薄膜体声波谐振器（FBAR，thin-film bulk acousTIc wave resonators）是一种新型的微型电声谐振器，具有灵敏度高、准数字量输出、便于集成、工作频率高等特点。目前，FBAR主要应用于高精度的生物和化学分子检测，在力学传感器领域已有将FBAR应用于压力和加速度传感器的先例。

　　2005年，西门子公司Weber报道了一种新型FBAR环境压力/材料应变传感器提出了两种结构。第一种是环境压力传感器结构如下图1所示，这种结构可用于流体压力的测量。硅制膜片将上下两个空间分隔开，空间中的流体或气体的压力不同导致膜片弯曲，压电材料正位于硅膜片之上，因此膜片的弯曲应变耦合到压电材料中并由此引起应力。另外一种是材料应变传感器结构如下图2所示，这种传感器的敏感元件采用的是固态装配型谐振器（SMR，Solidly Mounted Resonators）。通过一种特殊的粘附材料将谐振器与衬底粘粘在一起，衬底的应变通过粘附层传递到谐振器压电层中，可用于测量衬底的应变。

　　图1 环境压力传感器结构

　　图2 材料应变传感器结构

　　2007年，Chiu等报道了一种高性能薄膜体声波压力和温度传感器，传感器横截面示意图如图3所示。压力进气孔直通压力检测元件FBAR，当FBAR上下表面形成压力差时会发生面外形变并在FBAR薄膜结构中产生面内应力，从而引起FBAR的谐振频率漂移。

　　图3 Chiu的FBAR压力和温度传感器横截面示意图

　　Campanella等在2007年和2009年报道了两种FBAR微加速度计，根据FBAR与硅微结构的结合方式，分为嵌入式FBAR（embedded-FBAR）和FBAR-梁（FBAR-beam）两种结构，其中嵌入式FBAR结构微加速度计扫描电子显微镜图和部分结构示意图如图4所示。FBAR-梁结构微加速度计与嵌入式FBAR结构微加速度计基本相同，只是将FBAR作为支撑梁。当惯性力作用于微加速度计时，由于质量块质量较大，惯性力也大，其惯性力通过梁传递到FBAR结构上，FBAR受应力作用，由于FBAR的应力负载效应，其谐振频率发生偏移。

　　图4 Campanella的FBAR微加速度计

　　2015年，FBAR全球领先厂商Avago报道了一种FBAR胎压传感器，其结构示意图如图5所示，传感器结构与读出电路通过开云棋牌官网在线客服键合工艺实现单片集成。压力通过深反应离子刻蚀的通道作用于传感FBAR，使其发生面外形变并在薄膜中产生面内应力，传感FBAR与参考FBAR的差分输出模式可以有效地消除环境干扰。

　　图5 Avago的FBAR胎压传感器

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