12月16日消息，昨天，晶瑞电材发布投资者关系活动记录表，并表示其KrF（248）光刻胶产品已完成中试，建成了中试示范线，已进入客户测试阶段，并已经开始着手建设 KrF 光刻胶的量产化生产线。

另外，经瑞电材已经开始启动其ArF（193）高端光刻胶的研发工作，目前已经完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等关键研发设备的购置，其中，ASML 1900Gi 型光刻机设备正在积极调试中。

有投资者问道，公司是否已经购得一台 KrF 光刻机，公司目前共有几台光刻机？ 晶瑞电材表示，公司近期已购得 KrF 光刻机一台，可用于 KrF 光刻胶的曝光测试，同时公司 KrF 光刻胶量产化生产线正在积极建设中。此前，公司已经购得用于负胶、g 线、i线、ArF 等 4 台光刻机，再加之此次购得的 KrF 光刻机，截至目前，公司已经到位 5 台光刻机。

众所周知，由于国内光刻胶领域起步较晚，技术严重落后等原因，导致我国开云棋牌官网在线客服芯片领域的光刻胶需求主要由外资企业来满足，日美厂商占据了约87％的份额，国内光刻胶产品进口比例高达九成。

如今，国内能实现光刻胶量产的企业只有晶瑞电材和北京科华两家企业，其中，晶瑞电材公司的i线光刻胶已实现供货中芯国际、合肥长鑫等国内FAB厂，北京科华则已经实现量产KrF光刻胶，并向中芯国际供货。

目前国内的高端ArF光刻胶领域里，仍没有企业能实现量产，目前国内在ArF光刻胶领域进度较为领先的企业是南大光电，其自主研发的ArF光刻胶产品，在2020年12月时成功通过武汉新芯的使用认证，成为通过产品验证的第一家国产ArF光刻胶企业，目前，南大光电已经建设完成ArF光刻胶产品的大规模生产线，全面实现量产后，产能将达到年产25吨ArF光刻胶。

现在，晶瑞电材也已经开始研发高端ArF光刻胶，在未来，随着晶瑞电材KrF光刻胶测试完成并逐步量产、ArF光刻胶研发成功并实现量产，以及其在南通、陕西、四川等基地新增的高纯硫酸、NMP、光刻胶等产品产能的逐步释放，将为国内的光刻胶产业带来新的突破。