��뮻�J��K�࢜G}t|����ګNJ��X�O�w�vynf��}�I�3d�s�޽���Z�W��@�ř}�As]Pw�ζj���!B���C��� �k;s��wW9���;�˪��ȾJ�Iӂ�'Π���X����%��P�$4����o,�x$Ϝ�^dߋ�B. NM3�^�]���~8l��s;�wAs���O���Ɔ���!���ikV[�c�SN�l�����-ߋ�jQzw H�5���զi�ӎ�� �[��+��T���բ���[�6��V}/��g��3���^Je�"�J�f����4�Nl|�L �B�WQ�-'�~�dos+��,?{���}����p�9�_d�{�N:�vd���`���W<���X}N�A>��l��n�/?{Sm���y2�ʇ��Id�{�N:�vdO���;�v���]���r�=|Cy��������r�?2�f-�m����~�6�n���>����m��H^T'�#�`�=�X�fM��;=:�U�p��WAuzT�LV�}�)����?�߿��o=��ܛ]wݕ�_z�cI]� ۓN:i�]v���y!D�!l�{������g�}H��F����C=t˖-˖-#b�o�:����� 5�a�}�ĉ P>+�s[;��x��|}����SlV�,���ulW�&U�g�L&�"�Qf땽�6fG�NOD����u>T�vt��G��v�]�5g����NEb&���� ��)?UVS�� �2��5ٻ��2X7)/���.9�����k��=?�*'������>�n�*2�3{f��>�:!��o2��0 b�΃�Dų0� / bSgO�E�[�� �O���[(@�O�ɾάv�٢���gߥ�����gz7⡖�Z�������!Ȭ5�S�؂���@��F��Ⱦ�ɞ����go�Z٧�'�ZL���L?�������lv���_J�B�������~�5�&�ѹ����7�D���2�"{����햹���a�;9�L}-�x�߅�c �+��c-�� {&�-2 �ɜ���"���7t�"{��4 <й�и��?������ϻ�}lase�}iz�|t�����;o��t� %�o����x�b��-s�}�.d[�ܚ�����_a�np�h��y��p�> ]�6�;�/���_�%�Ⱦ/$�͇�M(��j��ʥ ك@TAs?�N�"��@"�~l�ߑ/�S�Gd��(Nd�0E`�g&r��;!�H� ����,������,��8�m=K�)�Ek�E�iԈي�G����1�k���H��0l�hZ�P(��T���)��Qӌu ��EG���u�����;�P����m�ւ��?=���Ϫ#�G4�~ݕ�#ed��4�ܨ�I���3�go��Z�w� ~.���Q������-�:�}TAs��"5ʡ��ٟ7��<�7\����E��T�E��h�B�G�Pxͫt:�}TAs�z�Bm�|RF���S����"e巭Ϲ39O:�}��L.��~rMV_`��y����H��O�\�}}U�%e�6~%��5T��Y�3�4O�><�1�M���E��,p"���.C9wcr�F��} /ʉ���<��y�"X,�-��[y`ڝ�� �+��xd�! \�p��v��u�a*�;���KdF�B�"���Xe�@����w'�x����[��=ʇK=�NƄđ}�Ӧ`�Ë�0ɤ�ӱ`��A=nA\d��3�c��dO�\�}`��&{�|Ɲ�?=|_���>}5���(��R� jR\�;�S�H��*6~`5�K���jT���K~��tf*�E�Si��r��w�zE���B���U��:�(�n���!�H�F��gopi���L"��~�ԗ��@�U��<{!{����O�ױ�+�ː@$s��Q�D�!U.LY"�08�S�������47��)I�W�k�F.��c*p��F�h���ڭ���Gd��)Kd�xJqma���>���� ��$dogH�I��1��X��6Q�H;���(��}z�Ud�^�V��Y��$�ee�沖�f���?� s�E��"%O��ݭ��.t��s�{�}/*U&"���#�0�Z���K�f,�z!{ja�����R w)bp����˭&{�N�+_t8��i���!*<[���N��)���Jw6t2����h���Z~������c ������>p� V��>�Q�������Z_dOe3�FxG8�}`�� �Il���޺�V��;O��D�@����?���5�$��O����"����BP�ٛ҈�w�ʼn��g,��d�7���8 z��wRQ0�! ��jI� Ȟ����3� <�e���>2"�J=�\��䚬G�]�;�쑖Y���gz�п��J��D�C�ڕ�q�=�&��&��[R��^d�6�%�Ⱦ/$���;�s��C��!�LF�.C����C�ډ��B׻���͜�E��;O��D�@��[e9�����@>t��7 �ʳ��(��י�d��ϸ�2Xϙ�E��x5E��*�d��[�]��ɟR� >��(.y�6���*#{b;ؼ:/�} ��f,����͖�E��w�����2t�ϳ���)�w�c���{Z �r�#�: w������fD~��N���Yd?.�1���<�zeo�e�uFZ��`c�E24E�leoQ��X� ��oV*��0�-d}���|\+���z�}�m4�����a5 �S#��Zk�a�k����1l�C�3�C��x^��w4f�g}��[�����$��'�L� ��9����7�Ȟe\��������Y�U�!k�|[T�a�Q��v�m&�8�6l0Z����^�F��9��Ⱦ�X3��"�I4��B:5������L]|��~m�ڑ��2�KY�T���Ma�d��4KfIl�q�/����+�nfeo�� f���"�;XG�D�L�s�@bq��п5���RZ�����x=߸p��~�Ey�Юed���Z~�}�W4�/�pd����jϜ�E���@�_��cn�`�ى*�ݎreou�]�0�e��#��x1��4*���]����g�_�A s�}/�� Ζ�E�MU%��"���(��N�"{����#� ]�ڑ��ٗl�W�j�i�K���օe�PzI~��V9; &��`2��vͣ�� �]����7�A���љLE�o���s�g��B�F�Sd?zD"�;�qeoP�_�z�j[�s��,�D�b��qF~ ���J=~UM�=6PV�7`��?������~D�c+ڏj7�lù�T��ʸb!�|�*U��c����1����ٞ�� ,��T��%�O�Ɇ�)6�ÕR?�K^ -C�?�0s��5��5z�j�7O� ߱~Tg'�{���ݩwD��C:� ݱ=V��"��ng�~]��6����dO[:�h��m�Ĭ�mV�3�{�}��V����kPiݱ='��(sX����:�̾������+���Uߏ�fװ���N�U��� �A�ߥ1���+�Na�̙�E�,p"���G^�y�GE� �ߒ��7��|�X�t�Wu.p��e�WF�.|A� |��D?��=�͖�E�:L�"D�������k�~洷)�3�Ʉ]�]T��Pz5%�O��p��`�(�>�ָ�}�=Vd�j˶�W�[��IX��FAuXR9ݕo�ח'��edo~ ��'{;5)���~�V�#*�@E��v��Ζ��]��j}ݾ6Q�(��>�r��=�q�^~���"�����>�6�R�ْ={�E+O�'VenK߿���t�g�ت�?���R�=Ԋ��p�l)mke�f{N��Ⱦ�0�"�8�e,�fK�F4���tw��޾���M~8�}gin~dp�����yIAp �&*��.�W�g���fiH�PYI�ȾRI&�@d?�&T��Ⱦ~l|wFYb�g�u������U;i,�y�9'2��mN�q���2I#<_5� ��L� ��g�v���O�\_�T��;)�c\�;�ٛ6h��^O>"�x�"IR"�F����1�#+��cY���?�nvif�Ƕ??�� ��ُT�ֵ�V�Ͽf�^d�eD��[�}��2�T"��/��5W=��7W{��L�����I5�D�6>�#�KåC������}<��/ID�}!�F>"�4�q�ZT�}�� *�����^dLӂ$��$ �O�������&�! G���^d?���.����L�k>�C=� E��h�8����>6�����>�>�E�Y�������YQ�����ۥM�|+���̿�|f�0"����7h�3${�{alT�����p���g��׏��T��d��b�K��G;�g�d�!�C��� �>K���+��׏�?Æ���d/?��� h�2n�3$���������s �J��[T_�tA�+�3�aKm*|<��"�.=!�ogH�v0_2����l�A�� oڙW�=����c�5(��>y�q{D�c��p�΍�-�)O �;�k��9��[C�+�~�8�M�'~>� $�Ⱦ��ğ~ndo���Mk N�R"�0��k���܃�}�kp��2�:�c�_dL͂47��=�̩<�n��vMK�����[#/����Ho��uR�I3��.��>���,eVdO�r�a�;:dW�b�G5„T���h'Vt?dO��ko ��g/?��Tk�lgE�����t٣#|_ ���KNW� �grm���;f[#4�7;��([�"fE�F�{Nv� ���ˋ�G��������K�a[�%��7��O��ՑvVd����Ɯ뵍_��(M�Ȟnf���]��v��� ��^����&��Ⱦ��O+�|��9�eV vr?�VNZ���6���W��1s��le'�Ƕ�>����>��:�gͰ��.�6�R���^��hB�o�/©�p����QCv8��%�}��'�!��Nw��a�p����^��>�����uX�TN��*r>v8 !��>��+h&d�N LJ� ����a��_�"�L�`-����> b*�!PM��k�A�6���t�R���}�MwŚ>c�o���O>�ӅJ�#O ����b/������c�c]d� ��~�������C�k�B���@�L�"���������%��}�=yd�-v�)��� ��]h���?C���K��?����ޔF���;O���&{�{sܭ�d\~,��[���>y��^�� ~)���k�g3�&���>p� P\�d�@;�gc��g�a*P�$ܱ�>��� �!�� *��~���Dl�} 8�={ve|�^��k$��C+T�t�~P���^d?P'1[�}���-�Gl��E���c�L�I����^d�L�tٗ�����'�(�"���x�U�}k��gƊn1���!�%"�`�&XA"��9�7s}w1dO��!�Dd?�3ɳ:\n; ,�U�o�~%?{��7ՙ����L�p?��}Jd����G� ��Ƶ�v R��^~��O��}���8��B���>Bg�P�����+6~0����o��SA������s�aÆ͐�����>p� P�ȾdC�F'V�6@%o����>*�G���BZ<}��[��AW���=���Rd�^�ٗ�)�wZ��^��k$��C+T�)���p,d}��~�N2b�"����h�}��2���f����lU��gu�b�`�'�P�3�{��Tz]}9E����Cʔ�^��kl5ٷ�3��^*��ߣ�E�2g����oQe"���9F&%�Wl���TM��8�G�;�μ�dp�|/��y'���O��bu(��a���^ ���9^~�_�%�Ⱦ/$��Gd�F;�R���>de�g���r����z��'�Lq �����tK��q��.R�컠�޷"���4X��ɾ��^� XA�=��q�ֺʼn��<�"D�j��D�&��{[lp��E��*gk�D���K�Ô�^���h5��2�L���9ߋ�[kN���m�QK��?� U�=2�[#���"���'@q"� O����~B��!j�}��8��#��X��7z�|/�o�*����F!%هD;��*������=�K��g/?�ĺ����>ՖmW/�};���%�����=�#?��U��l"���%�aJd_'j��8V�*Ⱦ��0y�i����� am��i��ه�<�S"{���idρ}�@1������o�}��N.��~rM6��"�A�M;�jk|��.��b� �1��=_>�ߋ���"��ڴK�D�]Л���d_����o��|� �3�<ߙ��>���)Kd穔"��JKE(g?d��u��a�|/����uId���>�'֠!�SM�W^ym�6��>#4��c�͖�E�!{N��D�ap�J)"���T�r�`�7z��g?��=�b�Q�]I&*��~� 7��)��b��$E�V�=�u�jQ�����b���c#�2|���H1�k�Ы>��� �Ȑ�+6~`�J!����MiF!{���'�����S��z?��D�Si�0r�D�aS)�,�ۂlr��l��}U���������z#�~.�O�{��ȾG0���� �6v��+�s����u�� ,M`g���ߏB��@�F=�2�N�c}E�=��@V"�q�*���!+[�Hî,ô9ѹ�jw���>� pg������C�VP<����X�rE�]�K�۔�^�����'{���m�Xֻ�ܸ��kkz{�M<���><٣V(N��w&ʼn�g��5���+6~�F�+��'{���_��#{�ɞ�j�u���>*s���}x�7*ʄTB7���髟����~,��,Wdg�LB�,��K4���r�y��J�K���Ϟv�}�̩<Œ���x5���j&�D�3i�!��G[5y8���ɗ.]�$��������w��gz���p� +W�����a���'�x��I�|����x��꺵kמt�I�˨�Z� ! �@@� ¶��W� �� ����bbR���� �������p�e���{T~��{3����O�ǪB�@���ٞ�����=п��cU�ʝ�9�{`�7j���8�w�7��^�ȾwH'���~��7��Y�;�T�l������5�s�[=-p�����~���żc={?l���t�L4�SH�هD;��R"{���o@����Hm������<�go����j�|���]&:�P4�3�N��]����J?��D�j���D���@a�"��u�� 47*ViDP��{~�A?���~~H��hK�v�͹#C�4��b3��"��h�_VJd?ډI��"c�ʘ�������q1���>$�/t�˴;�B�_D��jK䥋�#o�����Rq�o�c�.���o���ED~���썶y��.�>@T�,0O��^W�KJ�G�4�&��4 �>����`+�:�>o��$�'>�N�+�}%D�J��+6~`խ ��qOC.��goJ��� E�j����x��7���+Nd?�&T���^��U�|�dϰ��a��c��!��f{N�h�g�� ��Y�g��4� �����o��4�����+!�U�������V����-��������"���<��ϓ=|�jsz����k�.5�wAo��H���g��C�}Ǯ"k���[���'"��w�U�}�6�-�Jv���>����^d^߆.Qd?4���_d?���J� �� u�����t��� ?��~�-�S>�-�� �Ԣ.!?هD;��R"{���o=�ُ~���Q��~�-t4s�#Ӽ���k5�d)��b�Vڮ���k�ف��������6��2ݢE��m�!$O���Gy� Pm��}� �I��%{[����C�Y�٧��E��i��컠7�o�ɾ��}�@{=�?+^_8����N�d%���!"CdICLQ�7!�V��{����O�$X�l�w^xaI�`?�q�+W���>�`�Й��z뭩��+6o������u�]��XS��x�K�.-���g���k^�������}n�v(�������צ��~���|���+?����T&�'��G>�Q�|�����Ufy�]���+����{̽俿��/6n��|w͚5��?��4n p���w�թ��ʿ��zkPtIf�-���?�aW凗]v�����d��V��k���?�~��U��W_̀��w�� _�B^Hz�����6�L�g����g����mN�:=�E���#P>Ca|��.*O�r�缾Ϭ���o�:�2 �0j�����%KZ�l���:�|X�|Y���S�~� �u�|��/\�>S���������.�:s>t�W�˳aÆ.��v���EM������Y4}���Lhܞ���}�5�|Xٳ����D�?*��ت�.zb�4��`e�����/�����.�G! FD�bʬܱQz+��G���d��!o�}饗x�o�����Z��:��,��|����F����o��e��W_m��N;�T��K���f��v�u�:��?�p�<������g��.N*��[�Ϫ��G�`��_T g4c��3�8��y睯��څ��гj�O]>���t�A�"5{Ve�+�b��0����7{=�uW��r��^l-2�<)�����Ta�_G�>�i��J#?{CRdߗFœ��>���A�} �0Q��k��W����Ұe8��l��P��`c�,� �8����.����������~���p���E��i�X9���B>�rS"{���ced� ��(Nd� ��+6~`�+#{8����j�,wQqs���dO��|�ܝ���&��>�W���~\$gXz�6>�����"{�p�|�� j�ذ86���(��'�}�Ed��$?�'٬a*Um�ߗ{�1ē&�� K�}�#�go���&$v���Gԍ�-��z �+�Ⱦ_ "{郏��^���D�^|?����S��v�Zw�̇"���L#�}�8J-�!{�}���yfR(go���^[�}uf�}_H����>�v�I����>0���Vbf�� ���ՙE�}!�F>"�4�q�Z�F�s���d�ہ=Vx�X����ؓE�=��@V"�q�*�@�����yػH�EG�c)w�N��o�馯����杫W��7���KS"{���K+j������3B��]q~�%l����~MET��L�� u��~����bLG1Ծ� ��+6~/*Q?��^~���!ɾ��U�|��w�ʔ"{��{1}e7J��7��wG ���9��!ɾh�~�����C����F��L<-��f+�O&����RfH����!W���c,�2�����!r�p�:���7�"�t�R��f�}`�S*.��[�9�e:FJ�� �6����` �D01�D���@a�"���J��;V�\y� 7|��~���~뭷��+V�ؼy�Mz�A�s�=˖-c�_T�O �Y�����������Mt,�}N�V�I'���.�������O>�����ʯ��Zɇhŧ>�)��Y��,�Q�C=t˖-�]�Q�#&�.�֭� �#ʓ~с'��m��`+����� ����,���"?�G½���_�!0UiE<�3�|�"P ��gA_��3�-/)���ht��V����g�� 7����o����:[���@�ȳ~?�ԗ,Y��ͫY��Z�ٷ�.؇8�-�vfj����g"�`͚^A)�����^!��"��2�sd�-lݟ_�����80��sDgB����\TeÆ \�W��N�E��҇��M���go*5(�3���d������%`��i����� -�?nwُ���픪w�ٷn}��y�>�Aɾ���,*%�h��n'u�- z�~�LD�-@�瓼G�[���"�Fp)��@"d/�ze�K�a�33=8�� {̄c��R��}׎��;���G�Z�N��?�r�C����W����x ��`�ŜP��x�X�������1���u���>�W�p�:���"����$�����q�<0�4��z�`�����!j$�ձ�d���Wy;V ��WVV �E 5��3�O��Y4�? ��)k;�j����fƎ��D���2��!�rֹ��oj�*��.�F ���}H?�֪6���9���u�E�� �ݽ��I��?D����2�4ҞF"{�OkR��v���;n��q����>��xC�֫���$�m�Q!�z�YX��|���3.�����?��Oڴ:��m��@�H��Їv�a�L{�ǦM����9�ݾ�+�����D�!�9�<�!���,�.���s�BJ�r���oc�7P\�:`�.M�iB<����� ����f��ڴea%Ā��M�;�����iK�BZW�ߚʙ�ʾ���ikK�ڥ��?�sz_���1;�dt�l��_&ۺ� y��.7�F�tg-+��c\�9���5�BE�1�f䲥��o�1s��.�o����n����?��ϳ�=�M�����_4��������A��m��_ ���6�h�뮻N��ST�2s9�����~����NȒS��׭w55��d�OF�7�8z���oԠsN̹�sӲ�� 6��>�ƚ�0鐽�^+�^�ވd��v)_�?����ޖ� 2�$ 4��e�32%�D�T�K��0m�R)I����^d�K���̢�օIK����u��pÅu�L���^���_jd?g����yF��o=G��+��~R\�^:�L�^ƀCds�E.[ d/?{��G����>۩-{ P>���;�v�N;���(s%� �c�Y܋��|ʙ�����3������ �+�rm�ʃ���e��&���ѾY��~r���)����M�D����^$y������"��=C������2�몙书�O��b5���9��O"�^z���{��2I���qE� 4�XUH�>��.��lFv���+6o�<�J�/�{�i�&���E��g�}���k����O~�9(`�t���Gy�g|���n�p���pE�$! ����v��<�o�����w�Hx�嗋�C6��>$�*K!��O<�RC� >�B�v�a b�#��>��TM��H ־;�3��������}`�U�B�.�l�͚5kH���O�q�u?S:!�C@d/�B@ċ��U�L����W��}���N��9 �ه�Z% ! �"��^{���|��^�ocN�O��OD��Y��d�'֠�NWn����uQ�����N~/���uz�X�����[U�����I�4B ��G��_��� UA�! �O�AU! RC`���o}�[�ի���Z�T�P��C!�r����&���Sv�[e����V"{)��n���W^yE��� vT�H��! ��\�I�a8���_|��a�P�B�!�ؾ�w�&����p)J&�O�UU'! �B��'S-��ܔ"�f��X��yI|�U�5+c6�A� .(��A�0~�y�'f�**#�������_O&��܈#_q�P����?o�>�cN>�d��! R�r��{.�����w�uW٨���E�q㕫W?t�6���}K��n��j���k8�ܲe�=�ܳl�2��� /4a��+_�ʾ�э7�ț��: �����u�m�UJS�9眯��|E��g�y���J?w~;�s��x�����g��� �nذ�{��ALzʞ{���'2�Z8�?p#�C���RO�K֖�Zq�����h��%��/,�l ��Β_ô�b��Y��@�]�z_��o�>�9㐽��i^��v��&�껀Ed\_Zg����￿~V��cz9P��V!0c�=+ŵk�.��A��� �x��}�8K_����U�8���}Ê~�E*�Uv�毙m0線�[[�H�iК��DCɄ��C`Kg醱 �W5�40�0�.�Ჿ3v|���9&�fg�_fU����\� 7{1����� d��,�@�.s���76� }!)�>434Dr�q>H�jj���Ɉ��@τ̘����j:�5���LB�t<�{�~�Uǵ�}ki�6SY�/�o+>.s)�V�anV��n�iUW�B�G�)�=�5tV�%o�=t�s�4k|3�vC�qs�C��I��l9�� ���IoLo�+��=��g�g,�}��ύ�,s?���r���{����9 X���ܨ�"} �w�qy�7Ǹ��3L����ƾ���t���l�a��پu� d�ܒe0���k�Js1-���p΃���;"��!�O���=�|o��t���Yf�mmf�]F�>_:��W���y����53�p�c���޸ܸ��j፣R��dv;�7| D��H]�,�ĵ�B7w�[��t����z�2$���ᖟm���$�&X���ȳ~����i �D���heR��${��e�1G~�u��:�6��^���0Mfu��i����"#��iY� ��7 X��n��+�$�LG�7z��Ҕ�{'{s��+�ۛq?9��/�3�MdrRY�H��_x�FuW��i���^vxs�t�I�����}�c�����.]�f���Ag� ޯ~�������m��z��G� �� �s�[h:W���C��|� Nj��=���wM�rK�.6#�e�ϭ��J,�\�nAd���%�.�⫉x�_}g���� ���?��.%�[! E@���7���d�@9�R�s���`� ���.� ���?�O/�|`Vs�/��r��S�p�����?�!/Y\�U�Â��2<�B�#�Q� �C���$�&�ݓY�e0�o�����z�{-��舀�$��阏>�!㓽������o}˅ӹ袋�S��ʕ+���<�7��S*.��E1hɶ�n�T�� �_�).��ƍGtc+���b�aQqB <�V�b�c�S^����W)���\�? ���:���~� sp2g�X���w�Z�� _�8d_t�+�YY������C���x≤ p�\��p%��E*0w��y���x�e�:FX����F�A����3�6����\g47(�+�ZD�a0�h��x*O;�4���-�%��2��0������l FY��Z�,��o�F`�n�W_}���.���|��x�G ����SN�}eˎC�6\R�@d��n��c���� 5�vz����++�I�h}Ʌ�Vr�0�Ns��0,��i[4Jogz� @����c�~��׮=������'�t�ry<-�Z� �E��\5ʍ��6L��U �'Z��O��7mڄ� �f�%k$�O�n���>0.�WY4�.\q��\蟳6��h钉���qP�6xKu��N~9g�vl�j]Ǵ?����d��>e����^vgz�v�_�4m��A� �����w5�&ţ�1jt�f�;�u��w")6>P)�)�7���`J�d�˿��ޯ_���w����H���usJ)�vS(%2�������v���W��5��v@ D|���% 5��_�0�|L&�5��1�K�f`t��Gm��[�YF��Wg� �wy{T��Ȟ�}e5��v�m���$�3N�uۄ��:��J�&:L��=�1qK�5[Ȍ�M���,�����>����L��?���kh-@���֢�!�y�6k���aޛ�f�&�f�Y��~���O�[�+��,���70<��0g���.������׎�5�)�J_���u���N+��)�v��U`اX�hd_ߨr�ksU^� 8泾5~�z??�E�H�$4�2�ӕi2�����:=ĝ�2ɥ�,m+msZha�{�S���p����n{�!s��vN������뿶U j��Ԁ6��{��i�[���i瞻��e<]�ebʺ�iS��`���K�!�^&�voy�[8Rq��X�����y/��u~�:#��3~�f;�[Ӷ�uv�o�Pl�:��Y~kp&�aG?�v��X([&R��O�6q�ixO,9�-����}�E��C�X��|�7'I&�EZ��q��2����şɄ�wa�2�]8��RN*��ը<�{��:.`�PAWe�#�y0�����Z�:>qQ�h_޻�.\n�!L�����X�ߧ�������d���S�d�ra���Xa1�[��bj�(�%Y�j�.(���ᠫ��$$W9D ���~ǯ�ֆt��[�ի<���x%�~�q"��o�S ���W����ƿu�M\ v_'�0,N> P��<� @bVx|����~t9�K�q��د�'�Ѥ��8��ow?Y�|��q���*�riJ�����m�U4���|LHk#{�Ъ�ʚ�҃���jm�#�4��v �SD�A0S�lc�׼����ˀkd�9@g��Hd�"1�}�o,�Z�Ѭ��߅�ﯦH�1�uX�.�%m�ע����h�Gr+�2� JU4xڍ*n��i��{����/�/}���G�]�f\��}t׾Qf����~��������}�z���gf' _s#{Sk~-����T��m Iht�k�R�u��}}-)O���淩M���?�Oe�v,��D:V���uVT����؟��߅��[?�n��s,��}y�bn���͋�p���hc� �t7�9�s�� ��] G�h^h��ȡ��{�� �@dv �v ]b���K4��v툃�m�d��:��ly�On��ή[���C���E�>�W��}e���E����T�9��hZOw�xg�k��#�#{�ȝ��#�k;���j�ffu����}��W#�<�g��I�T����������%�L�c 'F����A�H4��c�"BY�m�Pq����Mp�#`wxj7�����iҌf�7� *恀��[H�v��җ��,#�sj�T� yiUE�<�c-c�"�~�_�s�9���w�m��Z4V����g����*�Q�r2t����_��˾Ӽ���������B�!���������|�~���6���߁�3���s�2�Kgߧ�>b֎�� %�7m �i"p��wש^!.�xc^�fQ�����*�O� .��XO�_���W_}���y�G ����8��m�����e�vi�R旔�&2M)�,��g>M:�&��w��7��+A&Ȍ�'����~��D���V ��Xx{d��,;Xm���(l+<�N��q��vat�|�/��� Dez%��Ⱦ��N�����a���R�a#�r>x��ה��Ÿ��ŀ���r%��0r|?�{s�f�����ޜ�A��,ˬ�f��n_�*!0�؈�.�~�Kyd��ܘnQ�mU���k�K�W~�J� SM�po�~emq�hI<��(�M>����]�gb��%� w������� �k�w� 'peZ~�Kp��ǖ2�gG�L�S ;ؠ�K�n�]t���[�H! �%K�XY@�-bFg(���g���:u�\�+0,%y�G^��yJi����w�4�w�~u��23�τ�.����5�%;ur�Ԉ�����i\�����K�a�V5ψ�ڑ �L���3F��H뺇��q����|������2���,���ly��g�m0:�d&dzMU��^�X�Z��33N�aw�$\xJ���gW ��S��^�N�}�K��R1��L�mX�m�%Q� pK�~���/If��7V�ѻ�I�컠�o��C`α���2��dUp� �)4_��Z�uc�.AyS�mw���#ި��+"(���[�d{�{��ޝ�׉p̝gv��.^/-Z��x��}�e%l�R�����'eѾ�����4�q�E��h& )B �'�-�J��9X�U�~D�����ZO>Z�燙���>kڔ�'���69s�F�E{��Dz���ہG�j �A��i쾟;y�4��Oy�Z����y�.���]�O��;[�PD�6�D� � nה���b����~&���HeD"+��я~䄂>m��C�� iH���,�/ʝ{��_��o���X���d�<�F D�+��y*��;���K�g��xÙ��d�E��9*0������B�0�…���9'1���[�>I�:~ ן��[��/�S��j���طu.)w��m�����lPcld|�5�%���e<����z�����&J�/��O?�t�sr#��Ls�S��;�D�#ft��Q:��ö�F-q�`?�h��'g���>V&<���̼�fHVM�4;����gV��Y�;�=�C���|Ŝ̪o2��Η�ȩ�(4EK+�����,~.��6�s�\?<� н0t�� �GM�ߠh��]`p ��J�{�*[ma �ʯf����T�K[�e"�7s��!��kj-�|>�B<�ܶ��ǯ�s Ǜy�gR?S�Թ��ݛ���]?������\����e�߲�o�V� ڵ��iy]�\��n�t��r� "��[��ڕE�j��yg�C�M��Ysl���TC�͛7�Q�Qj��~ӦM��Ŏ"���.�q�6{1ZĦ �)� ,%��`��ˆmU��}C<.�˙<ˌ%�[��5g-���R����Ԯ��Z�99�����hğ��^v�b2���޳�e�K0Z�v�tn �6�m��V�A�/��l����K�� �[1�ǜ"a['�{�O� :�|�Û���Av x�!���O2�ete����h�kkw,��~{�"L>'h��Β?F�s�=ٶɿ'�[b�؅���E�������"U�Nd�����I�s�=�a6�!����q�X���P�e�end,�JZ�T>�$�ʯ~��%@9;5趦C͑I ����i�M{^GH�H��n�L*�WB4�"�^�Jd� ��d`S����"s�62�K�}�֎u�Y����{ت���[�� ! ��H��G~�b�����������c�V�� �c-��� l��B}"��|���?(��Td���˿� .._���[���Ꮪ~��ӇB@��:��g ����8y��X0�7pG��K�ml��[F !��}{�b�Kݒ��I�<2$��i$��ٷ�.���_�׬! �D ?�:�R! ���e�w/�И���nz�r.�� �$�5��7gn�]{��)"����bU������\ u�[�5A/��"��)@������|2&Z5��+�Б3/y�A��Y`͚��_?$ ��{��^s% gB����aw��<6���v��m�f�u�̃ 0��iW�Pu"�����/�GM�,t�����4�"Q ��L�Y�BF���Q[�h�[n��_�� ���4v���0|M4�L�:4��_'C�)G@+�A�P���"Q��՚e���&̪{�᛻~ۿS��B߿����^�/e�h�dvy��n��%� �9=.���ַdj7+=Te����_�b�OK�J+��h�E'�O�gWkdnq������w^�\A 7����<�3��w�F�;��n�-ox��o~Ӳ��Νс(��@)xܜs�9i�$'���(� ��Ž����� (Ț�4�h��9,/�q��t��x��g~ �|3��z���CE ��*1$x�\}��!KTY� �O�)�b�<��P�[F��\��·�Qmq�ܷ (�E< wҰ=�L"�p�n�v���]�D��� �l�7�� �cu��ݐ����-��x�N��q�lSE�����Aw�h֨�ȾHJR�4��X�cDZzy���� �B@��'�\q +���=⑆�uE����1��?�qK��o|��`�O��}�*�-�L���Ž�=�ʮ>�xL8��+I"� ���apN��7`/ɊͰR��?����ֺ�Ĩ��'>�Z'�t���oٲgϺ��mKfg��7c�O��/�nv/׭;�(7y�������C���H� ����ߗ�����e�䢝M�6U���7�IL��t�+V|�s���u�䘪�@�#�<�3��k&�}0�/� �.ܢ�U������}�9��(ʠB #{�F¬��"�T{�}H��-kZd�=��w�y簠4ϝ���mo{[�O����e<�@>c}.���W�ڵ}??D��93�c�=v���-@���@:ݏ�[]�ɮ�����_��nK{�Y �J��r��I�� �}��㦣]N�J�*"�T[6�zq�OX�C9����t��.���UO���a��+��YͯZ� �w���ڽ����D@�w!ўuY��a3��/~�� G�X��U^ ��W��O�Kw��'�z�����{��>0��-ο�{���3�/"���!��*��V�v�Vi����"���Ϸ8#Y��"��}�L_7?L q�k1p���� !"�8ڡ)B��o'/땅�u��6�W%~���5��LsA0��a U� ! j" �� �����?8��@�I �(@��e��� ;�wQ�O,F@���ٷ�N���0*�.�ߙX��T�����:�j(?� �#�O�QU�.�"�_���|���_�9C�D��ŀS�.%�[!P��P+���K�� ����/��bYo���v�O(@�(�!��'�����/�� v!������oo���j��Ⱦn�jF ���˗/�'�ތ���B��_=W=a �~�z(���&BL�}#�W`D9]~��5�ňH�)�"��r�I� ���� p���2�fݿy�AdQ!I!�q-$ޞ�{.۸q�U��N�"WU�D�����9眓� ��uD��6Mc���w���7�^,B�n�-��}���~z��4�UT"�sN���i��K|ΌpU�D}���ꫯ��M �@�}:Z�Ly*��Lt������SOM�R�9l�sz���ߎ�]��Dd�LS�"� ��C�Z��n�mI>�� �+�� `�Iv�X�ϡҊ���E��WqC@��k�Ɋ��O~r���\��۠���}��i�dNI1��S��-���tG�����@�}:*l�I����������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������`����dɒ:b��!��������3чB��}:����C�%fS6�������n{��v� Q�� `r�!�v���ۊj���3ч!�)�U�n~a؜_��WV��?<�:�&a@� x�:��6z����)6~ؖI�4�}Rͩ�tG ��[Z'��r�����޽h�0+��K_�E���h�O8��Ql�Y)I������J�|l�3�<��-���Q��t�] ��Ǚ��90:,�d�-��y��{� ~*6~X��Jdp7=��Z�ܙ(��bt��c��Z.n�!u��Bǿ`�&���z+L��x)� 5�N����9��~���v�DD�;�����(���{�ǦM�2���5c�������}�{Gq�d�+�GC�m!�?�k�����ͥ�^�կ~u4�U�d��~�M�\��kKFd�������*��g��q�b��`O;g�<��� ��O[%���~Px�f������̅���� '���+e�ߴ7Z�S� !m�D[eM�����["�����-��X����V�����B@���b�nc�}`�G(�f&� }vG�&�"A��ҭLl|�e9���m��C#�rrѭyu�|��z�5ӇIv�U�}����W^y%L�*� ������ /�p��'���_ w?�я�����4��K-@�`Pz�g����p���sT/{�\��D���x����݇�ߑME]z�fa�mذ��L�^���+�ePrE#�_�0"͹�٧3�����o�P�������^{m:��V������σ��?���q�����O�����<�����n��g��׽O}�S�w%�W���B�0:~�"���[nY�~}&oBV���=��u�֙G������Ȟ��VD��k�eJ}�[�z�%�b��&Rs��;������<��7c�>��C/��R�n�%4���>�EA�?��O��g�(?��ϋ�db͙��>hc�y[#���-��_~�3���=�m4m�g��m���1�Ö��1�t�Mx�����'�9Hb�%�����;�#gs�d^�Gy�k_���{���x��� �̴�X��:����[v17�x�m�mb�Ϩ��z�C���~���:¿\$�z���w�x�V����`s��=���|�3uB6=��,�m��?��?��x�e��z��,�ew�Gr`�m�`�%��������D��3p .ep���� Ċ��R��k�8ė)#����5�ME��"OzB��E5�I;D��p��n�������.G@��!���}k��P��k $zE@��{�s^����io��O�-U! �@���{�S� ! �@ �BX��TI� �o���B@�.(6~�Z|+�o�>I�|l��k�� !0D��3����{s��z�^�rB@ ���~8lC猥nT��C�_� ��x�[޲��ۧ^K�oD����L���#@����G�g� 瀀�~��:6@��z�~�^J��aÊ��&���~��&��C���O����_9 !o�ۅCHD�!�VYB@!�;.��r݂RD�!�VY�"���BW�[L���*�(���\u�uva�=�"����9�ӓ#g�[p7�.� ���1{챛7o��8�f||���٢g��v▿O<��ҭ��^��u��\r ���O?M�w�u����P�褀��;� !1�P�/I�L�>a�T���K/�W��N�K@@3I�0?����G9�7�t��<�̄W�2l%D��tp��� n�k������OW�����O��J3��B6hG�|eS�CJ,�Tf�<4 �7��×;�uf��^�2�����˖-C��7�Ǣ��'9�7�\q����/.9��u��� ��>�D�����*6��g��\ŅC�cH/�{�eRl�p-4��8e�袋��QGe��%����sx���s����"���/bP2�U�Z��k�4�D���o&���կ~U�e^W(%���Yg�e����I�vm�d%Y1�8餓,hO��sH#�O�������?N�>}�d˖-��.��n?��L>�eaEe�B"���Ů悉%Z��N�c2�c�L�8��O9���t���ʕ+_x�r]�� 6���y�L/ :$"�!� �7>f5I(�\���8�S� ����8�1�����o<,�֯_������yqawVH{�/)Yx�t�a�ռ`���C��T����h@�����klY��|k|]����o��DW])�`�{��%ԇ�@`����x�X��~���2O<�����;{i��^~�e���c���-�d�~� ��;z��U� ������y|_SS?�ռ�n��z��Gy�C%� ��1'��%�x��u J�b�����=VQ,�3��͛��'��_�e{�A+�o��]�Cn7�x�5k��U��R�ۿ����W@�O9�5�<�����#�X��-��u� �n��f�Hv>����>�����O����n�a�Ò ���/W�Z�����3QB�U��Wc�� ��i4�[l�;H2������w��� ��5K)��>��T]���c�s��Ԍ�T��\�qַ�?:�|���7���_� ~�����i�����-���N?���3���Za��M95?Q�4٧ю3�E�ݓ�1�)�atc�sY����PRr,JdSK�����~7��϶e��/_ξ=۪$��A�܇�����|�%�L[H��j+�d��+��f��=q�h����H�����J)'��� U�$pak�gb�࣌U��3��]��7�zK`mq�w/��w�w��.�gb�:'i�[�o�-�d|��lU�Z�B/�E���=� ���F��w����|�B>W�x�D?��Zm��JN~¢ � �ޞ{�¼�k��Wt_-�+v�Y���,�� ��;{�\u�Y�����{���H�s:���p�ϴKyV������T��73m���K�!q�oJ�T�!��F]]�#�T��"��v&~�9���.��C+��B@!0ktf?��W兀B`����ʪ�B@�����_�B@�9 ��C+��B@!0kD��n~U^! 怀�~��: ! ����Ϻ�Uy! ���"�9���(���F@d?��W兀B`����ʪ�B@�����_�B@�9 ��C+��B@!0kD��n~U^! 怀�~��: ! ����Ϻ�U��pq8w���Ƴr�J�o���'��~�����O���+aj'= �sJ��>��Zsua����;o����މ��~�-_���SO�f�mb����۟}�ُ?��W��{�i7n�r���c[��������.�� w�i'�55F�O<��k����3����[���ph�����z��x��o~�a|���e"����>{�g�/�S��y�i"���'�|��/��jp��;e���{����ph�S�_��i���վ��kBs�1ݥe�u�}�uϧ(�g�}�������ҥK/�����ߟ%�p�*�x`Sj���˖-۰a��u���Y�&Uz�T�٧ڲ��k��v�QDvP{�-��O?���ܺ�#�`���A�V� ��|�dnz��2ZT���'���>�ƝK�X����p��~���2WΓ@��D�_�� ��L'3�R��!P�I�"��4t��d�� �}�l�2h��|*�z�EF�x��Sѓ��G�(i+�x4�]��7��o�H�;/z�QFa�����u�Y|�Cb�W�ee�X���DY����R�3�=����Ex�V�Z���:<|U����R���� �V�r�A��{��֩��-(������n�?�79�K�O�1u5������T-U��8�����7`ƥ Sg�r7��K/��?썽$�U�n� �B��<|���2o���ZJ1Sj����T#���OC2~�,�Ӊ�Jqb8 m>�!�}��6) rF�Lc��y˦*���E�z���&;�[h��8MF1��J1w��������~2]��j��K�I#����V� �a���HMm��ڪO����~2��Q"�f u��{�3���Ol �{�٠��Q�ɉ�~�L,x�����=D�����=�v���N���W�|��|.�*�+-�al�屹lF�B�MV����r7�����j)ȼ��Iۨ�Iݢٯ��x�_4�[.�8L � E����ᛗ6qq��?�e}�SP� ցr[An� /.�J�)�SN7�Km����\�L��<�����:���LDy�����nK>82�r�)~����p�"�����ř�4'��H�D?u�Ռ���|�O2�MN?D �7�x#�����hժU�g�p�k�[�� �ʤ&� Bg�q�s���裏欽�X�� ��`X��G>��d`q}�[n����E���>���=#��4�՚5k���=c����g�\�dIS!��<��c7�p���Qg�L>�_=o�Y,����q�{ ��ʬ����� 7m�t�QG����� B>�f�/�&�������;�~��7�}�m�>E.���V��n/C���m���υ�KvD3G�E�.9�w�m�g��m�3��o{�uN:�1�&����u���?��7h�6�;��L����!V����>��J�F���V��,���dl�K5��T���+%T���(�'�t��ϖ��!�������� ���><�*1l�þC���ƍ�ɯ ���HF�aI/�!_5fx����Q�޻R�G�]�@=i �O�U��\r�% `��� `1�.}�!��V[hh�]Ǘsh��.-@gJ.[�ϳE�}}2�f.�Ut���.X>"�`P����b�0d�y睷뮻v�F�ʋ�XuYY W�H��w����{���e�]VTq��>��si��E�w=4���.���~� ���>�*b;�������_����gQ�-1�sGp��H���SO=��-��m����ù�sa��ݱ�s��$0>�2��~��8�(3�%P�bn�zH-lA^c��"��Bl}�� ���h�� �0Xl>,�;k|?���fm@��㌙�ޙI���c��.�-�8��L��>.�]��. �}˿�c��TVV&*B���b7�[�;#��u��دyCzb֔�b����|�,1ZZ$lH=t�2��dޘ�q;#� A@��U��#�BҚC�?z���1��n~� ���ţu�oÖ?� [̂��%wCs~�� �dN]��~Y�`��%S����<#�,<4��i&dvႅ���ZH��F���bB[����e�T�raH��z躆߃�a�·�Jl����&�f�ʛ1�v�+�z����ג��l��a�N#׍sИ�]dÆK�����Ž}�P��]�;b��ʹ�w˟���t/�r�3!�(� mS���|�%b�X}Ƭ:m��*Ƕ9���6��+Ы�;.��NV<�������&� p�i�9u]�f��l���-��0����&�1�9ݲE�鶭j&��B� d�'EB@!�8"��X�B@! ��! ��H�}� �� ! ���K��B@$���>�V���B@��B@! G@d�x�zB@! D��! ���# �O��U=! ��"{�B@���'����B@��t@! �@���o`UO! ���^: ��B q��wq-fIEND�B`��aDd���L� �  C �A ��"��`� �b�Da�3;]I)!| �R��X1� a�Wn�a�3;]I)!| �R��X1��PNG  IHDR!�"��sRGB��� pHYs���o�d`�IDATx^� �ՙ>~�‡÷�(���DK�[q7Z�d�L��eu�`� טb����5q5D�X���W� ��F� ��5d��I0w��C���)�0�B �����3}�����}��>� ޹s��{���y��������ӧs�� D�D���"��U"@��c�� D *�1Q!�z� D��>@� Q!@�� Y�K� �"�+��ϱ~�I��$�{�W�\�K�"@�@lD�1����9��� ��%9�?+��1�u >�"��@��23��>���������$���"@�@��"��-3%A�A� N��1�XG�%4b�׉ �A n����uK0=�)���WJ��,�H�`�h'�dͻ�K�S���f����3�5 �V�������5�1�A:o��/��f͚�Ǐ���ꔏ�����(%���)�,���Ssi�#F���0~mV>Q �cB�T�0 ��� ���w9�0�����r��7�s�9�B��c��ϊllYG�E��;w�+.�����7����^WWWSS�رc�y��S ����bG�پ}�ȑ#/��B������g��شi�'�|�L-K���Ǎw���[`��ʕ�'O�,5�k(ge��76lPZ>q�İa�j(�-�5���^� &���S�L�tZ9���҈��������}�ݥK�b� H���J���?����������Y� ����e��Y�/jÇ�����~���|�+w�u���9�fQ���͛7?��s��i�.���z��rҮ�7��t�Mf-�V��z6�� �f�,Y2u�T�Ke���*���ϟ9s�w�X�ΐS��ΤI�|)��B����+��|�Y�VT�e�g���W318��_�Uww����,��_�� . ��P�gI�~�a�[�/���- Q���Oh��������k��{����w��ǽ��[ɇ/ `����Bɸ���š���|�g�EaP�v��ނ]��|`\U74� `T᭎���*�ZѮ]��=^�!��b�RB�7��;��x�lي��C.G\!5:�j ��m�U�Zc�E߸9&��+�(� �\QHb�#G6��_�ŨQ�B�3Ī��җ��X�dK�M���Y���*��d-�Lj�" ����߉�h��+�2dH�� �Bh E!VEU��Oǽ#�]e. v���4�=�x�1����3f��-�9t��֭[���+�#69�!��X$�罍M>�Ao���G}�d����握<�Z޷o8f�С��v ���fv��K�ixY �X-�f̛7�P(,_���k���,+=`N��J'�*��^|��|�T>��^y�k��%/�� _��M��� D c�[�n�ʕh����aǬZ��׬1|_�Ӛ�wU�I�䍶b�!��J�#`ŵo_W�zx# D �`�� .���_YzU����E�� �p6h� D�$魅l .Đ��W��L��I�%8�&�LWx�F�."@��>X���K�K�{�c<Kl��_M�< D ~�1n�'-�D���O$D�T�9�=�/��*�K���c�{���G6��Գ"@�G�o\9�QG��� ���gϞ�u�'�08ٝ�/"�ĕ!� ���!H\�r�#\����#�,v�"/�/XY�$���r��E|"�����7�7، #{9|U@�q� g�`G+���|���D��l 0q�9�O��܃0b��1Q�+K;�*_ٲe˸9&�ڤ�D�T���WV�\2շ$ 5��~��T����k*^��"�׎���Qr͟A��+���� ��f�@��#B�NϏ�MunkDO��j�Z��ۤ��J[,rF*$+'�E ��Z�cܴ��1�Uv��̶�b��C���]�C�c&��.\�؎U%8<,�y��:<'1�}#�f��{��Es�|̏���|�B*���r�g���e�@l�O�Sg*�>�Ȥ��o9�s,��*�I�O=��#�<����u��'�p% �y�& IjxEt���}}�"��-����H&Ēa ĵi�&��>���0nܸ�>�����^{-�zS]Q��4�p��ےfW�yf� �-�7W�pƠ��:�m�SW@���͛��&t\�����q�3�Zްa����Ǐ���}a����_o��3� �N�z�tuj ���I85i'%q��qY@EL؆�k���,wz�L���U���7fIT�f1,�5��7��D:��" �љ4H*�)i<�J��zw\�U�s��z���b� �y�ը�F&-�ԂTO>��}���QF�qT(�'�l����,l��΃���r�B.��r�<��� �(�{�=l< ���O�N3��`�29RX�['UeB��黹�&�N��<���׻�n�a4_���KN&ė�Q��o�FI�\ᅾ�Z[�l�H��v�ȹ��������{����ՌȚ�y�3+U�i�z�F�~_�x��%C�������'.��6eO�s���Q/m�Q��q�#�� ��4k�$K�oܔnB���IInsג��s6I��=�7O�7ŵti�����R ����l%�T����<.�֯9up�MӁY�&�=Ǭ_���_��8M��W�̉�%;&i�e0Ÿ�A��G�S�[��`X��� ��c0�[��w��%��7�1 �����*��o��`,щ���ckq�^�k�,�Y�õ�gy��,�������͵Y�� ͓c*�@;F�gj���2�1Z`�/�nX�c�#Z�;b�7���RB���'6�1��k�!��=��G�f���a5�ޖ��¾yjţ+�t_��+~'��4!�O�]��Tfٗ�n��Ji�+sS��/^�}��vn˛�p`kl���A^N�c��6�rD�|�y�>�oL�h+y�� ��Z�5+��`����d����-~�`�cq�s��l��>;�Y�=85�Z��s5C`U1��,��2�߻4PZi���M$�S,�y��g �����l��_WS@ ����c��%�5��T����3rdCccc)�39�u�%����h����c�Zhѩ2��$i�LD�oٲ_��O;�Q�8�YdZ[g�"������ٙƑ(~ED��Jʉ�q�<�&M�����N�qM����}��En��q%@R���� �He�9�^���%���ʦ��R�>)<���Q"v�8�:�g�"@�@V��M�D���!@�I�N( D +�c��I��"=8 ��C�1np!�L(��#X�"������2�����G:lAB��p�e-D��T!��c �`9h��k�ˈ#^���n������J!U���"@�A`ݺuq���+j$Ǹ�6r�� /�����5jTpy  D �`1�:4@[���4yF�|�lٲl���s�"@��B��DŽ�@��%�y~L���."@R���CS ��#_Yhձ""@�@�`�r�: J���"�N��N�Qj"@�@ ǤAK��"�N�1���&D��rL�D� �D��N�Qj"@�@ �xh��c�Ѝ)#  E�㦘A�%To�"��1Z�����q?�+�g�j�@���,� D*9+' A����?4] ���͛��ιs綷��V/+28}�� �j�&,�t�C>�-�K�a���z�7��xf��7Ү�P�G�ed*õv�Z���!�7-|��85L�䘡h���"���.Nƍ�f*Y���s��3o��`�:�̀S����:v�X;�y�q����;�<��#cǎEn�1c�h���4PCCtc!��I���"y�ll��A��*�f��j�W�:їN3qB�ѣGQ���.&�˗/�2e�΍� �G��k�S�N�$�.u�;���]��{����{�@�f�1OtD�R�:��d�~��K�r=&4-#�?�.gd�� ؼ������}�O�-��Z�l�]��.��k�� ���?f��e^l^R�̣�t�Q��oB�٭H�䭒K�� <�ӆ�%��;���_�gϞU�Veጲ�݅�; ���|.����0X8zz�mo�^0��ʟ ��{���1���b��6�v��+h�]�P�9&�*ɔ26��a�����@�� ��c�G=Os�&��U��j2o��sY�!DŽ����.������'���T�&��.�9��1�����`"�آ�VE�ɪf��.["���g< �V*7�[$�H�K5Q�d��Ϩ˗T,�ؠ�փ�n���8Q���?�r�g(1l�é����j+�\sf�{%i�4q��Hˬ;N��s�1��Ez$�bK�ܨ�r����*��9=ݶ��ry�{�*o��$\��-�y��UĩC�z׬�� �������'-����Q^ӆ��U����S�*��vr�#��%�3�B�d*Q�U�3� !�L�-�7$Y;��!�#5��|e�UW�r�i����46��4j�"3f�~�ю�����&��R�$ i�h��Wv ���z7�T�.�ԃ�ÿ��6f�1��#[QGp�SG�NS�1�:1b}��A�����8�g R�@����o9P ֭[�1�����|�DŽ��?�4���<f���"���c � c��Kp���ܹsA0�-�MMM ��t#@�I��(= D ��c���F�H7�t��"@��9&�ڡlD��t#@�I��(= D ��c���F�H7�t��"@��9&�ڡlD��t#@�I��(= D ��c���F�H7�t��"@��9&�ڡlD��t#@�I��(= D ��c���F�H7�t��"@��9&�ڡlD��t#@�I��(= D ��c���F�H7�t��"@��9�M;� 8p`��Gو IF��d�P6"@�@� �8�o������SO=��#�������sM�?���X��)�]����3�j}���D +����qmڴ m0`����;}�����y�y晦�&4��[o���{��1�T�@�a������۷_~��GC� �% nQ�彲���6nj�B&u�@{{�… ���/��U�V�s�9���c��;w� �������� �^��[�,Y�?�Vň#�w���O:���KU�s�S&N�(H+2��Fl�K�E��B�@� U�1�w�^�l�/�0��׼".Ѡ�w�}�U6������7oތ�.�_{{{� ������n�- ֭[w�]wɚ�J�R�H��������Jce���u�s���L�0��!k00�:�"]u�&1�+|�<��%���ǏWM;v,V�04W6N����5jԨ�VM�+=R���ENU^.�l߾���߿��ڋV�q�7�t�������CKW���c0$N�4I ����w;���'/���g>�y�'�|���ÆY�e���t�K6�~w��$\G���y׮]�ŧ�%e�P���?/�` BZa� @;&dP�C;� Sc��s��/~�N}��G���ر��?=z4��'� ��ٳ}��PȽ��w�9���7�M�V\ K<��6����Y�8� v����s�K_�������4�1cF=���4,#�cB�#=t�YA�@Fy�)�л+���]]ea����G�K���-N�Qh��ko���\�Ҷ<����c�b�n�cC��g�x�A����̤�J<�3T�{�o}�[0wl;.�����S���* i�����:mh�hC�W�N9�|����w��]�z��7�`\p�� (6��`��v{;L��A��k\�w�[����������KW[�IO&�����_�����+fj{�-?JO�5-[G��H0����ԩS���/aI�3��%V�~�����i���L!@� Y�u�1�n��݅7w������n� V � ��X`��K��vL�;:�c�I�Ub���1(��K�o���c�z��)e�G�p����L�����P�\�x�ƍQ�\⒕�.t�p� ��aC��U�䘐u^�J&���B��瞓ΙK/����z�=c[o!�^h�^,w�UĔ����wYYA�[�O1� ���@f�{�קDc�r�]����绫f�K�V� ��T�-,X�v�Z|#����؁��VYL���Ct�y!�i�.%�cBVT�pL 6�m|�A�6s���/�\r��1X '��P�7L��b7|��Y��5�̈��M�M5�Qw� {KV]�Y�䔋�-UW��Q�F5f�^�f ,H��Gn>�n�QՍ`�D����c�+����e�1�b2�v֬Y��0��K'�C��}Yr���}�t◄J>=��ǔw���T�گ�xk� r� ^��q�_�T�����)f�[v��c���g�^�if�cd"����^{�]�?�Z��ݱi"�i���y�$�k�N�����#�@�I��--\�/�>����?~�����"b��ؾ`q?�l� 2�8QK%�Y%� s � >���n�� �7O8�0��Y���<�yê�<�h�}�9���J��Sd�ǰ�l�U3'��� �;�hI��hĠ��7U�OޛmB� �8Q�f��t��+]P#` [[�6��K�x� ������kT ���M1>��8 ��8��M}��{:�=�G1�}A������Ih�]+�[C�8xG͹̉ ̹�ZZZx�EzDZ%�cs�['n ���U��A�5�J#����EY�Ȟ~� ����6� *�|��@�掾�*�<�U����Pd�(�1.>����J�㛓�G�o޻��EFm�)N���Θ�8��j��0�!5�N�Rs)mֺ���'u,ҶWT�gŊ�'T"ɔQC��G��~(���v�|� _�f�����<4��l��.�vVsoM��|h�9 ���} � :��ɽ�҂�������F}A'c�_�d�O��%p���L�;N$K� �,��d���yӈP��hi\���`�֭؇ +G})��O7�r���W(B���c��l&h���c�J�Q)��v�j���;q��>��I���% x�5�η������NJ��0i�jρo "1B�eY|Q��}�o���1'���o���QH�Ԃ{���Aq�����%u/*ժ?�B�}߁}���o~�9��{�.l����\����4k5�� �8&*��Yo�8�q��R3&w��1ԠVĄ����[$�����ɥH(�����y�Z}�!F��>���mG�9 K�'M�w��H�����X�q{��N�m�;:�2ɔ� �x����F7:z]F�4��%��=gNj����lD�+����������u��� �K瀑}��1!�8u���兩%>���?��G� ���v�W`�4�ΐ����]�x�p���'ϟ����݄�)#7��Qb\p�X{�k�1�=�:ٍ��� b3 ��CM�t�'�>�5��`&���8mL1���VY)oO�U��QG��Ӈ_0>1��-^��#��$�r��4�����'�8����E�J]%�Z_lt_>7�mӡj�����Ӕ{ �"NzѢE���!U �⡑�����l��ixt�B#]"���Y��t���{����*鵐1����ڻe��?�h.�1ƷM|�ֱ�_.M��2�a��@Z P���ݠ�n;K��-1p f©e=��΂���S����Ҋ�Z�1y���7w�? ށ��L���q�����˗�j��ۯ<�lY��*��Tw��f�tt�0��.h�l뫮L��D�����8��i��k������~�F��"-��n����K��R�1Xq�L6�[n��9%D�����#�I��X������z�.�K�h���Jr:�������*�oN�f�� ��u���Ǎ��(ϛ�����w�%�Ğf��� �ҥ� *f�^�3�J.H�Հ� ,� z^f����3��#:]��y��9�6f,{�d@��1�AS]]Hg �86o�I�0_ _����U��pU���W�Օ�m^��׫!���h����ͼPT %e��Ql���s ����ٹ ��v�_l��>�I�1�zxZS|:�|5i��a+��mc>9JDŽ�if�s„ �$��hclM�����c ����o�^�z������>}��'5��S��"�B��v�ڌ9��G9�|wI�a�w��7(��E�ք �GDH��B�va]��5�W^� 6���`��?M���J���X�Z�+h&�U��REU�sk�3$�*sGEE�Wn)P����8q����iP�kI�c��F��N�� ��|n���i�GaW���2En��ة"���A6,�}�TT!��� z(]"���C�Zv�(��|��1�5�ع>ߓ��͙�c�M�{c����1�@��S���o+ Z����l� ��da�OZ�ސl��H�,V }e �:��c���c���<^*��c\m�.c���U��M�`�+ÑZ ���6��Fc�49C�>�v��Ā��SQ����ZZ ������/�������8{I ^ÓV�@k���t2��ÚOD�jD���� M>9���\�da��h4`Sk�Z�k�f��l��P������z�P�R��{��g/ۼY�������1TC��- S��f����K8#��C�;��4����0������/�|��,ok:kD�h�� Mj-�%��E!�9�2��}�������df|�!��2�t�& IB[G�p8F>ɖi�������c��w��Ik���+�k0��"r�Uk�h�!��1ñ��gl�U@�Cߊ�:�v��T�Ct�.X351�-��1(Ը,���Xל��9�ӆ 6�g�q�� C���_�_� �<����@�J�ɧ��1.L�I�l����"��{f΄���K��+JJ��A)S��j�A<�oz{�˜��$8frя�rJ��n�6��a��:ƪ��l�Z �U�k�#3�\B���EQj���?!��'�|����0F#Ww.��B��r��.v �sL�3M9������{�����K.Hm��u�+�!�x���(�"��p�\�18�y�J����U��ƅd�it�H_YGG�aW��.55�D��̉ ��?� �ױc�b�"�U��<��4�/ ���c�i��1Fтb�0��/��[����+ }3!2�翁P��x0}���ȋ����BVq��7��H��0hĤ�"�<\X��#>�n�12���)`$x����TK�$�1���h�D�� �#6Zށ5l��q8�z\h�����`� �.��ۿ��څ ��/mm���a��Q�KD*�ʍ��<2��T��l<�)>e������[##���-K��/y��Ki�)`��MӹZ��[��m�6����,2݀ʺ��.V�����1�������zj`��Mx1/C�tq��)�mS�ݒ4eN�*�$���cv���iN���x�{M� �[G�̓&R \;��r�!�*ư'h�x΍��t�SF�qa�L40}��o�q�Сȴ����`�c���d��K3�5�� ݪ�{�pV�Ҷ�ŕg��4�2�%���nȳd��b w��c�X�{ΕR 2���V�5~�)���ܮ�Ȇ��!y}R�^2��ꫯ�УG�"Hz�̙=��\�afKW �c|�a.�����؆����k�.b���m�)~Ee�{�}������G���4��P4^!r���jdș!v!��QʯNZ�K%`�E��^S��”���U�G�R��'C���>��F����u�]7{���v΄<����G$Fm�����\��XK `���X�7�%�\�O<#B3����� #��U*�Q�h5�I҄��2R �Kn��\I���4�[9F�P;}�[���`,:�k�[����ᅬ���²����U1\}�����J�D2�1|^3���F�-60#L���\�^h7#�G�XTc�� ��j���)w��Jc ������&�:��0B�Y8�SŽ aJ����S‰��i�I��R��]�#me��YV#���� � �_ l�㟮�B칑��g�M=���PbY.7�U����x���S��DZʏ���o-:y����VX�c��l��҅\‘g��3F� w����rv�/�Рѯ�Rg� �c�a������'vt�5�ԩS��o��c��v ���Y����>�p8��f":��3>�L��aOp U�R��9����>�el�3ҷ�!)]3�L�ov#�q�6��ް9=�����2F��i2t����� ��U�}6�ܗ�.Nj¦N$ڐiƏ?q�D��g�>`�&��I��1�^�@�=��Xh��W ���vz��T@��# �y!��)2͢a��"��T�-n��s�����es�e��oR�S��� ��A�l�p��80Ǩ{�f��l�uP8�?0�5��^��D�Ĵ�x#8���]�3]�J�9�|�,hF8�`�c��h��:w)9XD� �Q����Y�ڊ�y��ק�~��//�g�����sFp]0u�?��%�)j����v���$M�te�4��F�\�|�/S�f=�sA�����x5c�(�te�xF��t S{�B|)�_�CLj���p�b�4І��H-���핍�A/��\;K�&��e�� 7�m�����M��̻�D]�P�ԻLZ� ��p�����yp�'S���L6R<%@�_�!1_��&B*�2��}~�#����pl�� vA���2�o+�Β�j䰂՚c;�Mm(�R�=[{��{|#ғ��T������Í&��iܢ�� �� Wx�h�a���I�Q�����>�VoذA�-�'2� �3N��mv�o��k׮�S�1����+Ú?8fٲeQ���f�-[� &)Y���Dג������SԈ��ށaU�ō5�eZZ/ ��X�n&ׁ����WO=��ⶥQق�'���ʁB���8A 9��.��U�3Θ��b������p�bYh��5g Ye�_ƕE�?���n��k���7��U���x��pg���2�@S�5���w/��z�J�,�#��O���1�bz� �ȝ�H�0}@����ʑV���72;��`�.\�����՜S X�<��m���{>���k<�,���b�'���`KGҎA��(ܠ��/��EcXh��l�sU ��7�(��ȼi w.��(�l&(D8�T�E����O1�h �r�&�R� �ԺF��5�ѧ�Nť�� ��8Bd�h,�`�8��i☐0���ӟ��ꫯ�������E�=�1��6��'��]XAh}K5�����^U �M3y�E�/�|R�X.W��m���,+eyT ҁ���K�,���~'�Ew�&��ŁG`1��Î�/%�1����� Y��-����kb'�p7c<�J4�0(B-0�Z�2@��G�X� �/��c�J�j!��g���4Eى:+�خZJW#�����?U<7!���Z�.>���(R�,\�/�~���---�А�� v�<��2���t��1��?����2���@��*ד����w��0�*v�l�-�@j���c�h�I���@E�F��nSz4�R�]��!��rX���@�! ���F)�n�2^ ,��\!�v�����������3��,���Z\ T�-c��e�L���AJ��S��d,����3�΄�D)�(D)v���OE)Rꖻ�º��[g{{� /�D�3Fl��������'����31�̼)�1b�M�0پU�щyY('��U���-�7E;T@����R �\�� �Nm��|\� K?���š�$����Hr/ե�^�Pkk~T�u���#P�f��0P���_(���w�� �O��c��?*̛�{i hF��'�1X=�P��4���X v�c/,���j�f���z�[��߇k��!�f_ME�0#`L�E�H>���pb������{���F�/�˷�}7��6a�3��d�jx���5N:���y������T<�������cj o��T�� 1� Vm����F�\T�X��&�$\4�@D�9u�S���\9L�Ά��pd��9H�\,�Қ�����A+�Qt=ӓ`,f�&�(oX)ۛU}��Gو#�ď:��z�AV�#y�;M�oDŽ!U��3;��A�����Wy�K,��r�-_��MecA����:D�4� ��Yb��<��"�Y����Q��3ę4��Mp'=��9�����1��b��:��\sp�|5�+a��D���|,�1�ĥ�FV��"��0Gh��`N�����L��~�/]��� /)s�#�!6`V�U 0�1��Y��/�0P��!p��[���W��.��b��v���4���l44[�ٝ��844�z��s�_��Bc�ҥ�Q����e_鯼�c�2�u`I�b�?��Q��Z�Ǜ =�*�?�:�;��P��#p������� �@P�Yds ,�"Xҹ��o���{���#����oVS$e�5��I$�lSa��T��<|��s0�Wp�'e~}e�c��Y˘1�x� /�S��t>���gՀcZ�����K�Z |h8�H��&Ϟ�\�g�YϪA���j2�A*�1p�a��M6��=!�Φ�?�WF;�M�X�G��Pz��R�EbC�tx�`� י� XGp� w�4#iC~��;�fb��k:�ϛ�՚b�sF͚2��HC�@{GG"��?�D;&4�òc�Jc���pk��NVTO'�^ _��\�i5B���9��X<�X���R�S�������]O]'�#JEn�g�юq�%aY8���F�r����k��a!p�[X62�Yٹ���5������?� ��Β��d�X�R�`I���zɹb� ����@Y� � ��[�1�ha �V�� 3AWw�Yg�#�h�e�@��&w�\s`�ȭ� 9�K�������\3]��/]*�X#��X���X֙*�����Y��y�c� ���@��m!�d:׀͚��N��/_��Ua����>��Ӂ�(��b� �ȍ9s��37� >7;�i{i0]�sݶ#ۮ9{��gc]�V�i� ����ufX9u�9ш{�:���+۴i|e��2r���Y�~����:|��S�"0,��r�W�߿�֭��-D B�9Fdo�����c�*I���� %}�Ca��Yu�17���F�<�G?���Z��Q�����q>^���.���c����k�ͱH���e���">*�Q�L�l,9��$�v�.(�,�@ϱ �����*��`��9!�i�\S�������p���}�{0b�!�d|�Vf���3�s�=� ���ws>�T(fڴiW^y��{3�-�@0B��\ܾ�Wck1�T4��?�XZ�̻��+�Ay��{�m� c����}=ȫ��;���B�)A|,�( [�.��'0 �yZ_~�e�ٰ���$4�5�'J�����}��;i��<����6fZ�_��!m���Ⴍ� ʀ��q�"H��|�O�?vYf��\f�g>����, �dX������)� ��}�C�d7,�>J(�;�`��m��1g�q��/r���b�3��* /2:�ʒ�}���+�r"F���4��c)�Nv D%yH�����G��E�|��@�-����-�wdk�V���X�E����nyÚ�[��7k�'�jp84~|���4�w��*��I3������L*@ `����t��3ͷ.Sr��>�����N-�@y���4ek֬�!6%�PL" A�}�Q�b禀$��2�/K)'��H4�A��/p����⊟ryU�{��2��c,�W�b:�����l�?��Տ4'N�x��7�:0.3б!���� ZkSk߀�;]�;˼����� 7�NZ��D�c#�Y��}�Ƴ$<�"����S�N���?������16=E��@��<�̸q����W����_�S!+6�|� _�����t:5� H0j�&d�:#U�q�g�Us�8��v|��L�)6*�)�F�w�g�Q�%�t����]c י4k>ō��r 8��!���/��"�g-��V=�1�wa��}��8�n��MN���X�$9-S�O�1��YS�U6��=+�,��`�f��L���КZ�1[�l��Þ����v��/��U8�/��T��c0��,��4*�2��@�$4��4q��k��`���Ӹ%�� ΄�B���T�@���c�������qU�N�NҋhAQ�N� �HE�2�95J�A�ah��1�D+��2�&r/�K1}% n?Q�@+��-�S�!�.�l�ϼ# ��?�8� a3�u��2D ��w�gd��� S�L9o+�Lci�q���(��8��>���^�c�}t�aMK&��]��%�����n�1+)�Y�ȃ�ꫯ"���.�G�| H,� ��=�ǿ�9 *v҈�j��m�4͸Ea�K&r����jK,U ��J`�������XU�Ҿ9;�r7et m�Z���d�?�ʹ��;�,�XP,"*F�Ta����S���P��fƌ��̅fJV��[�=��G�*;�Q��mZL��`�`��>�(�� ���G�����@� ��eb�f呕�vW�TSL��@��kKv��<��g�`�z���8l�0,�;���K6&q#`�� ~3��Y��ힱܢL��k�2qC��jA0hO�v��Ē�Ҍ�˟��3��+�z�_;R"�Lܲ�yD U�f�D�2�sQ����v���>+��x R1�ŋ�Q1s��$P�!�1�U���u�.���[���%�j���8���yך��H�m?fnNB��D4��=���"��,��7w���oT��7��p예��`� �E��ڵ 璍;6�-d��@��<�fl��a�?�Ȁ�~��6!Α��ʹ-�۽����z�0�{9EZh�.-^5E�������}8������/��_�u$�oi�39]���<��f�=�4e�U*%K0C{� ��~���� �_��E0��3��4��07��ܻ؏��3�c��}s���h��gr眛ÿ�s��ۋ0�e˖�����/~� 9g�����hY�2��ꡤ̉��Ԅ��-/�t���={�\{��䏄q��H� ��.;�l>7�8W;� �4�Q<��3�)*> ;p����W5殝���a�i�2�������w��T���^�N���� �?���:A_��kʔ)�s�W^z�?�я��{��d�ßq�X����ejg$����#��C6�{M�}Fƴ|1æˍ��ߋ��R�W���S������[�sb���~x�.���ٳgg6�č����Ih��]}6m�²��8����ڟ;�O�لYsq]� Cm̉��uh�+�<��$����@�a�]$��" d�t�cd��4q�7F*���ZE�M\_6��SH�a��S8�.{�T''�����ƌg�'�ED "ଖ4���1y�r�3lJF1_�Wc� ��jm6ۖ�;��᧡c;\@d��Tf��Ȉ: �VA������L��4Jn<�?0o>Qvk�j�Hw&ϡ�vV�����RMׂ�ᄏ�4v) ��P �x���sԨQ�Jwd%D��=.� ��MpL�N���fجܝ����� ?8�L>hLg'�Ӕ�ܤBE����� �c&L��^X ��U������b��X�k5Ȱi��ɬ)�n��4���&��>�����'�� �T$f����ޏ��˿��.�L�@%�e����g,Հ+�����l�\������ϛ<n~�8�F0�3�{�����#@��Y�8�lǎYF��j���D��B�` 0�H�y���i��g�)�ц7O�]|���F\���:�ctPr+���C� a�J�8�~"��� gf�`�� ���]5�E��-�'ܤ<�CK����5 %��,@"D�.�Xg1�2c��ufE#q��Dz�F�0AU3�r��p�,����x�gh@�b�:"PWh�@���ex�����xD���>ԫP�nĞQ߹�iDŽ���2$p��Ă����SY/l�u��!=�̙3=͝��bED�x!��ߴ1�Z�Zev��.�(�YT��S�i? �b��0��H��c��߱����+�e������� 2}�tK�����Z�p!Rȴ���}��U�c�L�@�`���qQͧ>�w�ԩS���:��ss���:W|�,��Nl��Ӈ>��jM �*��!�眻�����k �<��e��?���x~�N�_=!րy��w��0�e���p�M7�:��㨋5k�`�˭������8ݲ�������+V<����_��C�(�"D f�1�Bp5�����E��g@0�I��~������#�h,2nd�9�iY��/����^���?����4�N�qذa��F̬Y�F��� ��;bu���'�~��89�6��ȑ 8V�!}�Y�����-�+7+1ر����� ������4_�!��|�#@d�lGz#�fvi���1�E]@w�7�<�.�uM�o!D@�U��3͚5�t�ƶMD���[��=<�D]g_3��#��>,�s���N60p�_�7j�s�0!�&�,Fj�@�a�+-��DΠ���cח��"�:`���q�e��i��M��6�f�N�i�����)���r�e�]� �F�@M@v�R"g����döM��ٍ-L;7s��� lo�^F3/�<�X~i�rn~�Q�a���Ҧ4S(�Ş���1���~���{�g� � �0�F�@t����� �6�7���)�s9�\� ��l)��{�������^_$*������c�ܯ��w�qG��y �B��=Cn��C����b�[��1�I�=ÿb�g޳�w�;�F�Z��D�H�~�O�tc�o�����uժU�ɟ�ֲ�D�([�h6�:��=��`� ˗/�2e��Ch��cŒD�� �`e�ʰ /Z_~L���nx�z�4�pq> ���k��8xϐ���.rL=i�m%D���_y�Η�(��X���%O0i�ϵ�`��G���QW4C��;G�(!`!Ú��3��2�p��y���r:����& �f����2pD �`����^�p�b-D���i���|~j�Te�Ȉg�`���f�&�g�O7ϙ��ښ�`T�rf8�]u��y�<��"�h$ӘOU�� �at-k6y���)[���R}(;N<�Z����ѣ��Ȋ��}���R.���q��R�,���ihDŽӅ�{`4�,é��"�Xm����f�,kˉȱmG��:%N�-;q���� $X�0ӎ ��:L�i?k!D@Ќ��׸q���������h�|�,��U�,�׎�LG���襗^���kQ���!PK���,!��2��1CE@瘮���p����v��\ `T�Mҵ�z���+ WH�C�q������=��&M� c�ݰ�� ��B�e}LY���B��[/qd�B�3knMW\f\~I~��~p����� ���NBkؾ��a�ͮ]{V�^�a�È��+���s�nذaɒ%8�r�ر�(S_�[K�@4#�`� 6X��2DJ�؁1]]�翴|#����C��cF �9 l����!C������.�k��c�1�����۝��rb��E�蔼��� `� 0V��?-�o��g�hqCe��{��>��2�P���:k�>���d����M�H�4�i�L�:E`dP��k7 Gb �e�C\@{)sZ�a�z��~��ZN�r) 5B���4��Ԋ�}�ԓ��>��2�[&�K&fl�|Lc��ld��g�::�;r������ϿF�(K2�6�����D�ή��>�9��& ����6�&-2ld��1���� #)���ch�d�Mf3�@pp��-�+�f�Y�u�`���3g�q Z� r9�5��/���}9�1}�}��c�v)�'D������4? 3D,�H^ЏH6�42l>�E�̈́� �)#3l���1�p�هZ���) "@��:�<���M��KZ���Q���p-]*"��*F��cb��"D�H�C�bg����d��u��;jӌ��r"�e`�|pL�vL�c��[� !# CX�#�o��a���S� � Y��#DŽ�%k"D�h"P��B����C�2>��5c�R�t���jW�S;��d"@�� �¹r�P�i��v�cҦ1�K�@p�n�f���y��=s�q�'�e�3_�5��9&9��$D���E^E,����+�g�:�Ƕ���G�I�N( D���g���ʰN��kA�m��ÓS;��d"@��� .8����BE�I��(6 �C�9y��ƶ�7<��У͏��Ss�cR�* J�@�"`�.à�$@K~�9�~;-[N�@���f ��4� n&Ǥ��Qx"@�qF�q�3�8�L�KYF�����"�^�7CbMq�L���P��]����<�P""@��2��ȭ �1�i�w{ ��11��G"@"F �i1�1+��"@�r���q��Q�u�e�t"@��6�G�p��]�/^�dɒu��iCʂD��� ��5���6mڄV �/���������O<��c���Zv� [B��F`��1�ǀ`�rL�ӧOk?�� bs�7���͛7�����766ʜt�� u���={6n܈&?�����[�|��)S��c��az{{� 6gΜٳg�`��K"+�<�s0��l;@��1��a=��?N��s�o!D }DL0@0�� 9�1�y�� ���< D >��w�����r��_Y|}�O"D�$�3or��_Y�5N� �E��\�P2"@�@� Ǥ]���"�\�1�� %#D��rL�5H�� �E��\�P2"@�@� Ǥ]���"�\�1�� %#D��rL�5H�� �E��\�P2"@�@� Ǥ]���"�\�1�� %#D��rL�5H�� �E��\�P2"@�@� Ǥ]���"�\�1�� %#D��rL�5H�� �E��\�P2"@�@� Ǥ]���"�\�1�� %#D��rL�5H�� �E��\�P2"@�@� Ǥ]���"�\�1�� %#D��rL�5H�� �E��\�P2"@�@� Ǥ]���"�\�1�� %#D��rL����s�С�+��"@�9�O==='N�H�b( D �c�����p�g80ze� I@�S��1cƀi�W�N��( D ��c�u�Yoooz�Jɉ I@�S�P��]Y3IPe D����sL�~�l����,�t����1�+���=[���@R���� ���E��1<1���ER�i�R�V���?^}U��P(,X�nݺx��) O6g��ŋ-B̺���V>0>��S芉�qŊI}��߆�˖���_���$r��b�W��,��������X��7���K/m޼�V�?w߾}IO �q��իW'9f=�0�W02�ڵk�ĉ������~�v����{/�o ��lxY�zkSb% ,X9F(�[��tq�ȑ C�>|x��Fz#�5jT�����#F$?�0�0�ܹs����{�ˬ^#Q� E�a� -6,�ڒSO9�t1NM��L � ��#G�A,�{��x�0 R��T�p�=ZM�7a������S2�1�̠A���1}08&y� �kf�� �$k�j�a;v,v.�9fx��V���F�+�vL���j�{�Zb�\\Qk����2 �� j������|�;�iiiA8@��i ү��g�}������[����S�� �k�����C�뮻N�Vs9���>x���{�Z��E#-���z��? %��>4@��2ă�o��v��j�� �#{>����;��w�ԩS��j(��PJ -C�3f�Z�� �����|ҤI�OL%�(j��T�b&�����H��}��+W��0aBb=�Q�&h���J+ %IWW�ȑ#1�RI�j.�� �d����������=b.,a�A�s5w��AtB)^BT��� Z��O���䯪���͌��z�e4��袋V�Zu�9�裑V��l�t�Y�c�#Čnذ!ɫhBccSooOb���:u*��@���8�>���?԰@�aL�xP���%�+��������eOg�c�JL�S�1��&D ,j� � ����j�Qx"@�@��B\Y��d���#D���,p�m�(���e��#%%D�$�$��l��8�c����~G�����1��<[I��>Y�e_cl! D =�cң+JJ�H䘴i��"@҃9&=���D���!@�I��(/ D =�cң+JJ�H䘴i��"@҃9&=���D���!@�I��(/ D =�cң+JJ�H�%�6�%L^��מ�yHX[�G'��;VD2*ݰު �8B��֥wy�f�q�[�ҕ��� ��_����Q"�X0�́��.{H4� 'q�`� �{����#�[y��5}5yRY��g��Tb��T���s$u���.{��,�� �gr�M?��Y�>A� �E�w`&��HWy��� Rw0=�NPNҪI� t��g�l`�� (|M��C�1:��2u�����\�(��ː�tH�\�J�\GL'K��u�E���Y�R�c�`��b����E��p��fF$�=�wٳ@DB&�Z�I-��dz혤)��"�7 x?o� �1�Aˊ��8J�A����P���:�w��b3�1!�ɪ�@@H0�3ns�����:�7j���:�Klf��2L5"zЋ�`�1��[<pz����� ��W]9|ܱ"��B� ��H������v�U/|o�T��>�_�p����e�F�wٳ@@�Op< �G�c��7:"P��,�x�p��Č�;V���� ? ��Gn0R��+\�16���V�wVZ֕c%0Tss�.�Y@G�T�ѷWܱ�s$�Ae�~g3|�]^"Op< =\�J�;o��'��Ʋ-D �Xx�i4�|�= ��2;�� �{r�_E�< D��"@_�.R,G� ~ ��E�� D@r�.R,G� ~ ��E�� D@r�.R,G� ~ ��E��@����Iw(}�`�r��Ea� �B�vL��Ea� �B��*uQX"@�@� ǤJ]�"�*�1�R�%D�� rL��Ea� �B��*uQX"@�@�`�r��Ea�@�����N�p:b�zd��G��)�%�1 Q�H �G�U#qtO�ėd]������rL�U@j���Y��%��e�##�Ԧ���4h�2ƅ@h&.��"���c�`b�,!�9�w*�y���Fsa�҈��d�*m͕[�uD2[o��ے���ƚ�f�G�-.Ўa� Vl=?����R��ɯ���m5�Y'��K�Ϛ��'�JhǰW��v�U+g�.�X�b���)��飾��\��YN[��vq�Gغ�mu�`�1u��j�4���+7�%mn{�����f���|���h�O7�t���'â�{O�� _�5�E���f�:G�S����E@.TX.ݛY��+�z�<�M��rL�� �@@l�t�2�>6�D�9&XYi��\?Ou�(<�rL�h�Y)F�6\ʲ�D6�i' �S�~�rLP�x_P��|l[RAR��1�h�MD�r�7F,�I\��\���][�D� 0[9�%-�U��mn�j* p/}�@��-�̫� �@(�^,�T�c�_X�$ �I�6(K���D��O��j.@ʻO6ŧ�M��Uu�@m�e$�:�r:M����"@�@h�A��"@����X�"@� @� ��!D��]ݖ����IEND�B`��$$If�!vh5��5��5��5��5��#v�#v�:V �l t��0� �� ����65�/� �p�2����������yt���T�$$If�!vh5��5��5��5��5��#v�#v�:V �l t��0� �� ����65�p�2����������yt���T�$$If�!vh5�9 5�X#v9 #vX:V �l� t �0� �� ����5�9 5�X/� �p�����yt���T�$$If�!vh5�9 5�X#v9 #vX:V �l� t �0� �� ����5�9 5�Xp�����yt���T�$$If�!vh5�9 5�X#v9 #vX:V �l� t �0� �� ����5�9 5�Xp�����yt���TDocumentSummaryInformation8������������c�CompObj������������gu����������������������������      !"#$%&'()*+,-���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������Oh��+'��0��������� ��  $ 0<DLT\�User Normal.dotmpc286Microsoft Office Word@���@��$�@Xq��� l�$Gx����� Rt� ,g&" WMFC�� �n��lah Rt EMF���ah�)P4(�   ah% �% �Rp�������[SO��,���RQLb,�$����$QLb,�$� Id�W$�,� +��d�W%�������������X ;���(�[SOSimunp�Lb��O�B�DG�X��8�W#�����x�W#��+�dv% % % Rp�����@Times New Roman�� ,���RQLb,�$� ���$QLb,�$� Id�W$�,� ����LL��d�W��������������XG��*�Ax� �Times ew Roman�D�X��8�W#�����x�W#��LL�dv% % %  % % %  TTO��A�t�@9v�@O0LahP K!ah '% LdCK�PCKR!��?�?% � " ����% % % % % % % % %  % % % TT� �� ?�t�@9v�@� .LahP1&% % % TT� �H ?�t�@9v�@� .LahP K!ah" ����Rp�������[SO�d���RQLbd�\���H�$QLbd�\� Id�W\�d� +��d�W%�������������X ;���(�[SOSimunp�Lbk�O��M��M����8�W#�����x�W#��+�dv% % % Rp�������[SO�d���RQLbd�\���H�$QLbd�\� Id�W\�d� +��d�W%�������������X ;���(�[SOSimunp�Lbk�O��.��.����8�W#�����x�W#��+�dv% % % % % %  % % % TlO����t�@9v�@O�LahX�Wёy��v�XXXX;% % % T������t�@9v�@�� Lah`�V�[�6q�yf[�Wё�XWXWXWWX;T���p ��t�@9v�@��LahlNEA GaAlAs/GaAs,,,,,,+,,,+,,AT�q �+��t�@9v�@q �LahtؚHewzzIQ5ul�bchV�Nt'`����N�S�c6RY �XWXXWXWXWXWXWXXWXWW<TX,����t�@9v�@,�LahP91,+TT�����t�@9v�@��LahP4,Tl�����t�@9v�@��LahX33108,,+++TT�����t�@9v�@��LahP K% % %  % % % TlOG���t�@9v�@O�LahX\O��{�N�XXXXL% % % TX�G���t�@9v�@��LahPNg٘WXTl�G���t�@9v�@��LahX(1974+,,,+T`�G��t�@9v�@��LahT.10,,,TTG2��t�@9v�@�LahP-+TT3G^��t�@9v�@3�LahP),T_G���t�@9v�@_�"Lah� �7u ��lWS*Y�^�N �Il�e �ZS�X ���^ ��N�NIQ5uPg�e'`��ċ0ON�hKmxvz0LWKXWXWXKXWLWXKXWLWXWXWXXWXWXWXWW* TXO �a�t�@9v�@OVLahP�Nz�XXT|� \a�t�@9v�@�VLah\(1974.07,+,,,+,,TT] �a�t�@9v�@]VLahP-,TT� �a�t�@9v�@�VLahP)+T0� �a�t�@9v�@�V&Lah� �sY ��lWS�g�W�N �Il�e �Ux�X �oRYe�c ��N�NIQ5uPg�e'`��ċ0ON�hKmxvz08^,g�^RXQWXXWXQXXQXWQXXWRWXWXWXWXXWXWXWXQXWWRp{������[SO�d���RQLbd�\���H�$QLbd�\� Id�W\�d� +��d�W%�������������X ;���(�[SOSimunp�Lbk�O�L�XD����8�W#�����x�W#��+�dv% % %  % % % T|O��$�t�@9v�@OLah\(1950.07,,,,,+,,TT���$�t�@9v�@�LahP-,TT��$�t�@9v�@�LahP)+T0�$�t�@9v�@&Lah� �7u �_lςlb�]�N �Il�e �ZS�X �Ye�c �ZS�Xu�[^ ��N�NIQ5u�S\NKmՋ�b/gxvz0XWXWXWXXWXWXWXWXWXXWXWXWXWXWXXWXWXWXWW% % % TT�M+�t�@9v�@LahP K% % %  T�����t�@9v�@�  Lahd�QB\Pg�e�[�~ ��w�~�g�����������T���* �t�@9v�@�  Lah`GaN(0001)CDCCCCCDCT�+ ���t�@9v�@+  LahdIQ5u�S\'`���vq_�Txvz�����������TT��5�t�@9v�@� LahP KRp�������[SO4����RQLb�����|�$QLb���� Id�W���� +��d�W%�������������X ;���(�[SOSimunp�Lb'�O��������8�W#���x�W#(�+�dv% % % % % % % % %  % % % TT����t�@9v�@��LahPNgXTT�u��t�@9v�@�LahP WTTv����t�@9v�@v�LahP٘n% % % TT�����t�@9v�@��LahP1% % % TX��� ��t�@9v�@��LahP ��NWXTT� � ��t�@9v�@� �LahP WTT �n ��t�@9v�@ �L&" WMFC �N��ahPz�n% % % TTo �� ��t�@9v�@o �LahP2% % % Td� �� ��t�@9v�@� �LahT �8^,g�^WXWn% % % TT� � ��t�@9v�@� �LahP3% % % TT �Z ��t�@9v�@ �LahP K TT|W���t�@9v�@|�LahP(,TX�W���t�@9v�@��LahP1.,,TpW ��t�@9v�@�LahXFUN^�f[b�WXWXWXTX W���t�@9v�@ �LahP5uP[WXTX�Wi��t�@9v�@��LahP5ulWWTXjW��t�@9v�@j�LahP�] zXXT`W��t�@9v�@�LahTf[b� �WXWTX W���t�@9v�@ �LahP�lWSXWTX�W} ��t�@9v�@��LahPFUNXWTT~ W� ��t�@9v�@~ �LahP �XTp� W� ��t�@9v�@� �LahX476000,++,,,TT� W3 ��t�@9v�@� �LahP�XTX4 W� ��t�@9v�@4 �LahP2.+,T�� W���t�@9v�@� � LahdFUNL�N�b/gf[b�:g5u�| �WXWXWXWWXXWXTX�WS��t�@9v�@��LahP�lWSWXTXTW��t�@9v�@T�LahPFUNWXTTWY��t�@9v�@�LahP �WTTZW���t�@9v�@Z�LahP + % % % Tp��q�t�@9v�@�fLahX476000,,,,,+TT��q�t�@9v�@�fLahP�XTX�>q�t�@9v�@�fLahP3.,+T�?f q�t�@9v�@?fLahpWS�Nt�]'Yf[5uP[�] zNIQ5u�b/gf[b� �XWXWXWXXWXWXWXWXWXTXg  q�t�@9v�@g fLahP_lςXWTX � q�t�@9v�@ fLahPWS�NXWTT� q�t�@9v�@� fLahP �XTp"q�t�@9v�@fLahX210094,+,,,+TT#Mq�t�@9v�@#fLahP)+% % % TTN��x�t�@9v�@NfLahP K % % % TlO��4 �t�@9v�@O) LahXXd���)R(uXWOWXTd��Y4 �t�@9v�@�) LahTё^\ g:gWXWXTxZ��4 �t�@9v�@Z) Lah\irSf[l�v�l�yXWXXWXWT���M 4 �t�@9v�@�) Lahl�b/g(W݄�[�wl��^ N_(�Y�^u��NXWXWXWXXWXWXWXWnT`N �� 4 �t�@9v�@N ) LahTGaN++BT�� �4 �t�@9v�@� ) Lah`IQ5u�S\B\ �:NM�NOXWXWXNXWnT`��4 �t�@9v�@) LahTGaN,+* % % % T�O� � � �t�@9v�@O� Lah��S\B\�T݄�[�wl��^���vvf �t�@9v�@ 9 LahPx% % % TX � u @ �t�@9v�@ 5 LahPGa+,% % % TTv  � > �t�@9v�@v 9 LahP1% % % TT�  � > �t�@9v�@� 9 LahP-% % % TT�  � > �t�@9v�@� 9 LahPx% % % TT� �  @ �t�@9v�@� 5 LahPNWT� � �@ �t�@9v�@ 5 Lahl\O:N�QB\�o;m�Q�v4��gwQ g�fؚ�vXWXWWXXWXWXWXWWV T�O�  �t�@9v�@O� LahdIQ5u�S\'`�� ��N ��[�s�NXXWX&" WMFC �.��WXWXWXWnT`��  �t�@9v�@�� LahTGaN,,AT�� 2  �t�@9v�@� LahdIQ5u4��g�~�g�vOS����0XWXWXWXWXXWWTT3 � }  �t�@9v�@3 � LahP lK TdOo �� �t�@9v�@O� LahTsQ.�͋�XXWXT��o � � �t�@9v�@�� Lah�.lSS��݄�[�w�.lSݔ�ݔS�.l�IQ5u4��g��QB\�IQ1��T�^xWXWXWXWXXWXWXWXWXWXXWXWXWXWXWTT� o � � �t�@9v�@� � LahP ��K TpO2\��t�@9v�@O~LahX-N�VR{|�S�XXWXWXTd]2 ��t�@9v�@]~LahTO433,+,,TT 2b��t�@9v�@ ~LahP��?WTlc2<��t�@9v�@c~LahXTN203,,,++Tp=2C��t�@9v�@=~LahX ,,,,,+TpD2P ��t�@9v�@D~LahX�e.shƋx�XWXWXWTTQ 2{ ��t�@9v�@Q ~LahPA+TT| 2� ��t�@9v�@| ~LahP @KRp�������[SO��,���RQLb,�$����$QLb,�$� Id�W$�,� +��d�W%�������������X ;���(�[SOSimunp�Lb��O��F��F�X��8�W#�����x�W#��+�dv% % % Rp �����@Times New Roman�� ,���RQLb,�$� ���$QLb,�$� Id�W$�,� ����<:��d�W��������������XG��*�Ax� �Times ew RomanTF�X��8�W#�����x�W#��<:�dv% % % % % % % % %  % % % T��.��t�@9v�@�mLahtInfluence of buffer.A' A4A44;'AA''32% % % TT.J��t�@9v�@.mLahP % % % T�KL��t�@9v�@Km7Lah�layer material on photoemission for wurtzite GaN (0001)He ;:42`;'44 :!;AA@;':4`!.- ;A':2VA3'4!'4Z;T'::;:&% % % TTM���t�@9v�@MmLahP KRp �����@Times New Roman�� ,���RQLb,�$� ���$QLb,�$� Id�W$�,� �������d�W��������������XG��*�Ax� �Times ew Roman�C�X��8�W#�����x�W#����dv% % % Rp �������[SO��`���RQLb`�X���D�$QLb`�X� Id�WX�`� +��d�W%�������������X ;���(�[SOSimunp�Lbo�O���C����8�W#�����x�W#��+�dv% % % Rp �����@Times New Roman�� `���RQLb`�X� ��D�$QLb`�X� Id�WX�`� ����L��d�W��������������XG��*�Ax� �Times ew Roman�����8�W#�����x�W#��L�dv% % % % % % % % % % % % % % %  % % % Tx}��X�t�@9v�@}DLah\Li Biao5;',% % % TT���'�t�@9v�@�LahP1�% % % Tx��� X�t�@9v�@�DLah\, Ren Y;'+;% % % TT� �� X�t�@9v�@� DLahPi% % % TT� �� '�t�@9v�@� LahP2% % % T�� �< X�t�@9v�@� DLahl, Chang Benkang;,'+,;&,,',,% % % TT= �X '�t�@9v�@= LahP3% % % TTY �� X�t�@9v�@Y DLahP K % % % T���]�t�@9v�@�hLah(1.School of Electronic and Electrical Engineering, Shangqiu Normal University, Henan Shangqiu, 476000, ,1',,,,6'',,''+,6''''6,,,'',,1,'+,,,?,C'@,+'"%@',',1,&,,,,+,,,+, % % % T��{��t�@9v�@��cLahChina;2.Department of Electrical and Mechanical Engineering, Shangqiu Polytechnic, Henan Shangqiu, �@;,,',@','C',,6''''',,N'',&,''6,,+&',,1,'+,,,1,*'',,'@',&,1+',,,, % % % T�>?��t�@9v�@��"Lah�476000, China;3.Institute of Elect,,,,,+:,,',,",',6''% % % T�@>R��t�@9v�@@�GLah�ronic Engineering and Optoelectronic Technology, Nanjing University of ,,'6+,,'',,'+,@,,''',,'/'',,,+,$@',,,@,&" WMFC ���+'"*, % % % T��� d�t�@9v�@�P7Lah�Science and Technology, Jiangsu Nanjing, 210094, China)1'','''+,0'&,,,,,$#',,",@',,,+,,,+,:,+'% % % TT� 4d�t�@9v�@� PLahP KRp �����@Times New Roman�� ,���RQLb,�$� ���$QLb,�$� Id�W$�,� ����L;��d�W��������������XG��*�Ax� �Times ew Roman�F�X��8�W#�����x�W#��L;�dv% % % Rp���� @Times New Roman������}�W���u��3��WtI������2�i��W Id�W� � �����2��d�W���������������2d p�G��2��2�Ax� �Times ew RomanF�L��8�W#�����x�W#���2�dv% % % % %  % % % T�O��'�t�@9v�@O Lah`Abstract:@,"''% % % TT���%�t�@9v�@�LahP &% % % Td��c'�t�@9v�@�LahTThe 6+'&% % % T�d�'�t�@9v�@d Lahdtransmission',"C"",,% % % TT�9'�t�@9v�@LahP-�@% % % T�:��'�t�@9v�@:HLah�mode GaN photocathode samples both were grown by metal organic chemical C,,'&@&?&,,,,&',,,&&"&C,'"&,,,&?''&,,?,&,*&C''&,,','&','C'' % % % TO����t�@9v�@O�Lah�vapor deposition, wherein the +',,,',,",,?,'',,'% % % T���x��t�@9v�@��FLah�former is a sapphire/AlN/GaN structure and the latter is a sapphire/Al,C'"'"',,,'@?@'?",','',+,''&"'"',,,'@% % % TTy����t�@9v�@y�LahPx% % % TX�����t�@9v�@��LahPGa@'% % % TT����t�@9v�@��LahP1% % % TT�+��t�@9v�@�LahP-% % % TT,�G��t�@9v�@,�LahPx% % % TXG����t�@9v�@H�LahPN @ % % % T�OJ# ��t�@9v�@O�HLah�/GaN structure, and the active layer in both structures was doped with p@'?,",',','+,,,',&&+',(+',,,,,,,",','",?'",,,,&,,?,,,% % % TT$ J? ��t�@9v�@$ �LahP-% % % T�@ J���t�@9v�@@ �Lahltype magnesium. *,'-C',,'",C,% % % T��J���t�@9v�@�� LahdThe highest 6,',,,,'" % % % T8O �p�t�@9v�@O\'Lah�quantum efficiency 20% is achieved for ,,',,C''',(*,,I"(','+',,% % % TX� >p�t�@9v�@�\LahPAl@% % % TT?4Zv�t�@9v�@?iLahPx% % % TX[ �p�t�@9v�@[\LahPGa@'% % % TT�4�v�t�@9v�@�iLahP1% % % TT�4�v�t�@9v�@�iLahP-% % % TT�4 v�t�@9v�@�iLahPx% % % TT N p�t�@9v�@ \LahPNa@% % % TTO f p�t�@9v�@O \LahP �% % % T�g � p�t�@9v�@g \Lah�buffer layer GaN photocathod,,'(*'@'@,,,,''+,,% % % T�� �p�t�@9v�@� \Lah�e, which is much higher than '>,',"C,',,,,',', % % % T�O��3�t�@9v�@OlLah$that of a AlN buffer layer GaN photocathode under identical cleaning and activation condition. The inherent ,','@@+,''*'A'@,+,,'',,+',,,',&+''''',,,',,''+',,',,,,,6,'+,'', % % % THO���t�@9v�@O�*Lah�mechanism resph&�WMFC���onsible for the fact that a C'',',#C'",,,",',,''','&% % % TX�^��t�@9v�@�LahPAl@% % % TT_�z��t�@9v�@_�LahPx% % % TX{����t�@9v�@{�LahPGa@'% % % TT�����t�@9v�@��LahP1% % % TT�� ��t�@9v�@��LahP-% % % TT �. ��t�@9v�@ �LahPx% % % TT. �n ��t�@9v�@/ �LahPN@% % % TTo �� ��t�@9v�@o �LahP % % % T�� ����t�@9v�@� �8Lah�buffer layer GaN photocathode can obtain higher quantum ,,''*'@'?,+,,'',,,&&',+,',,,+',+',,B % % % T�OV���t�@9v�@O� Lahdefficiency ''',(*% % % T��V��t�@9v�@��Lahpis also discussed."'",,"',""',% % % TTVe��t�@9v�@�LahP � K% �% �( 6h6ah6a66g6`g6`66f6_f6_66e6^e6^66d6]d6]66c6\c6\66b6[b6[66a6Za6Z66`6Y`6Y6 6 _6X_6X 6  6 ^6W^6W 6  6 ]6V]6V 6  6 \6U\6U 6  6 [6T[6T 6 6Z6SZ6S66Y6RY6R66X6QX6Q66W6PW6P66V6OV6O6  JT.���"System??�F?�m?�F?�F?�F--���������---����@Times New Roman------  2 $GTJ ,JT�- @ !��(F����-'��------------ 2 $/TJ1--- 2 $3TJ ,JT'�����������---���������---------2 VG TJ������Ŀ�� ---&2 VxTJ������Ȼ��ѧ���� "2 V�TJNEA GaAlAs/GaAsG2 V"(TJ��Ч��չ��ת���������������ɿ��Ʊ��� 2 V�TJ91 2 V�TJ42 VTJ33108  2 VTJ ------2 nG TJ���߼�飺 ---2 nzTJ��� 2 n�TJ(1974 2 n�TJ.107 2 n�TJ- 2 n�TJ)q2 n�DTJ���У�����̫���ˣ����壬��ʿ����ʦ�����¹������������������о��� 2 �GTJ���� 2 �\TJ(1974.07 2 ��TJ- 2 ��TJ)}2 ��LTJ��Ů�������ϳ��ˣ����壬˶ʿ�������ڣ����¹������������������о��������� ���������------2 �GTJ(1950.07 2 �qTJ- 2 �vTJ)}2 �|LTJ���У����������ˣ����壬��ʿ�����ڣ���ʿ����ʦ�����¹�緢������Լ����о��� --- 2 � TJ ---,2 �ZTJ�������϶���п��ṹ2 � TJGaN(0001),2 �WTJ��緢�����ܵ�Ӱ���о� 2 �TJ ���������------------2 ��TJ�� 2 ��TJ 2 �TJ� --- 2 �TJ1---2 �TJ���� 2 �)TJ 2 �3TJ��--- 2 �ATJ2---2 �CTJ�������� --- 2 �pTJ3--- 2 �sTJ  2 �LTJ(2 �RTJ1.2 �\ TJ����ʦ��ѧԺ 2 ��TJ���� 2 ��TJ���� 2 ��TJ���� 2 ��TJѧԺ�� 2 ��TJ���� 2 �TJ���� 2 �$TJ�� 2 �.TJ4760002 �NTJ�� 2 �XTJ2./2 �cTJ����ְҵ����ѧԺ����ϵ�� 2 ��TJ���� 2 ��TJ���� 2 � TJ�� 2 �TJ ---2 �TJ4760002 �TJ�� 2 �TJ3.A2 �$TJ�Ͼ�����ѧ���ӹ������缼��ѧԺ�� 2 }TJ���� 2 �TJ�Ͼ� 2 �TJ�� 2 �TJ210094 2 �TJ)--- 2 �TJ ---2 G TJժҪ������ 2 zTJ�����л� 2 �TJ�ﻯѧ������� ;2 � TJ����������ʯ�ĵ����������������� 2 �TJGaN0&2 �TJ��緢��㣬Ϊ���� 2  TJGaN0---\2 1G6TJ����������ʯ�ĵ׼�ľ���ʧ������ʧ�䣬������ʯ�ĵ׺�  2 1cTJGaN0&2 1uTJ������ֱ������ 2 1�TJAlN02 1�TJ�� 2 1�TJAl--- 2 1TJx---2 1TJGa--- 2 1TJ1--- 2 1TJ---- 2 1TJx--- 2 1TJN�2 HGZTJ���ֲ�ͬ�Ļ������ϡ��Ծ��в�ͬ�������ϵ�������Ʒ�����˱�����ϴ�뼤��ڼ������������   P2 `G.TJ����Ϣ������ϵͳ�ֱ��������Ʒ�Ĺ�����Ӧ������ #2 `9TJ������Ч�ʷֱ�Ϊ 2 `�TJ13%02 `�TJ��2 `�TJ20%0&2 `�TJ�����ݼ�������� ---S2 wG0TJ���Ĺ�����Ӧ��Ϊ������׼�����Եó���������ݽ��� 2 wHTJAl--- 2 wSTJx---2 wVTJGa--- 2 w`TJ1--- 2 wcTJ---- 2 wfTJx--- 2 wiTJN ;2 ws TJ��Ϊ����㼤������������и��ߵ� /2 �GTJ��緢�����ܣ��Ӷ�ʵ���� 2 ��TJGaN0/2 ��TJ��������ṹ���Ż���ơ� 2 �XTJ 2 �GTJ�ؼ��ʣ� b2 �q:TJ�����أ�����ʯ�������������ص����������������㣻������Ӧ 2 ��TJ 2 �G TJ��ͼ����ţ� 2 ��TJO4332 ��TJ�� 2 ��TJTN20342 ��TJ 2 �� TJ���ױ�ʶ�룺 2 �TJA 2 �#TJ ���������- - - ����@Times New Roman- - - - - - - - - - - - (2 �NTJInfluence of buffer- - - 2 ��TJ - - - ^2 ��7TJlayer material on photoemission for wurtzite GaN (0001)     - - - 2 �TJ ����@Times New Roman- - - ���������- - - ����@Times New Roman- - - - - - - - - - - - - - - - - - 2 ��TJLi Biao7- - - 2 �TJ1- - - 2 � TJ, Ren Y7- - - 2 �)TJi- - - 2 �,TJ2- - - "2 �/TJ, Chang Benkang- - - 2 �xTJ3- - - 2 �{TJ - - - �2 NhTJ(1.School of Electronic and Electrical Engineering, Shangqiu Normal University, Henan Shangqiu, 476000, - - - �2 "VcTJChina;2.Department of Electrical and Mechanical Engineering, Shangqiu Polytechnic, Henan Shangqiu, 0 - - - >2 :P"TJ476000, China;3.Institute of Elect- - - v2 :�GTJronic Engineering and Optoelectronic Technology, Nanjing University of - - - ^2 Q�7TJScience and Technology, Jiangsu Nanjing, 210094, China)- - - 2 Q�TJ ����@Times New Roman---� �� @Times New Roman------ - - 2 iG TJAbstract:--- 2 imTJ - - - 2 irTJThe - - - 2 i� TJtransmission- - - 2 i�TJ-- - - w2 i�HTJmode GaN photocathode samples both were grown by metal organic chemical - - - 82 �GTJvapor deposition, wherein the - - - t2 ��FTJformer is a sapphire/AlN/GaN structure and the latter is a sapphire/Al- - - 2 ��TJx- - - 2 ��TJGa- - - 2 � TJ1- - - 2 � TJ-- - - 2 �TJx- - - 2 �TJN - - - w2 �GHTJ/GaN structure, and the active layer in both structures was doped with p- - - 2 ��TJ-- - - #2 ��TJtype magnesium. - - - 2 �� TJThe highest - - - F2 �G'TJquantum efficiency 20% is achieved for  - - - 2 ��TJAl- - - 2 ��TJx- - - 2 �TJGa- - - 2 � TJ1- - - 2 �TJ-- - - 2 �TJx- - - 2 �TJN- - - 2 �TJ - - - 52 �!TJbuffer layer GaN photocathod- - - 72 ��TJe, which is much higher than - - - �2 �GlTJthat of a AlN buffer layer GaN photocathode under identical cleaning and activation condition. The inherent - - - J2 �G*TJmechanism responsible for the fact that a - - - 2 ��TJAl- - - 2 �TJx- - - 2 �TJGa- - - 2 �TJ1- - - 2 �TJ-- - - 2 �TJx- - - 2 �TJN- - - 2 �"TJ - - - _2 �%8TJbuffer layer GaN photocathode can obtain higher quantum - - - 2 �G TJefficiency - - - &2 �sTJis also discussed.- - - 2 ��TJ --�JJTTJJSSJJSSJJSSIISSIISSIISSIISSIISSIIRRIIRRIIRRHHRRHHRRHHRRHHRRHHRRHHRRHHQQb$ 2���� 0@P`p������2(�� 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p��8X�V~PJ_HmH nHsH tHJ`��J ck�e $1$a$ CJKH_HaJmH nHsH tHNN ?�h�� 1$$dB�T�J@&5�CJ,KH,\�aJ,\2\ \e�h�� 3$�d�d1$@&[$\$a$5�CJKHOJQJ\�^JaJ$A`���$ ؞���k=�W[SOBi@���B nf�h� \�l_(uH**U��* Q������c >*B*ph�N@�N W(@u� w'$ �9r &dG$P��a$CJaJ< @�< W(@u��$ �9r G$a$CJaJ)@�� W(@u�x*�O��* m� msonormalBR@�B )i�ck�e�e,g)ۏ 2��d��xVD�^��J���J �6�u�� Char$CJKHPJ_HaJmH nHsH tH6�6  �6���l�e,g $G$a$CJaJP��P �6� ��l�e,g Char1$CJKHPJ_HaJmH nHsH tH�o�� s��{f�W 1�:V!�0� �� ���j�#��������j�#����������� �� !$1$a$:��!: 6$T ��l�e,g CharCJPJ_HaJ8Y28 F4��ech�~�g�V#-D M� ��PK!����[Content_Types].xml���j�0E����ж�r�(��΢Iw},��-j��4 ��w�P�-t#bΙ{U�����T�U^h�d}㨫���)��*1P�'�� �^��W��0)��T�9<�l�#��$yi}��;�~@��(���H����u�* Dנz��/0�ǰ���� $�� X��3aZ����,�D0j~�3߶�b��~i>���3�\`�?�/�[���G��\�!�-�Rk.�s�Ի�..���a濭?��PK!�֧��6 _rels/.rels���j�0 ���}Q��%v/��C/�}�(h"���O� ������=������ ����C?�h�v=��Ʌ��%[xp��{۵_�Pѣ<�1�H�0���O�R�Bd���JE�4b$��q_����6L��R�7`�������0̞O��,�En7�Li�b��/�S���e��е������PK!ky���theme/theme/themeManager.xml �M � @�}�w��7c�(Eb�ˮ��C�AǠҟ����7��՛K Y,� �e�.���|,���H�,l����xɴ��I�sQ}#Ր���� ֵ+�!�,�^�$j=�GW���)�E�+& 8���PK!�m�Qtheme/theme/theme1.xml�YMoE�#�F{oc'vGu�رh�F�[��x=ޝzvg53N�j�HH��z����Z $ʯI)*E�_�����N�&IA�!��>��Ǽ3�x�N��>���U�W L0�Č߫�߿z��}rx���{���h9T�8�T/���χ�?����xY����'�~���3S����~����O_|w��)��ӈHt��=�a�+��d NG�1-RlƁ�1�RJ�wT蠯M1K����"�o he�˓ێ½PL-�|%����E��hY7�'qP.\L��=���d�q�ķ3I�ofi�����.ñ���B�Rb�-J��P_p�G ݢ��i�K�t�dӌh�F�i��o�7;7Q��2��Ⱦ�����D�>a�/��Q�>�X��W� ˔�M�_�u��H�q�)�h� ���+:Vi�w�4r�B�qϫ��"r���!��2l��a��C�b��U|����!8^8�>�ܠ���,A���б�V�t���׎�~ls���14��_=,ɬ��ožTV �G��"�Ѧ��bH�����'�.�4��x޵�w-��Ϸ�E�|�F;��v��`�b3"G '�e����\�fH��O �������'�$��i_wp��� �>�*�8���i&�LY%\���,���xҕ=������������ r6f� ��3���T�ʅ�)��:ªZ�K��L�s��&C �M��ܛ0� [�˫p@ע�`�j�۽7 ���Y�H�xH�i��cT5A�r��@��H��ZAZC�}i' RQ\m��,zo�,�gQ�u{�Y\,N���ר/�=����L _��.�̇Y7C�6�-fS�h62��"��5�����NH�T[X�65̫4X�%Y����ֳ2�f�kh����i~tCKF#�b� +�w�1m�|����4`��!�:U��!�p5a:�~�{4�m��m�i�o� ήc��8m��D�J�pSǹ橠�V��1�����?#S�i�?3E�'pS�2���W`���q�B]( ��08���w��� n��A��[s��)k8�= Aa?R� dڒɾc�Uӽ˲d)#�Queb��}������C!���&i0����>�4��S�7���{���z�� F�}� 4��sKvUKoȳ��h�~1�jYU���V�H��5U8�Vk;֜���L9��Ű�D �� ��?*|FL� �����"��A3����>g��]��dm2iVֵ�褽�m�g<��r�8[kv�x����p�sj�,��z��][�j�����Qv�1�1�iu���-�ߟ0%M2�oJ���3u�o%ҍ���PK! ѐ��'theme/theme/_rels/themeManager.xml.rels��M �0���wooӺ�&݈Э���5 6?$Q�� �,.�a��i����c2�1h�:�q��m��@RN��;d�`��o7�g�K(M&$R(.1�r'J��ЊT���8��V�"��AȻ�H�u}��|�$�b{��P����8�g/]�QAsم(����#��L�[������PK-!����[Content_Types].xmlPK-!�֧��6 +_rels/.relsPK-!ky���theme/theme/themeManager.xmlPK-!�m�Q�theme/theme/theme1.xmlPK-! ѐ��'� theme/theme/_rels/themeManager.xml.relsPK]� %+��������������%+����� " � Lpp�0H�!�!�"v#$�$�%d&�&)�)j*~+�+�,L-N./�0B2�3T�֊��@�‘ƕ�n����$���P�$����ʪ����F�J� !"$%&'(*+,-./12345689:;?@CYZ[]^_`abcdeghijklmoq� "$&�+,/�/�/@2�3�3D����D�J�#)07<=>ABD\fnp} � � � � � # % ;NP���Xpr���5MO%+:����:����:����:��:����:����:��:����!�����  /�Xb�$�q��n J��k��Hc�������b�$^m5QO��'v^5�]��%�����@��������� ��0�( � ��B �S ���� ?��H��0�( � �%+�� OLE_LINK6 OLE_LINK5 OLE_LINK10 OLE_LINK8 OLE_LINK17 OLE_LINK16 OLE_LINK19 OLE_LINK13 OLE_LINK20 OLE_LINK37 OLE_LINK30 OLE_LINK14 OLE_LINK25 OLE_LINK24 OLE_LINK15 OLE_LINK18 OLE_LINK21 OLE_LINK22 OLE_LINK230� � � ��He��"�f$�$&&p*p*�*&+  9� � � ��J����}$%W&W&�*�*�*�*&+��a�b4�&+&+<*�urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags�chmetcnv� / �0�1�25�cm�False�HasSpace�Negative �NumberType �SourceValue�TCSC�True�UnitName   $:?K]o���������������+78:LY[bby|���������  09UXd������������GOiq������OR��'*8;�� ,/rwz�����"%9<=BKN����������� . > A L S a d y | � � � � � � � � � � � � � �     % ) , / 0 3 ] ` a d � � � � � � � � � �    ` d i s � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �   2 5 P S � � � � � � e n o p s y � � � � � � � � � � � � �  *eh~���������������������� "$'59:npr{����������������   '(/0BCR������������� #/34[apqsvy����������������PTjl~�������������$()*-0QTYZ]cij�����������������������wz�����������mp�������� #,35BKMOYZ]_bk�����������14`c�� !)-.DGrx{��������������7@EM�������  %,JMW[]`������� DJuz�������� ������  fr�����������������������fmqy����QRTZ[\^efginopry��+ 0 � � � � � � (!+!s!z!~!�!�!�!�!�!K"N"�"�"=#@#�#�#�#�#�#�#�#�#�#�#$$$ $ $$N$Q$[$`$d$�$�$,%4%;%D%K%R%�%�%�%�%�%�%&&&&#&0&�&�&�&%''',':'='?'T'U'V'Y'g'j'l'n's't'�'�'�'�'(((()(*(+(.(7(9(=(@(B(D(k(�(�(�(�(�(�(�(�(<)F)G)N)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)Q*T*V*Y*_*d*�*�*�*�*�*�*�*�*�*�*�*�*�*++ + + + + + +++++++!+"+#+&+mo��%&��z}Z^�� K  jl��#&����JM��������WY������ ��Py�\ c � � �!�!.$0$:$=$�$�$j%w%�%�%�&9':'>'i'(?(l(�(�(B)F)�)�)�)�)+++ + + + + + +++++!+"+&+3s3333333333333333333333333333333333333b j ;n��X���5W~���5<��n�b����g � � !�!�!�"�"$:${%�%�&:'i'{'�'(p*�*++ + + + + + +++++!+"+&+��XYYddee�����~rr��((�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�*�*�*++++ + + + + + + +++++!+"+&+�@va _ޯ���������M:{}D���������������\���^��`�\�B*CJaJo(ph��h�H[]� �H�\��H^�H`�\��h�H)� ���\���^��`�\��h�H.� ���\���^��`�\��h�H.� �4�\��4^�4`�\��h�H)� �� �\��� ^�� `�\��h�H.� �| �\��| ^�| `�\��h�H.� � �\�� ^� `�\��h�H)� ���\���^��`�\��h�H.�:���^�:`���o(()���\�^�`�\�)����\�^��`�\�.��b�\�^�b`�\�.�� �\�^� `�\�)��� �\�^�� `�\�.��N �\�^�N `�\�.��� �\�^�� `�\�)����\�^��`�\�.M:{}�@va�������������.ڗ        ���U        ez� y�� +�K��-�\���L,L^�I�!N+�%Uk�p}}MP( 3!�)"�&#�p#d$4P$�U$*%YM%�0&�T'W|'H(�+(�.(!+,b,�y,$-K\.�P/NJ0�^0�1�;2�r2,T3�,4�@4�E4� 6�6_q7;8;^9�:�J:qW:D`:[;l<?=C@>^M>KQ>�?�@W(@SaA� BNmB�C�DkD�!E�F ~��!��U��p�p#�T+�s]���U(��m�zt�*��6��V��a��D����2��P�@$��f�)i�1p�H8��L��]��|��;���V6��b�n��w�����V��?�3g�.��m�Tq����1�S+��@����!�aP�&��8� :��g��u� +�6r�?����N�,h�Ou�M �p��3���a9��#�]V��T�l�l"���.@��$��@�gM��m��x��z�����Z��(�ja�4�w�d�����"�8�:���\�E>�&��T��#��f��{�)�\e� ��D�F\��{�S��p�M�/��v�Qy��|�
Baidu
map