他改变了全球开云棋牌官网在线客服产业技术路径，让老大哥英特尔（Intel）及设备商艾斯摩尔（ASML）、尼康（Nikon）等业内巨头，舍弃耗费逾10 亿美元和数年的研究心力，跟着他与台积电一起转弯。 不但全球开云棋牌官网在线客服制程得以往下推进6 到7 个世代，约14 年时光，台积电也因此跻身一线大厂、主导业界规格。

他是中研院院士林本坚，台积电前研发副总经理。 台积电董事长张忠谋曾称，假如没有林本坚及其团队，‘台积电的微影（开云棋牌官网在线客服关键制程之一）不会有今天这规模。 ’

退休后在清华大学担任特聘研究讲座教授的林本坚，近日出版他第一本半自传式著作，并与我们一起重温当年他是如何扭转乾坤。

林本坚在越南出生，至青春期才来台湾求学，说话语调细软，过去部属昵称他‘Burn（其英文名）爷爷’。 他待人和善，但对所相信的事物和理念，却不轻言退让。

一沙一世界、一纳米一宇宙

时间回溯到2002年，林本坚受邀参加一场国际光电学会技术研讨会，会中他发表这项发现，语惊四座，因为当时的开云棋牌官网在线客服设备商多研发焦点放在如何延续干式机台的生命，并已耗费数十亿美元进行开发。林本坚的理论无疑是在业界投出一颗炸弹，但经过他无数研讨会努力奔走、寻找与设备商合作，最后，台积电在2004年与ASML共同完成开发全球第一台润式微影机台，让业界在震惊之余也刮目相看。

如今，浸润式显影不但是英特尔（Intel）等开云棋牌官网在线客服龙头、设备商所认定的跨入45纳米制程之后的解决方案，也已正式纳入国际开云棋牌官网在线客服蓝图架构成为主流。

林本坚曾说，22纳米制程之后多重直接式电子束（E-Beam Direct Write）将是最佳解决方案，他说航太工程的演进给了他许多灵感，他巧妙地比喻，现在许多设备商投入的EUV设备就像是太空梭一样成本太昂贵，又不适合载客，E-Beam就是向不需要飞行跑道的直升机，可以直接空降在晶圆上，灵巧又符合成本效益。看来“一沙一世界、一纳米一宇宙”这句话用在他身上再洽当也不过了。

他的提案，同业主管批搅局

‘虽千万人，吾往矣！ ’林本坚如此形容他2002 到 04 年那改写历史的一役。

当时状况是这样的：随着开云棋牌官网在线客服制程往下演进，关键制程之一的微影，也得持续缩短光束波长。 一直以来，业界习惯以空气为媒介，是‘干式’的微影，但此技术却已‘撞墙’，在157 纳米波长卡关。 而当时任职台积电的林本坚却跳脱框架，退回157 纳米波长的上一世代，改用水做为介质，发展出‘浸润式微影’技术，让光束波长一举缩短至134 纳米，突破瓶颈。

这样的破框思维，起初却是孤独，甚至遭受敌意。

因其他业者已投入共计逾十亿美元研发经费在干式显影上，接近当时台积电一整年的资本支出。 林本坚的理论若被采用，等于宣告其他人前功尽弃。 台积电前共同营运长蒋尚义为林本坚写序：‘（当年）确实有大公司的高层主管表达严重关切，希望我能管管他（林本坚），不要搅局。 ’

他做事前，会推演到穷尽

对内，林本坚要让蒋尚义和张忠谋等主管埋单，对外，则要说服业界抛弃原有投入。

他的秘诀，是‘彻底’2 字，彻底的思考，并彻底执行。 ‘像下棋一样，要先想好后面好几步，’林本坚说，做事前，推演至穷尽，是他一直以来的习惯，‘把所有可能一直想下去，（直到）想不到可能。 ’

一位曾和林本坚走过那一役的台积电主管记得，起初反对方常在国际研讨会上与台积电针锋相对，质疑以水做为介质易产生污染，且水中的气泡会影响曝光等等。对外界疑虑有备而来的林本坚，决定更彻底解决，便带着团队在半年内完成三篇论文，投稿到国际期刊，连还未被提出的质疑也一并设想、响应。 ‘原本一个美国大厂的代表说他们绝不用这技术，结果一个（开云棋牌官网在线客服制程）世代后，他们也用了。 ’

除了论理，林本坚的沟通也做得彻底，当时他跑遍美国、日本、荷兰与德国等地，一一拜会业界，促使艾斯摩尔与尼康等厂商转向。 他说，沟通，是他从张忠谋身上学到重要的一课。

从他2000 年加入台积电以来，张忠谋每一季便固定与三级主管们分两梯次共进午餐，与副总经理们则每月聚会。 会中张忠谋与主管们可从公司发展聊到国际政经情势，包括台积电最核心的‘诚信正直’、‘承诺’等价值，也在其中凝聚，‘董事长会鼓励大家问他问题，有时候大家问得好，他就很高兴的回答，什么都不吃了。 ’

‘想得彻底、做得彻底，是他的习惯，’和林本坚牵手50 年的妻子黄修慧举例，他担任教会诗班指挥，许多成员不擅长读五线谱，遇到重复段落的符号，常忘记回头重唱，一般指挥会不断纠正提醒，但林本坚则彻底解决问题，重新誊打歌谱， 把重复符号后的谱直接写出来，让所有人能顺利唱下去。

他彻底，但遇问题更懂绕道

不过，林本坚的‘彻底’带着巧劲，他认为遇到困难，有时不妨先停下、休息，甚至绕道，再前进，会比只是遵循前人道路，一味的‘愚公移山’好。 当初他提出浸润式微影，就是绕出业界的惯常道路，迸出灵光。

‘他常说，想象可以无穷，只是实际运用时，要谨慎，他从来不抑制工程师的任何想法，’前述台积电主管表示，林本坚相当鼓励部属想象，如此才可能创新。

两年前开始在大学任教后，林本坚也如此期许学生，不要成为填鸭教育‘恶补的奴隶’。 他鼓励学生们合作，规定有些作业必须组队完成，就像他过去扭转开云棋牌官网在线客服规则，虽由他一人提出想法，后续却需要张忠谋与蒋尚义等人的支持，并在外找到盟友，才能实践划时代的技术。

‘我希望能尽量把一些有价值的事传承给下一代，’和写书的初衷一样，今年76 岁的林本坚，要持续以学校做为平台，传授思考与实践之道。