HVAC系统中的流量测量可以用于监测系统的运行状态，进而提高系统的运行效果与效率，并对可能的故障进行及时的诊断。

图一 FS7 流量传感器

FS7 流量传感器的开发理念是易于用户集成的，用于 HVAC 应用的热式流量传感器。 通过一个具有双电阻结构的单芯片，在简单电路中实现恒定风速计原理的测量。将芯片直接插入气流中，即可以获得很高的灵敏度。可以在 0 m／s 至 25 m／s 或更高的典型 HVAC 风管流速范围内进行测量。FS7 的高灵敏度特点不仅很好适应 0 m／s 至 2 m／s 的低流速测量，同时兼顾了很宽的动态范围，FS7最高可以测量100 m／s 的流速。

FS7 的常见应用包括：经典的风管流量变送器，与空气净化器结合用于过滤器监测， 高性能应用包括吸入火灾探测器和压缩空气质量流量计。

图二 SFS01 硅流量传感器

图三 MFS02

瑞士IST 热式质量流量传感器MFS02 和 SFS01传感器芯片的设计目标是实现超快速和超灵敏的流量测量，同时为 HVAC 系统中电池供电的流量计量设备提供解决方案。 MFS02 使用玻璃基板开发而 SFS01 使用硅基板，流量测量器件位于芯片组件中的薄膜上，这允许利用非常小的热质量进行流量测量，并且使得传感器具有极快的相应速度：MFS02 的响应时间小于 10 ms，SFS01 的响应时间小于 5 ms，还可以通过低至 5 mPa 的无噪声分辨率实现差压应用中的超灵敏测量。传感器集成在正压送风系统，过滤器监控，真空手套箱，微流体气体，电池供电设备中。