据麦姆斯咨询报道，为支持、加快MEMS企业的创新和规模化成长进程，深化苏州MEMS中试平台在全球MEMS产业创新链中的关键作用，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司（苏州MEMS中试平台，MEMSRIGHT）与麦姆斯咨询近日签署了战略合作协议。双方将利用各自在MEMS领域的相关技术或资源，共同努力完善中国MEMS生态系统，推进苏州MEMS中试平台快速发展，为MEMS初创企业提供技术咨询、工艺开发、生产制造、封装测试、市场推广、项目融资等一系列服务。

作为中国首家专业MEMS咨询公司，麦姆斯咨询一直致力于打造全方位MEMS服务平台，促进行业交流与合作，推动物联网产业的发展。麦姆斯咨询CEO王懿就此次合作评价道：“最近几年，国内MEMS产业发展迅速，众多MEMS创新企业在近两年有了显著增长。不过，MEMS不同于IC产业，其工艺非标准化，而且产品开发周期长、投入大，国内外MEMS企业都需要解决工程化、产业化的问题，完成从小批量到中等量到量产的爬坡过程。在这个过程中，需要为MEMS初创企业定制更多的服务支持，同时还需要解决成本控制、良率以及实现规模化生产等问题，这就需要有一个中试平台。苏州MEMS中试平台正是为补齐完善产业链而生。”

“为了给中国MEMS企业提供更多有针对性的生产制造支持，苏州纳米科技发展有限公司在2013年设立了苏州微纳制造分公司，打造了苏州MEMS中试平台，这是国内首家专注于微机电系统的专业研发与代工的平台企业，” 苏州MEMS中试平台技术总监马清杰说，“麦姆斯咨询是国内MEMS领域最专业、最知名、影响力最大的咨询服务平台，我们非常高兴能够与麦姆斯咨询建立深入合作，共同努力推进苏州MEMS中试平台的发展，完善中国MEMS生态系统。”

苏州MEMS中试平台目前针对不同的MEMS企业，提供的服务主要包括工艺研发、生产代工以及超净场地和设备租赁等服务。在研发服务上，可以让客户利用苏州MEMS中试平台的生产设备和成熟的工艺技术确保产品性能及其一致性，缩短从研发到中试、量产的时间，加快产品商业化进程。在生产服务方面，苏州MEMS中试平台可以利用其完善的质量管控体系持续提升产品良率，给客户提供优质的中试代工服务。并且在无法保证客户足够产能的情况下，给客户提供转出量产的技术支持。此外，苏州微纳始终坚持不生产自主设计产品，以保护客户知识产权，打消客户后顾之忧。

苏州MEMS中试平台，由苏州纳米科技发展有限公司建设，可提供6英寸MEMS工艺开发与加工服务、特色单步工艺加工服务以及部分MEMS封装测试服务，6英寸超净间主要场地为1850平方米（十级与百级洁净等级），另有公共超净出租场地3400平方米，为中小型MEMS设计公司的工艺开发和小批量生产搭建商业桥梁，该中试线是江苏省“十二五”重大科技平台项目，也得到了工信部“工业转型升级服务平台项目”支持。

苏州MEMS中试平台平面展示图

苏州MEMS中试平台目前已成功导入MEMS麦克风、压力传感器、微镜、环境类传感器、喷墨打印头等产品，产品均已通过客户验证，完全具备了MEMS芯片的生产工艺开发和量产代工能力。

苏州MEMS中试平台部分MEMS工艺设备

在生产工艺方面，苏州MEMS中试平台拥有扩散、薄膜、光刻、离子注入、刻蚀、键合、减薄、划片、在线量测及电参数测试等全系列生产制造及检测设备。

此次合作预示着麦姆斯咨询可以借助苏州微纳平台对MEMS产业有更深入的研究，而苏州微纳将利用麦姆斯咨询专业化的咨询平台和媒介特性，得到技术支持及推广服务。