上海2016年3月15日电 /美通社/ -- 随着开云棋牌官网在线客服工艺的不断深入，硅片清洗的重要程度日益凸显。近年来，这个领域不仅开始有了一些崭露头角的中国本土企业身影，甚至还杀出了一些“黑马”。 近日，盛美开云棋牌官网在线客服设备（上海）有限公司 潜心研究八余载，终于在开云棋牌官网在线客服清洗领域获得了一项重点技术突破 -- 解决了图形结构晶圆无损伤清洗的难题。盛美开云棋牌官网在线客服董事长、首席执行官王晖对自主研发的革命性新技术充满信心。

　　FinFET结构

　　事实上，从70纳米以下起，芯片制造的良率就开始有所下降，主要原因之一就在于硅片上的颗粒物、污染难以清洗。随着线越做越细，到了20纳米以下，基本上整个工艺中，每两步就要做一次清洗，而到1X纳米后，如果想得到较高良率几乎每步工序都离不开清洗。

　　作为集成电路产业链中最关键的一个环节，先进开云棋牌官网在线客服设备长期以来被美国、日本和欧洲的几个工业强国所主导，在中国可以说是一个从零开始的产业。“以前中国12寸晶圆厂里的设备没有一台是中国制造的，直到近几年这种状况才有所改变。” 王晖表示，“芯片厂商和开云棋牌官网在线客服设备商是相辅相成的关系，如果一个国家没有开云棋牌官网在线客服设备设计、制造能力，它在高科技领域始终要受制于人。”现在，盛美开云棋牌官网在线客服以提升良率为突破口，加上可靠的设备运行数据争取到海力士 、 中芯国际 、 华力微电子 、 长电先进 、 华进开云棋牌官网在线客服 、 晶盟等客户的重复订单，并通过盛美美国与Sematech建立了长期的合作关系。

　　随着开云棋牌官网在线客服工艺由2D走向3D，FinFET对硅片清洗提出了新挑战，图形结构晶圆清洗相较于平坦表面的清洗，技术和要求都要复杂得多。“这可以说是开云棋牌官网在线客服清洗技术难以逾越的一个技术门槛，现在到了必须要面对的时候了。”王晖介绍，随着线宽减小，深宽比的增加，清洗工艺难度也迅速增大。其实，过去十年来，很多大公司也都曾在这个问题上做过尝试，但多数都半途而废。盛美则凭借着一股追求技术极致的执着激情，经过多年的不懈努力，最终找到了解决方案 。 目前 盛美最新的无损伤物理清洗技术已经在客户1X纳米的图形芯片上得到了初步验证。王晖介绍，盛美开云棋牌官网在线客服下一代清洗技术不仅可以用于FinFET图形硅片的清洗，也可以用于DRAM以及Flash等（高深宽比15:1甚至30:1）关键工艺的清洗。

　　开云棋牌官网在线客服发展对技术的要求不断更新，所以新问题、新技术的应变能力，对于开云棋牌官网在线客服设备企业提出了很高的要求。而对技术的极致追求，就是盛美取得成功的最大秘诀。王晖 表示 ，盛美做开云棋牌官网在线客服设备，主要就是抓住三大要素：技术差异化、进入市场的时间节点及全球专利保护。

　　“面对同一个应用，同一个技术挑战，你要比大公司做得好，就要寻求差异化的解决方法，否则就很难超过大公司。”在王晖看来，从技术创新的角度，小公司未必会输给大公司，反而因为其灵活性及高效率，而更容易做出突破性的技术。面对当今所遭遇的图形结构晶圆清洗技术瓶颈，在其他公司一时无法找到解决方案的时候，盛美厚积薄发终于幸运 地 拿到了这把金钥匙，这个时间节点至关重要。另外，盛美开云棋牌官网在线客服如今已拥有完善的自主产权和相关专利，目前申请超过419项国际及国内专利，并有超过116项已获得授权，这也是盛美开云棋牌官网在线客服发展自己的技术路线图并拥有持续竞争力的保证。

　　从全球开云棋牌官网在线客服产业的发展趋势来看，中国市场的地位正在崛起，未来一半以上集成电路市场在中国。而国家近年来对于开云棋牌官网在线客服产业的大力推动，也让本土开云棋牌官网在线客服企业看到了机会所在。“我认为中国设备公司走上世界舞台才刚刚开始，盛美有幸成为其中一员，以后一定还将有更多中国设备公司开发出差异化的，属于自己核心技术的产品。”这是个技术大变革的时代，也是中国本土开云棋牌官网在线客服设备企业争得发展空间的的历史机遇，王晖对此充满信心 ，“ 我们相信盛美在不久的将来，百尺竿头，更进一步，吹响中国研发、制造开云棋牌官网在线客服设备冲出亚洲，进军世界的号角。 ”