项目组开发出下一代MEMS产品试生产线

　　中国，2016年12月20日 ——ECSEL(The Electronic Components and Systems for European Leadership，欧洲振兴电子元器件及系统)企业联合会在意大利罗马欧洲纳电子论坛期间宣布，Lab4MEMS 项目荣获该组织2016年度创新奖。

　　在2014年1月立项之初，Lab4MEMS就被认定为下一代微机电系统(MEMS)产品关键核心技术试生产线项目。新一代MEMS采用先进技术提升产品性能，例如采用压电或磁材料和3D封装技术增强下一代智能传感器、致动器、微泵和能量回收装置的性能。在数据存储、印刷、医疗保健、汽车、工控和智能楼宇以及智能手机和导航设备等消费电子应用领域，这些技术对提升产品性能有重要作用。

　　Lab4MEMS项目总协调人兼意法开云棋牌官网在线客服欧洲研发与公共事务项目经理Roberto Zafalon登台领奖并发表获奖感言。他表示：“ECSEL创新奖彰显了Lab4MEMS项目组通过项目执行取得的优异成果和项目成功的巨大影响力。特别值得一提地是，Lab4MEMS利用压电和磁材料以及先进3D封装技术开发出创新的MEMS解决方案。”

　　Lab4MEMS是一个2800万欧元[1]、为期36个月的大型项目，意法开云棋牌官网在线客服作为项目负责者，负责项目协调管理工作，项目组共有20个成员，包括来自十个欧洲国家的大学、研究所和科技企业。意法开云棋牌官网在线客服在意大利和马耳他的MEMS工厂为下一代产品贡献了从设计制造到封装测试的全套制造能力。

　　Lab4MEMS产品、技术和应用改进重点是:

　　·采用压电薄膜(PZT)技术在基于硅的MEMS上集成微致动器、微泵、传感器和能量回收器，适用于数据存储、印刷、医疗保健、汽车、能量回收和自动对焦镜头。

　　·磁强传感器，用于消费电子产品，例如GPS定位、室内导航和手机。

　　·先进封装技术和垂直互联方法，包括通过倒装片、硅通孔(TSV)或塑料通孔(TMV)实现的全3D互连，适用于消费电子和医疗保健设备，例如，体域传感器和远程监视。

　　这些成果有助于Lab4MEMS项目开发，同时还可以回报出资人。项目参与者包括以下高等院校、科研机构和工商企业：Politecnico di Torino (意大利); Fondazione Istituto Italiano di Tecnologia (意大利); Politecnico di Milano (意大利); Consorzio Nazionale Interuniversitario per la Nanoelettronica (意大利); Commissariat à l'Energie Atomique et aux énergies alternatives (法国); SERMA Technologies SA (法国); 意法开云棋牌官网在线客服有限公司 (马耳他); Universita ta Malta (马耳他); Solmates BV （荷兰); Cavendish Kinetics BV (荷兰); Okmetic OYJ (芬兰); VTT (Finland); Picosun OY (芬兰); KLA-Tencor ICOS (比利时); Universitatea Politehnica din Bucuresti (罗马尼亚); Instytut Technologii Elektronowej (波兰); Stiftelsen SINTEF (扬威); Sonitor Technologies AS (挪威); BESI GmbH (奥地利)。