8月24日，作为中国电科布局“电科装备”和“电科能源”品牌领域的扛旗单位，中电科电子装备集团有限公司（简称电科装备）正式发布了“SEMICORE烁科”系列品牌，用以“打造烁科装备，铸就国芯基石”。

集成电路芯片及其制造技术是信息时代的基石，是保障国家安全和国防建设的战略性资源。面向国家战略需求，在中国电科“1+8”品牌体系建设的部署下，电科装备集团形成了中国电科“电科装备—装备制造”领域和“电科能源”领域第一个民品品牌，“SEMICORE烁科”应运而生。

公司董事长、党委书记刘济东介绍说，“烁”，有炽热、锤炼之意，象征着公司能吃苦、讲奉献、肯坚守的“十年磨一剑”装备精神；“烁”又有光彩闪耀之意，蕴含着将烁科品牌打造成国家装备领域“大国重器”的决心与信心。“科”，既代表着中国电科的身份；又有科技之意，喻示公司将承载勇于创新、以科技追求卓越的精神。同时英文名称“SEMICORE”则代表公司要牢牢把握核心技术这个关键，立志成为开云棋牌官网在线客服装备产业核心企业的责任担当。

在统一品牌的基础上，公司形成了“烁科装备SEMICORE-EQ（装备制造）”、“烁科红太阳 SEMICORE-RS（光伏能源）”、“烁科国际 SEMICORE-INT（国际业务）”三大品牌，旨在展现公司在国家电子工艺装备研发、制造及服务领域的技术能力和行业地位。

随着品牌的发布，烁科电子装备有限公司也正式成立。后续，烁科电子装备有限公司将以国资委“双百行动”为契机，充分利用国家和中国电科相关改革政策，先行先试，大胆探索，实施股权多元化，开展骨干员工股权激励，引入外部战略投资者，建立符合开云棋牌官网在线客服装备发展规律的现代企业管理体制；同时实施科技创新与产业投资“双轮驱动”，搭建装备研发与工艺验证平台，持续聚集行业领军人才、海内外优秀人才，不断突破集成电路装备核心技术，推动离子注入机、CMP（化学机械抛光）等装备进入生产线批量应用，实现进口替代、自主可控，具备国际竞争能力。

聚焦离子注入机和CMP

电科装备总经理王斌表示，将把离子注入机和CMP设备注入烁科装备。目前，电科装备的离子注入机和CMP设备在国内处于领先地位。

离子注入机是集成电路制造的核心设备，用于将粒子注入到开云棋牌官网在线客服材料中，从而控制开云棋牌官网在线客服材料的导电性能，进而形成PN结等集成电路的基本单元。

据悉，电科装备已经形成中束流离子注入机、大束流离子注入机、高能离子注入机、特种离子注入机等覆盖6~12英寸的离子注入机制造体系。目前拥有中束流、低能大束流和高能离子注入机等系列产品，并开发出了首台用于量子通信领域的国产离子注入机，其SiC高温离子注入机已进入国内一线企业。

2015年，电科装备12英寸中束流离子注入机在中芯国际先后完成了55nm、45nm和40nm小批量产品工艺验证，并开始批量生产，逐步提升产能，增加验证机台的数量。同年，中束流设备实现了批量销售，量产晶圆超过300万片。2016年，用于45nm~22nm低能大束流离子注入机与中束流离子注入机通过了28nm工艺制程同步验证，已经实现销售。

2017年，电科装备离子注入机批量制造条件厂房及工艺实验室已投入使用，重点打造离子注入机零部件检测、模块装配及局部成套三大平台，可实现10台设备同时组装调试，具备年产20台以上的批量制造能力，具备集成电路装备系统集成能力及局部成套工艺生产能力。

CMP方面，2017年8月，电科装备成功研发出了国内首台拥有完全自主知识产权的200mm化学机械抛光商用机，研发团队在3年的时间里突破了10余项关键技术，完成技术改进50余项，经过3个批次近10000片的马拉松测试，性能指标获得中芯国际工程师的好评，并于2017年11月21日成功在中芯国际天津厂8英寸大生产线装机验证，已经进入24小时生产阶段。

未来展望

中国集成电路装备和材料在国家“02专项”的大力支持和推动下，在部分领域取得了重点突破，甚至可以与海外跨国公司实现同台竞技。

然而，在进步的同时，我们也要清醒地认识到，重点突破不等于全面突破，关键技术突破不等于整体超越，我们与海外跨国开云棋牌官网在线客服制造装备公司还是存在相当的差距。

未来，电科装备将以“烁科”系列品牌发布为契机，进一步突出核心主业，充分调动各方积极性参与改革，发挥整体合力，提升知识、技术、管理、资本的效率和效益，争当国家集成电路装备领域的排头兵，切实履行好“大国重器”的责任。