项目介绍

太阳光伏发电和光热利用是近十年来世界上发展最迅猛的可再生能源技术，作为我国重点培育的战略性新兴产业，被明确列为我国“十二五”科技发展重点。我国的光伏发电和光热利用两大产业规模已跻身世界第一，但与太阳能低温热利用相比，我国在太阳能发电和中高温利用方面还没有形成完整的产业公共服务支撑体系，研究水平和国际先进水平相比还有明显差距，产业链关键技术、装备依赖进口，国内市场应用规模小的局面没有改变。在今后的发展中，迫切需要完善太阳能产业的公共服务体系，提升自主研发的能力，掌握核心技术，支撑我国从太阳能产业大国到产业强国的转变，形成太阳能产业良性循环发展的环境。

系统描述

借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离子在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用等离子体的活性来促进反应，这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。

利用研华嵌入式无风扇控制器UNO-2170，作为数据转换平台，收集由下位包括PLC，流量计中读取的信号，并通过研华EKI-2528传输到上位机进行监控。针对于系统问题，由研华将系统以及客户的相应工艺以及PLC相关软件进行剪裁，保证了系统的稳定。

项目实施

系统架构图

研华太阳能扩散炉系统自动化解决方案

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