本文来自方正证券研究所2022年3月11日发布的报告《中微公司：增资睿励完善布局，股权激励彰显信心》，欲了解具体内容，请阅读报告原文，陈杭S1220519110008

事件：2022年3月10日，公司发布公告拟以现金方式向上海睿励投资1．08亿元，认购上海睿励新增注册资本0．76亿元；3月10日，公司发布股票激励计划草案，拟向1104名员工授予400万股限制性股票。

授予价格50元／股，覆盖公司99．37％的员工，彰显发展信心。公司拟向1104名员工授予400万股，约占计划草案公告时公司总股本6．16亿股的0．65％。本次授予为一次性授予，无预留权益。本次股权激励授予对象1104人，占公司全部职工人数的99．37％，其中包括董事、高管6人，核心技术人员3人，其他激励对象1095人。对公司绝大多数员工授予大额股权激励，有助于为公司发展提供强大动能，彰显公司对未来前景的强烈信心。

业绩考核目标兼顾公司业绩与个人绩效，科学保障激励效果和发展成果。公司层面业绩考核以2021年营业收入作为基数，2022－2025年分别设置了不低于20％、45％、70％、100％的营业收入增长率考核目标，并设置了阶梯归属考核模式，实现业绩增长水平与权益归属比例的动态调整。个人层面绩效考核按照公司现行目标管理（MBO）规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其实际归属的股份数量。公司本次激励计划的考核体系具有全面性、综合性及可操作性，考核指标设定具有良好的科学性和合理性，同时对激励对象具有约束效果，能够达到本次激励计划的考核目的。

1．08亿增资上海睿励，进一步形成产业链协同效应。上海睿励主营产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等。上海睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在65／55／40／28纳米芯片生产线并在进行14纳米工艺验证，在3D存储芯片产线支持64层3DNAND芯片的生产，并正在验证96层3D NAND芯片的测量性能。公司同上海睿励的客户和供应商有高度重叠，通过本次增资，能进一步形成产业链协同效应，完善公司的业务布局。

刻蚀设备加大研发力度，根据下游客户需求持续完成技术更新。在逻辑集成电路制造环节，公司目前正在配合客户需求开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺，能够涵盖5nm以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。在3D NAND芯片制造环节，公司根据存储器厂商的需求正在开发新一代能够涵盖128层及以上关键刻蚀应用以及相对应的极高深宽比的刻蚀设备和工艺。此外，公司正在进行下一代产品的技术研发，以满足5nm以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3DNAND芯片等产品的ICP刻蚀需求，并进行高产出的ICP刻蚀设备的研发。

盈利预测：预计公司2021－2023年营收31．1／44．0／59．0亿元，归母净利润10．1／9．8／12．0亿元，维持“推荐”评级。

风险提示：（1）行业竞争加剧；（2）技术研发不及预期；（3）下游景气度不及预期风险。