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台积电或将较原计划提前采用High NA EUV光刻机

2024-05-29
来源:芯智讯

5月28日消息,根据wccftech的报道,虽然此前台积电公开表示其路线图上的最尖端制程A16仍将不会采用High NA EUV光刻机,但是最新的消息显示,台积电有可能会修正其既定计划,提前导入High NA EUV光刻机进行试验和学习。

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为了在先进制程技术上重回领先地位,英特尔已经率先斥巨资拿下了ASML的首批High NA EUV光刻机,预计先在即量产的Intel 18A制程节点上进行验证和学习,然后再将High NA EUV光刻机应用于Intel 14A制程的量产。

相比之下,台积电业务开发资深副总经理张晓强曾公开表示,虽然对High NA EUV能力印象深刻,但设备价格超过 3.5 亿欧元(3.78 亿美元)。目前的标准型EUV光刻机,仍可以支持台积电尖端制程的生产到2026年,其最新曝光的尖端制程A16也将会继续采用标准型EUV光刻机来进行生产。

不过,据《韩国商报》报道,在5月26日的台积电“2024年技术论坛台北站”的活动上,台积电总裁魏哲家罕见没有参加,原因是其秘密访问了ASML位于荷兰的总部。ASML CEO Christopher Fuke和其激光光源设备供应商TRUMPF执行长Nicola Leibinger-Kammüller近日在社群媒体上贴文中披露了魏哲家到ASML拜访。

这也使得市场传出消息称,在英特尔拿下首批几套的High NA EUV曝光机之后,魏哲家这次的密访动作就是表达了也希望能获得该新设备的立场。

报道指出,虽然台积电预计在A16制程技术后的产品才考虑采用High NA EUV光刻机,但是魏哲家密访ASML总部的动作引发了大家的议论,台积电有可能会修正其原定的计划,提前采用High NA EUV光刻机。不过,即使台积电获得High NA EUV光刻机,也不能立刻用到其最新的制程上,需要提前对新设备进行各种试验与学习。


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