IMT与北京大学微纳电子学研究院深入合作推动MEMS工艺技术持续发展

　　美国加利福尼亚州圣巴巴拉市及中国北京，2016年12月8日 — 美国最大的MEMS 技术和制造服务提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司为北京大学微纳电子学研究院的三位学生颁发了2016年度MEMS专项奖学金，以奖励他们在MEMS工艺技术开发领域的杰出成就。这次颁奖也标志着IMT与北京大学微纳电子学研究院开展战略合作已满一周年。该奖学金已为MEMS器件制造工艺技术及相关领域内的基础研究提供了支持，接下来将继续推动MEMS技术的创新，并将在全球范围内为人才培养提供帮助。

　　在对所有申请奖学金的候选人进行大量评估和答辩后，北京大学微纳电子学研究院将奖学金授予了三位学生。2016年度奖学金的获得者是程晓亮、毛逸飞和张立。这三位IMT奖学金获得者的研究方向分别为使用碳氟等离子体的无掩膜皱纹结构的可控制造，聚焦离子束应力引入技术，以及SOG（Silicon On Glass）工艺质量监控和工艺相关参数提取。他们的研究成果在MEMS工艺技术方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及应用中具有发展潜力和前景。

　　MEMS已经成为了一项关键的技术，被用来应对物联网、智能化和生物技术领域内快速发展的技术和应用。MEMS技术持续演进，推动了器件制造工艺、新材料及封装等方面的创新，以满足未来的需求。在当今的电子系统中，MEMS已经作为一种整合技术出现在诸多不同的应用中，例如无人驾驶设备、智能电话、可穿戴电子产品、细胞计数器和机器人等等应用，新型的MEMS器件正在被快速地开发并推出。MEMS技术的拓展及其发展前景不但激励着IMT 和北京大学微纳电子学研究院等领先的制造与研究机构去自发地推动MEMS技术的先进研究和开发，同时也促动他们与行业中志同道合的伙伴积极开展合作。

　　2015年，IMT与北京大学微纳电子学研究院签署战略合作伙伴协议，旨在通过携手合作加快MEMS技术在中国和美国的发展。作为该协议的一部分，IMT在MEMS研究和开发领域设立了专项奖学金，每年向北京大学的三名（个）学生个人或团队提供奖学金。该奖学金鼓励创新，并有助于在通信、人类健康、农业优化和可再生能源等众多领域中展现出MEMS制造的优势。该奖学金计划是首项在中国专门针对MEMS制造工艺技术开发而设立的奖学金。

　　“很高兴能够代表IMT再一次为北京大学微纳电子学研究院的优秀学生颁发我们的年度专项奖学金，今年同学们提交的所有论文都以极高的质量和创新给我们留下了深刻的印象，也反映了该院在MEMS技术领域内又取得了许多技术进步和突破，”IMT 首席执行官Craig Ensley先生表示。“自2015年IMT与北京大学微纳电子学研究院形成战略关系以来，双方在开发新的MEMS制造工艺及技术方面展开了合作并已经从中获益。这将为IMT利用自己全球领先的 MEMS 器件加工技术服务中国MEMS产业带来新的机会。两个组织拥有一个共同的目标，即通过基于MEMS的技术来实现物联网及其他新兴技术的快速发展。”

　　“在过去的两年中，IMT-北京大学微纳电子学研究院MEMS专项奖学金计划已经奖励了5位学生和1个学生团队。同学们的研究为MEMS工艺技术开发和制造带来了真实的贡献。该奖学金为其他青年才俊开启了一扇大门，有助于扩展他们的视野，并使他们致力于创新以迈向新一代MEMS技术。”北京大学微纳电子学研究院李志宏教授表示，“我们与IMT之间的合作伙伴关系，以及其他类似的行业合作，对于持续创新而言都是至关重要的。”