薄膜应力按作用方向的不同，被划分为负值的压应力和正值的张应力，当薄膜相对于基底膨胀时，则处于压应力状态，而当薄膜相对于基底收缩时，则处于张应力状态。

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　　薄膜的残余应力由热应力和内应力组成，热应力与内应力的形成机理如下所述。

　　大多数薄膜在高于大气环境温度的真空环境中制备完成，在逐渐冷却至室温的过程中，由于薄膜与基底、薄膜与薄膜之间的热膨胀系数不同，使得薄膜系统中各部分之间的膨胀程度有所不同，这种由温度变化引起的薄膜系统中各部分之间的膨胀差异称为热应变，从而产生了热应力。薄膜内应力的形成机理的复杂程度远大于热应力。

　　薄膜内应力的形成、作用方向和作用方向的变化与薄膜的制备方式和工艺条件息息相关，不同的制备方式和工艺条件会作用在薄膜生长过程中，通过影响薄膜中的晶粒、晶界、杂质、空位和表面应力等因素来改变薄膜的结构，薄膜内应力的形成是多种机制综合作用的结果。

光学薄膜设计软件

　　功能多样

　　★TFCalc 是一个光学薄膜设计和分析的工具，这里有按顺序排列介绍了 TFC 的功能：吸收、有效镀膜、角度匹配、双锥形的穿透、黑体光源、色彩优化、约束、继续优化目标、派生目标、探测器、散射公式、电场强度、同等折射率、同等堆栈、获得材质、全局优化、组优化、发光体、膜层敏感性、局部优化、多重环境、针优化、光学监控、光学密度、相位移动、psi、发光分布、折射率的确定、反射、敏感度分析、堆栈公式、综合、穿透率、隧道效应、可变材料。

　　创新

　　★TFCalc 软件是膜系设计软件中提供创新方法的领导者。例如，TFCalc 允许活动材料-材料的折射率随着外部影响而改变。这个功能是其它商业软件没有的功能。

　　容易使用

　　★TFCalc 是标准的 windows 和苹果机程序；薄膜设计工程师利用菜单、对话框和窗口来输入并显示结果。

　　★Software Spectra 努力让 TFCalc 软件尽可能的容易使用，特别是对仅仅偶尔使用软件的工程师来说这一点更加重要。TFCalc 软件包中包含了大量的设计实例。

　　多种平台

　　TFCalc 可以在以下计算机和操作系统下工作：

　　★运行 windows 3.1 ，3.11， 95，98，2000，7,XP 的 PC。

　　★运行 System 7 或更新版本的苹果计算机。

　　★TFCalc 所输出的档格式兼容这两个平台，让你和同时可以共享数据。