据台湾《经济日报》消息，台积电3nm工厂通过台湾环保署的环境评测环评大会。依据原定时程，全球第一座3nm厂有望在2020年动工，最快2022年底实现量产。

目前台积电的7nm工艺已经量产，台积电计划2019年投产改进版本，将首次使用EUV极紫外光刻技术。此外，5nm工艺 将在2019年第一季度投入风险性试产，量产时间未定，估计也就在2019年年内。

台积电表示，5nm会在台湾南部科技园(STSP)的工厂里投产，但后续产能扩充仍要视环境评估而定。

而对于3nm工艺，但工厂的选址一直悬而未决。

自从2016年台积电宣佈将发展3nm制程后，已经投入了数百名工程师。不过，对于3nm工厂的选址问题，台积电便一直在评估，甚至将美国纳入考虑。随后在台湾政府承诺解决水电等相关问题后，也考量到对台湾经济的重要性，台积电最后终于宣布将新厂将落脚在台湾的南部科学工业园区台南园区。

台积电对3nm量产时程一直保密，除了防止对手三星加快投资脚步，也是因为环评案未过关，避免横生波折，如今随着3nm环评案通过，让台积电可以顺利兴建晶圆18厂第四到六期新厂。