本文来自方正证券研究所2022年2月22日发布的报告《盛美上海：前后道电镀、槽式清洗设备获批量订单》，欲了解具体内容，请阅读报告原文，陈杭S1220519110008

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事件：2月15日，盛美上海接到29台Ultra C Wb槽式湿法清洗设备的批量订单；2月18日，宣布获得了13台Ultra ECP map前道铜互连电镀设备及8台 Ultra ECP ap后道先进封装电镀设备采购订单。

加速平台型企业布局。公司从较早时期就开始考虑平台化战略，2020 年公司实现营业收入10亿元，同比增长33％，其中清洗占81％，先进封装湿法占10％，电镀以及立式炉占6％，此次获批量电镀及清洗订单将进一步加速公司平台化布局。

槽式湿法清洗获29台批量采购，清洗地位进一步巩固。公司于2月15日宣布其获得29台Ultra C wb槽式湿法清洗设备订单，其中包含本土同一家代工客户的16台重复订单，计划从2022年分两个阶段发货。该设备有效利用化学药液和去离子水（DIW）， 对环境友好且凭借其精巧的模块化设计，占用空间小的优点，可以在生产车间灵活配置。受益下游晶圆厂扩产及国产替代，公司清洗设备将实现进一步放量。

前道电镀设备打破美商垄断，加速推动国产替代。目前全球前道晶圆制造的电镀设备主要被泛林垄断；后道先进封装电镀则主要被应用材料和泛林两家设备供应商垄断。盛美上海此次获得大批量前后道电镀设备订单，打破了电镀设备被美商高度垄断的市场格局，推动国产化替代。

Ultra ECP map前道电镀设备可满足先进节点大马士革电镀需求。Ultra ECP map前道铜互连电镀设备建立在公司成熟的ECP技术基础之上，该设备专为双大马士革应用而设计。ECP电镀系统配置了盛美上海独有的多阳极局部电镀功能，让客户可对大马士革结构上的金属铜沉积层进行有效控制。该设备的关键工艺优点包括优异的图形结构填充能力、良好的片内及片间金属膜厚均匀性，能够兼容 5nm 以下的超薄籽晶层，满足先进技术节点的大马士革电镀需求，同时降低耗材及拥有成本，确保高产能和正常运行时间。

盈利预测：预计公司2021－2023年营收15．8／26．8／40．9 亿元，归母净利润 2．9／5．0／7．0 亿元，维持“推荐”评级。

风险提示：（1） 技术研发不及预期；（2） 市场拓展进度不及预期；（3） 疫情持续导致的供应链风险。