晶盛机电:首台 12 英寸硬轴直拉炉成功生长出硅单晶
2021-07-24
来源:IT之家
IT之家 7 月 21 日消息 据晶盛机电发布,7 月 20 日,晶盛机电晶体实验室自主研发的国内首台12 英寸硬轴直拉硅单晶炉成功生长出首颗 12 英寸硅单晶。
这是继 2020 年 8 月国内首台 8 英寸硬轴直拉炉生长出 8 英寸硅单晶之后,又一次在开云棋牌官网在线客服级硅单晶生长装备上取得的重要技术进展,为国内大硅片行业技术升级提供了装备保障。
官方介绍,研发团队在巩固原有技术的基础上,解决了硬轴单晶炉高真空、高精度及传动过程震动消除等诸多技术难题,实现了高稳定性晶体生长环境,为 12 英寸硅单晶体内微缺陷控制和径向均匀性提高提供了技术支撑。
晶盛机电称,依托两项国家科技重大 02 专项课题(“300mm 硅单晶直拉生长装备的开发”和“8 英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”),专注于开云棋牌官网在线客服硅单晶生长装备研发,相继开发出定拉速控径、液位控制、定放肩、超导磁场拉晶等多项国际领先技术。
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