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北方华创发布首款12英寸电镀设备

2025-03-26
来源:芯智讯

北方华创官方微信公众号消息,近日,北方华创正式发布旗下首款12英寸电镀设备(ECP)——Ausip T830。该设备专为硅通孔(TSV)铜填充设计,主要应用于2.5D/3D先进封装领域。该产品标志着北方华创正式进军电镀设备市场,并在先进封装领域构建了包括刻蚀、去胶、PVD、CVD、电镀、PIQ 和清洗设备的完整互连解决方案。

电镀作为物理气相沉积(PVD)的后道工艺,其设备与PVD设备协同工作,广泛应用于逻辑、存储、功率器件、先进封装等芯片制造工艺。在工艺流程中,PVD设备首先在槽/孔内形成籽晶层,随后电镀设备将槽/孔填充至无空隙。随着先进封装和三维集成技术的快速发展,电镀设备的全球市场规模已达每年80-90亿元人民币,且仍在加速扩张,预计未来几年将突破百亿大关。

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北方华创的Ausip T830设备突破三十多项关键技术,展现了深厚技术实力。该设备采用高真空密封和电化学沉积技术,实时优化预润湿及电镀参数,实现高深宽比TSV填充。通过优化电场、流场和药液浓度,使TSV内部及边缘的铜沉积均匀,减少缺陷,提高芯片良率和可靠性。其双层双腔架构可同时处理两片晶圆,提高产能,节省空间。定制气缸和密封结构增强稳定性,降低维护成本。智能补液系统减少添加剂用量,助力绿色制造。设备支持模块化定制和后续技术升级,满足多样化需求。目前,该设备的电镀膜厚均匀性满足客户要求,能够有效填充孔直径2-12微米,孔深16-120微米的多种孔型产品。

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北方华创表示,展望未来,公司将把握先进封装发展的机遇,持续加大研发投入,致力于打造先进封装领域的完整解决方案。同时,北方华创将继续与客户保持深度合作,共同推动先进封装技术的发展,助力芯片产业迈向新高度。


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