原子层沉积（ALD）工艺被认为是逻辑和存储开云棋牌官网在线客服器件微缩化的重要推动力。过去20年，ALD工艺及设备已经广泛应用于逻辑和存储器件的大批量制造，不断推动诸如动态随机存取存储器（DRAM）、先进的鳍式场效应晶体管（FinFET）以及栅极环绕晶体管等器件性能的改进与创新。随着摩尔定律放缓，ALD工艺逐渐渗透到更多应用领域，如超摩尔(More-than-Moore，MtM)器件的生产中，正在推动新的架构、材料和性能的改进。

调研机构Yole Développement报告显示，全球晶圆厂产能扩张的举措正在推动ALD设备销量的飙升。预计未来几年，ALD设备在超摩尔应用的市场规模将持续增长，其中2020-2026年的年复合增长率为12%，在2026年有望达到6.8亿美元。

Yole Développement针对ALD设备的市场预测

紧跟2022市场需求，SRII推出两款重磅新品拓展应用布局

致力于满足开云棋牌官网在线客服制造领域不断增长的技术需求，业界领先的ALD设备制造商和服务商—青岛四方思锐智能技术有限公司（以下简称思锐智能或SRII）旗下Beneq品牌全新设计并重磅推出了两款用于开云棋牌官网在线客服器件制造的新产品：Prodigy和Transform300。

SRII旗下Beneq品牌开云棋牌官网在线客服业务负责人Patrick Rabinzohn表示：“进入2022年，更多样化、更复杂的新兴开云棋牌官网在线客服应用正在崛起，Prodigy专为化合物开云棋牌官网在线客服制造而设计，包括射频集成电路（GaAs / GaN / InP）、LED、VCSEL、光探测器等相关领域的MEMS制造商和代工厂，将受益于全新的Prodigy系列，以高性价比实现具有市场竞争力的ALD批量处理能力，并有效提升器件的性能和可靠性。Transform300则在原本优势的Transform系列上继续扩充，进一步适用300mm晶圆产品的ALD镀膜需求，具备卓越的通用性及多功能性，同样也是FAB-READY，可轻松集成到客户的产线上。”

Prodigy为化合物开云棋牌官网在线客服以及MEMS器件提供具有市场竞争力的ALD解决方案

全新Transform300产品进一步匹配新兴开云棋牌官网在线客服应用

Prodigy为化合物开云棋牌官网在线客服和MEMS器件的ALD量产技术树立了新标杆，能够满足由高端ALD技术支持的众多细分市场，是为8”及以下晶圆和多种材料提供最佳钝化及薄膜沉积的理想量产方案。Prodigy不仅集成了SRII最新ALD技术，更具备高性价比，易于实现批量处理工艺以提升目标产品性能，适用于75-200mm晶圆产品。

值得一提的是，Transform300是目前市面上唯一一款结合等离子体增强和热法ALD有序工艺的300mm ALD集群工具。至此，Transform系列可为IDM和代工厂提供集单片、批量、等离子体增强及热法等众多功能于一体的工艺平台，旨在满足逻辑和存储等超大规模集成电路（VLSI）制造、CMOS图像传感器、功率器件、Micro-OLED/LED、先进封装和更多超摩尔领域的应用场景。

加强产业深度合作，以先进技术赋能垂直行业创新

万物互联时代到来，广泛类型的传感器产品重要性日益凸显。以CMOS传感器（CIS）这一典型的超摩尔应用为例，随着芯片集成度的提升，CIS芯片的结构也在不断创新，例如以堆叠方式将图像传感器、存储器以及更多逻辑元件进行统一封装。为了实现更优异的感光能力，往往需要表面钝化层来减少光子的损失，或通过抗反射涂层让更多的光子到达接收器。在这样深沟槽镀膜的场景中，ALD可以实现100%覆盖，或以不同镀膜材料、不同镀膜层数等方式组成不同的折射率、不同的叠层膜配比，从而更好地满足客户差异化的需求。

Patrick Rabinzohn表示：“高质量、高保形性和均匀性的薄膜是ALD十分擅长的领域，目前已成为CIS应用的主流。与此同时，为了面向更多超摩尔应用，ALD工艺在全球范围也在不断开发与完善。SRII是这一全球合作的积极参与者，正在持续联合学术界、研究机构、材料供应商、设备子部件和工具供应商以及计量系统供应商等上下游机构/厂商展开紧密合作，实现互惠互利、创新发展，从而确保自有ALD工艺的领先地位。“

目前，在中国市场，SRII与国家智能传感器创新中心及各大科研院校已经建立战略合作关系，共同专注CIS、MEMS等重要领域的联合研发，致力于加速超摩尔领域的产业落地。