众所周知，在芯片领域有一种特别重要，特别受关注，同时中国技术又相对落后的设备，那就是光刻机，芯片制造必不可少的设备之一。

特别是EUV光刻机，目前全球仅ASML一家能够制造，很多人称EUV光刻机是人类建造的最复杂的机器之一，所以ASML也被很多人奉上“神坛”，甚至还传出“给你全套图纸，你也造不出光刻机”的说法。

但要我说，ASML其实也只是一个组装厂，它是整合全球的供应链，最后将什么EUV光刻机组装了出来，你会怎么想？

EUV光刻机的原理是什么？说起来超级简单，就是激光器激发出13．5nm波长的极紫外线，然后经过矫正后形成一束可控的光，再用能量控制器，将这一束光投射到光掩膜台后，再经过物镜投射到曝光台，最后在涂了光刻胶的硅晶圆上蚀刻出电路。

一台EUV光刻机有三项核心技术，分别是顶级的光源（激光系统）、高精度的镜头（物镜系统）、精密仪器制造技术（工作台）。

激光系统就是产生极紫外线的系统，这项技术来源于美国企业Cymer，2012年被ASML收购了。

高精度的镜头，也就是将激光进行收集成束，以及物镜系统，这一块的技术来源德国的蔡司，蔡司拿出了全世界最平表现的元件，那就是分布式布拉格反射器。

第三项核心技术，也就是精密仪器制造技术，也来自于德国，甚至连核心一中的整体打包方案都是德国TRUMPF公司提供的。

按照媒体的说法，一台EUV光刻机中，超过10万个零件，其中ASML只掌握了不到10％的核心技术，另外的90％全靠ASML全球去整合资源，甚至需要全球进口。

ASML最大的能力是了解客户需求，整合供应链，最后把光刻机组装出来，这一特质，在当时ASML与台积电合作，全球首造浸润式光刻机时就注定了的。

当时，尼康、佳能是光刻机大哥，ASML只是小厂，台积电提出可以用水做介质，尼康、佳能傲慢自大，认为这是个馊主意，而ASML是小厂，看不到希望，干脆搏一搏，说不定单车变摩托，最后这一搏，搏出来了ASML的未来。

所以ASML尝到了甜头后，认清了现实，那就是自己最重要的就是看各大晶圆厂需要什么样的东西，然后再全球找供应链，再和客户一起研究试验，把客户需要的东西组装出来。

而不是自己苦哈哈的埋头做研究，最后发现这研究出来的玩意，客户不需要，那才是研发的失败，这是ASML的长处，也是芯片行业的丛林法则，那就是攒局，将各大利集团捆绑在一起，才是核心。

原文标题 : EUV光刻机3大核心：2大来自德国，1大来自美国，ASML负责组装

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