SiC 器件正在取代现有 Si 器件的高影响力应用机会已经出现
2022-12-24
来源:laocuo1142
SiC 器件正在取代现有Si 器件的高影响力应用机会已经出现,包括 xEV 和铁路电力电子设备,具有更低的损耗和更低的冷却要求;具有降低冷却负荷和更高效率的新型数据中心拓扑结构;用于高效大功率电动机的变频驱动器,可降低整体系统成本;更高效、灵活和可靠的网格应用程序,减少系统占用空间;以及“更多电动航空航天”,重量、体积和冷却系统的减少有助于节能。就电动汽车而言,目前大多数使用 400V 总线架构,因此 650V SiC 器件与成熟且坚固的硅 IGBT 竞争,而 GaN 则在利润丰厚的牵引逆变器、DC/DC 转换器和车载充电器中竞争市场。
因此,650-V 范围是一个“战场”,其中每种材料器件都带来独特且引人注目的竞争优势。应该注意的是,为了提高效率——相同电池的续航里程更长或较小电池的续航里程相同——以及快速充电,电动汽车正在迅速过渡到 800V 总线架构。在此电压下,1,200-V SiC MOSFET 具有整体优势,因为它们于 2011 年实现商业化并经过几代优化。现在正在发生的电动汽车中的 SiC 插入是一个批量应用机会,可以进一步刺激 SiC 制造的规模经济和降低系统成本。应该注意的是,为了提高效率——相同电池的续航里程更长或较小电池的续航里程相同——以及快速充电,电动汽车正在迅速过渡到 800V 总线架构。在此电压下,1,200-V SiC MOSFET 具有整体优势,因为它们于 2011 年实现商业化并经过几代优化。现在正在发生的电动汽车中的 SiC 插入是一个批量应用机会,可以进一步刺激 SiC 制造的规模经济和降低系统成本。应该注意的是,为了提高效率——相同电池的续航里程更长或较小电池的续航里程相同——以及快速充电,电动汽车正在迅速过渡到 800V 总线架构。在此电压下,1,200-V SiC MOSFET 具有整体优势,因为它们于 2011 年实现商业化并经过几代优化。现在正在发生的电动汽车中的 SiC 插入是一个批量应用机会,可以进一步刺激 SiC 制造的规模经济和降低系统成本。
随着 SiC 的持续增长,该行业正在消除大规模商业化的最后障碍,包括高于 Si 的器件成本、基面位错 (BPD) 的存在、可靠性和坚固性问题以及对熟练掌握 SiC 的劳动力的需求电源技术跟上不断增长的需求。目前,SiC 晶圆占 SiC 器件总成本的 55% 至 70%,这是其独特的复杂制造细节的结果。传统的 SiC 衬底主要通过种子升华技术在约 2,500˚C 的温度下生长,这给过程控制带来了挑战。晶体膨胀有限,需要使用大的优质晶种,升华生长速率可能相对较低,约为 0.5 至 2 mm/h。位错通过晶锭传播并存在于器件晶圆中。此外,与金刚石相当的 SiC 材料硬度使得 SiC 衬底的锯切和抛光相对于 Si 来说速度慢且成本高。然而,在许多应用中,与 Si 相比,插入 SiC 可降低整体系统成本,尽管 SiC 器件的成本可能比其对应的 Si 器件高 2 至 3 倍。这是由于高效高频 SiC 操作实现了无源元件小型化和冷却系统简化。
大多数“致命”缺陷在现代 SiC 晶圆中几乎已被消除。BPD 是主要的残留缺陷,会降低器件性能并影响良率。BPD 可以从晶圆衬底传播到制造器件的外延层厚度。BPD 也可以在高温离子注入制造过程中产生。在商用晶圆中,超过 95% 的衬底 BPD 在通过 CVD 离轴生长的外延层中传播为相对“良性”的螺纹边缘位错。阈值电压不稳定性是 SiC MOSFET 中主要的可靠性问题,它主导着基于 SiC 的电力电子应用。这主要是由于 SiC/栅极氧化物界面处的氧化物陷阱。SiC MOSFET 阈值电压的正向偏移具有增加传导损耗的有害影响,而负向偏移则不可取,因为它可以自发地开启晶体管。通过利用设计权衡,可以使 SiC 器件更加坚固耐用。这与智能栅极驱动相结合,可以提供足够的短路保护。
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