近年来，随着个人电脑的普及和互联网的快速发展，数字移动通信业务转向个人通信，引发了传统通信的革命和多媒体通信业务的出现，刺激了光通信业务的快速发展。但是与大规模的集成电路相比，光互连中用于实现光路由和光交换的光器件由于体积小、空间有限、功能单一，在应用上受到很大限制，因此在很多光通信模块中仍然需要进行大量的电光转换。

着深紫外光刻技术在纳米光子器件制作中的应用使得光学器件的尺寸大大减小，同一光子集成电路中可以集成更多的光学器件。将晶体管封装在芯片上的传统工艺被称为“深紫外光刻”（DUV），这是一种类似于摄影的一种技术。通过透镜聚焦光线，在硅片上雕刻电路图案，利用极紫外（EUV）光在硅片上雕刻，使存储芯片有类似的存储容量增加。

在集成电路制造的推动下，光刻技术取得了长足的进步。从抽象层面来说，光刻系统包括以下几个部分：辐射源、辐射控制系统、光刻胶和样品。为了获得更小的光刻图形，要求用于光刻的光源具有更小的特征光波波长，光源要有足够的强度，以实现快速曝光和批量生产。

为了解决光刻强度的问题，目前工业上广泛使用准分子激光。准分子激光是深紫外光谱中最亮的光源。一般准分子激光获得的光波波长有248nm、193nm、157nm。准分子激光以多模形式强烈发射，空间相干性相对较弱，光刻精度可达100nm以下。

想要确保紫外光刻机发出的紫外线强度适中就需要对紫外光进行监测，紫外线传感器和紫外光电二极管是可以检测紫外线强度的元件，可以用于检测紫外光刻过程中紫外线的能量情况，工采网技术工程师推荐以下几款：

韩国GENICOM 紫外线传感器 － GUVA－T11GD－L，具有良好的可见盲，光伏模式操作，高响应，低暗电流，应用于全UV波段监控，UV－A灯监控，可广泛应用于：紫外线强度检测和控制，UV指数检测。

德国SGLUX 紫外光电二极管 － SG01D－C18具有极其特别的优点，能承受高强度的辐射，对可见光几乎不敏感，产生的暗电流低，响应速度快，可以长期工作在高达170℃的温度中。

韩国GENICOM 可见光传感器 － GVGR－T10GD，芯片小于0．4mm，TO－46封装，使用的铟镓氮材料，内含PN型光电二极管，光伏模式操作，高响应，低暗电流。

原文标题 : 紫外线传感器_深紫外光刻机适用哪个范围内的紫外线波段

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