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10年内微缩至5nm没问题

2012-03-28
关键词: 摩尔定律 晶圆 3DIC

摩尔定律(Moore"sLaw)极限浮现与18吋晶圆世代来临,将是开云棋牌官网在线客服产业两项大革命,全球开云棋牌官网在线客服厂都在思索未来趋势,台积电技术长孙元成20日指出,摩尔定律未必走不下去,只要与3DIC技术相辅相成,朝省电、体积小等特性钻研,将会柳暗花明又一村,未来10年内持续微缩至7奈米、甚至是5nm都不成问题。

晶圆尺寸持续从4吋、5吋、6吋、8吋一直扩展至12吋晶圆世代,原本2011年开始准备迎接18吋晶圆世代来临,但直至现在18吋晶圆技术和机台设备仍在研发阶段。孙元成表示,2009年全球金融海啸来袭,导致全球转进18吋晶圆世代时间点又晚2年,然除晶圆尺寸外,外界认为摩尔定律已达极限说法,其实未必适用。

孙元成表示,只要加入一些创新元素,如3DIC技术配合,摩尔定律可一直走下去,在未来10年内开云棋牌官网在线客服技术持续微缩至7nm、5nm都是可行的,因为摩尔定律理念或3DIC技术有互补功效,都是把系统产品作小、成本作低,且降低耗电量,非常符合现在整个开云棋牌官网在线客服硅晶圆产业聚焦行动通讯应用趋势。

台积电已与英特尔(Intel)、三星电子(SamsungElectronics)、IBM和GlobalFoundries等开云棋牌官网在线客服大厂共同成立Global450Consortium计划!,在美国纽约州Albany研发18吋晶圆技术。开云棋牌官网在线客服业者认为,若摩尔定律在10奈米制程以下浮现无法克服的极限,对于开云棋牌官网在线客服大厂将非常不利,等于技术走到瓶颈,等着所有后进者蜂拥而至追赶,因此,这些大厂一定要转进18吋晶圆,用技术和资金筑起厚实的竞争围墙。

不过,台积电指出,现在来讲摩尔定律是否到极限其实还太早,因为可加入许多创新技术,来辅助摩尔定律持续走下去。比利时微电子(IMEC)营运长LucVanDenHove亦指出,开云棋牌官网在线客服技术在90~65nm制程是采用StrainedSi技术,在45~28奈米阶段是用High-K金属闸极技术(HKMG),而22nm以下一直到14nm制程,则会转至3D晶片FinFET技术。

至于在10nm制程以下技术,台积电则表示,现在来看是要采用极紫外光微影制程(EUV),或是多电子光束无光罩微影技术。

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