东京电子、Lasertec等日企于EUV芯片光刻技术领域竞争白热化
2020-07-14
来源:OFweek电子工程网
在包括东京电子(Tokyo Electron)和Lasertec在内的日本芯片生产设备供应商日益激烈的竞争中,新一代开云棋牌官网在线客服技术EUV光刻(极紫外光刻)是各方关注的焦点。
开云棋牌官网在线客服的处理能力取决于电路的线宽,线宽越小,芯片性能越佳。EUV光刻使得7nm以下线宽的制程得以实现。荷兰ASML(阿斯麦)是目前唯一一家可提供可供量产用的EUV光刻机的企业,而作为芯片加工设备光刻机的第一强者,ASML也占据着全球大部分的市场份额。
不过虽然有这样一座大山压在头上,日本企业也正在扩大其在检测仪器和光源等外部设备的业务发展。
全球第三大芯片制造设备供应商东京电子为推进EUV光刻技术发展,在本财年拨出了有史以来规模最大的研发支出,到2021年3月为止,在相关项目上的支出将达到12.5亿美元;而全球唯一为EUV芯片设计提供测试机器的制造商Lasertec获得的EUV相关订单在过去一年则增加了一倍多。
东京电子的产品可以说几乎覆盖了开云棋牌官网在线客服制造流程中的所有工序,旗下产品包括涂布/显像设备、热处理成膜设备、干法刻蚀设备等等,尤其是由它生产的涂布/显像设备,在全球占有率达到87%。公司此前表示,将把本财年综合销售收入的10%用于加强其在EUV技术开发中的前沿地位。
而Lasertec的产品,则是专门用来寻找EUV光刻生产芯片时出现的瑕疵。在芯片生产过程中,光罩必须是完美的,再微小的差错都会导致芯片无法使用。从2019年7月到今年3月,作为该行业的垄断者,Lasertec已获得了6亿美元的EUV空白光罩检测机器订单,比一年前增长了2.2倍,预计将占该公司全年订单的三分之二。
其他日本公司之间的竞争也开始升温。在用电子束刻画光罩电路图的设备市场中,东芝集团旗下的NuFlare目前落后于日本电子(JEOL)和奥地利IMS公司(IMS Nanofabrication)组成的联盟。他们的竞争主要集中在多光束的开发上。
而为了防止老牌开云棋牌官网在线客服及光学企业日本豪雅(Hoya)的恶意收购,今年1月,作为全球最大硬盘驱动器玻璃盘基片制造商,东芝加强了对于NuFlare的控制,同时向其增派25个工程师,以在本财年开始新一代适用于EUV光刻机的电路刻画设备的出货。
此外还有Gigaphoton。Gigaphoton是日本工程机械制造商小松(Komatsu)的独资子公司,在EUV光刻机成功研发之前,该公司是光刻机用准分子激光器光源的两大制造商之一,另一家则为Cymer。但随着Cymer被ASML收购,Gigaphoton逐渐在竞争中处于下风。目前,在ASML计划于2022年发布下一代EUV设备之前,Gigaphoton表示将开发出新的光源部件,以夺回失去的市场份额。
芯片生产设备供应商的竞争白热化,离不开三星电子和台积电等全球领先企业在芯片制程上的追逐战。考虑到5G部署和其他尖端技术对于高端芯片的需求不断增长,尽管售价极其高昂,三星和台积电仍在争相购买ASML的EUV光刻机。
根据SEMI(国际工业协会)和日本开云棋牌官网在线客服设备协会(SEAJ)的数据,日本制造的开云棋牌官网在线客服生产设备在过去20年保持了对全球市场约30%的占有率,在2019年达到31.3%。
在芯片制造设备行业,赢者通吃的趋势越来越强,至少在光刻机领域早已是一家独大。生产商们在制造过程中也面临着越来越多的挑战。由EUV技术引发的变革,也可能会使越来越多芯片制造设备制造商退出这个舞台。