从新昇300mm大硅片来看开云棋牌官网在线客服制造材料和设备的国产化进展
2023-01-14
来源:科闻社
开云棋牌官网在线客服材料分为晶圆制造材料和封装材料。开云棋牌官网在线客服硅片(Semiconductor Silicon Wafer)则是晶圆制造的基础。根据尺寸(直径)不同,开云棋牌官网在线客服硅片可分为2吋(50mm)、3吋(75mm)、4吋(100mm)、5 吋(125mm)、6吋(150mm)、8吋(200mm)、12吋(300mm)。当前,在摩尔定律影响下,开云棋牌官网在线客服硅片正在不断向大尺寸的方向发展,目前8吋和12吋是主流产品,合计出货面积占比超过90%。
在大尺寸硅片领域,成立于2014年的上海新昇,最近达成了12吋硅片累计600万片的出货,产品分为12寸的抛光片和外延片。近日,新昇开云棋牌官网在线客服科技有限公司采购总监刘大海结合新昇300mm硅片制造,具体介绍了300mm硅片制造材料和设备的国产化进展。
据刘大海总监介绍,大陆企业12吋硅片的需求和供应情况,从2022年至2025年,市场预期是增长的。从目前来看,2022年大陆企业需求为95万片,国内产能为100万片。而及至2024年,国内需求为205万片,国内产能将达300万片。
刘大海说,过去五年间,300毫米硅片材料国产化取得巨大的进展。从2017年量产开始,三分之一的材料实现了国产化,总的占比只有百分之十几,到2021年,有三分之二金额的主要材料已经完成国产化,进入了量产阶段,另有四分之一金额的材料都在国内找到了合作方。应该说,部分的产品开发还是需要资源和精力的投入。
具体说来,在晶体生长领域,最主要的材料就是多晶硅,国内的代表厂商,如江苏鑫华就通过了认证,满足了国产化需求。石英坩埚,主要供应商宁夏源聚芯、浙江美晶,这两家的认证处于基本可用于可用这个水平之间。掺杂,目前,还没有可靠的国产供应商。
在拉晶阶段,迫切需要的是稳定的液氦。刘大海总监说,最期望寻找国内稳定的气源。热场石墨件,关注纯度、机械性能、电学性能,国内有厂商可以做,但要求侧重点有差别。各种涂层件,也是在拉晶及其它高温工艺使用的零件,要求纯度和保温性能。热层保温毡,属于拉晶热场零件,也是需要高保温以及纯度。在切磨两个领域,国产化材料做得比较好。主要包括碳化硅粉、冷却液、切割线机石、晶圆周转盒、一般化学品,都是在可用的标准上,与国外产品差别不大。
在抛光、外延、清洗包装这个阶段,刘大海总监说,当前国产化的材料需求较多,Carrier晶盛机电正在开发中,抛光液、抛光垫是由安集、新安纳、昂士特等开发和评估中。过滤器,杭州科百特的产品比较满意,批量通过认证,很接近国际领先水平。在气体部分,氯化氢气体上,部分通过验证的厂商,在我们的应用中,已经达到世界最好的水平,这也是这几年国产化项目带来的惊喜。
但是,在抛光、在外延、清洗包装上,还有很多的材料没有得到突破,还没有国产供应商。抛光部分有粗抛液等十多项,外延和清洗部分包括纯水抛光树脂等七项。主要要求,还是要加工晶片的平坦度、颗粒纯度上面。
至于设备部分,刘大海总结说,在新昇刚量产的2017年,有限的国产设备可用,在金额占比上忽略不计。过去五年里,有了很大的进展,有三分之一的设备种类和金额通过了认证,可以正常使用。有四分之一的种类和40%的金额,供应商有产品,正在验证中,其余的部分,多数也找到开发的供应商。极少数设备在寻找供应商中。设备方面的进展,与材料相比,更有进步。
分工艺段来看,拉晶、晶棒加工基本都有设备通过国产化认证,设备可用到好之间,满足需求。其它的线割片机、边缘研磨机等,也有国产供应商在做样机。外延和清洗以及包装方面,外延反应炉、槽式清洗机、晶盒清洗机,仍然是处于待评估、待验证、待开发的状态。但单片清洗机、快速退火炉上面,有国内厂商通过了验证,满足了需求,而且与国外的差别并不大。在量测设备上,虽然过去几年涌现了许多供应商,但因为开发周期长,交付周期较长,同时认证时间也较长,因此,还没有太多设备通过验证。通过验证的一些设备,我们认为是可以达到国外同等水平,甚至超过国外水平。待评估的一些中,有些设备很快可以突破。但量测设备上,因为品类小,开发者少。
在总述大硅片生产对国产设备和材料的需求后,刘大海总监总结说,基础材料和零件仍是国产化的薄弱环节。一是一些零件和材料通过我们的验证,但成本上高居不下,没有办法与国外的厂商比拼。二是在行业需求旺盛的时候,供应也没办法得到保证,这样的国产化,对于客户来说,有时候会成为负担。三是硅片设备的国产化,有着过时不候的“特征”。国外厂商设备交期过长,导致采购决策被迫提早做出,如错过时机,市场规模会大大缩小,国产设备开发需要分秒必争。四是在设备和材料领域,市场总体需求小的材料和设备,也无利可图。这更是国产化的难点。比如抛光液、抛光垫使用较少,开发上优先级较低。
虽然难点多多,但是在本土厂商的努力下,开云棋牌官网在线客服设备和材料领域的一些厂商还是具备国际竞争力的,故而,刘大海总监在最后表示,我们希望这些厂商在国际上获得成功,并且,继续推出更高性能的产品,斩获更大的市场。
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